Патент ссср 156253

 

Класс Н 051; 21g 37 о № 156253

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа Л0 97

П. А. Стоянов и В. В. Мосеев

СМЕШАННАЯ МАГНИТОЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ

СИСТЕМА ПРИЗМ ДЛЯ ЮСТИРОВКИ

ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Заявлено 29 июня 1962 г. за № 784812/26-10 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» № 16 за 1963 г.

Известные смешанные магнитоэлектростатические системы призм для юстировки электронных микроскопов содержат две пары электронных призм, расположенных последовательно одна за другой по ходу пучка. Электростатическая система обладает значительным астигматизмом и комой отклонения при наклоне пучка на углы больше 0,1, а магнитная система — значительной комой отклонения при углах наклона пучка больше 1, причем обе аберрации возрастают с увеличением угла наклона пучка. Это иска>кает форму пучка и увеличивает зону освещения, снижая при этом яркость.

В предлагаемой смешанной магнитоэлектростатпческой системе аберрации уменьшают путем применения немагнитных наконечников с прямолинейными верхними и нижними краями и выбором формы магнитных по 71осоВ.

На фиг. 1 представлена схема электронны.; призм для юстировки осветителя электронного микроскопа; па фиг. 2 и 3 — формы выполнения магнитных полюсов.

Систех1а содержvz geo napb1 электронных призм 1 и 2, расположенных одна за другой по ходу электронного пучка.

Магнитные полюса первой по ходу пучка пары электронных призм

2 снабжены немагнитными наконечниками с прямолинейными верхним и нижним краями. Наконечник, на который подают потенциал, имеет

11-образное сечение. При углах до 0,5 астшматизм системы не превышает собственного BcTHf ìàòèçìà конденсора; далее он возрастает. До№ 156253 полнительный астигматизм, вносимый коррегирующими элементами пластины П-образного сечения, больше нормы. С увеличением расстояния от коррегирующих элементов до оси пучка их влияние уменьшается, поэтому астигматизм при отклонениях пучка в пределах 1 не превышает собственного астигматизма конденсора. В дальнейшем с Gcлаблением влияния коррегирующих элементов этот угол может увеличиться до 1,5 .

Таким образом, электростатическое поле в комбинированной магнитоэлектростатической системе юстировки с заземленными электродами, расположенными по одну сторону от пучка, отклоняет пучок практически без аберраций при углах наклона до 1,5, если наконечники верхней и нижней пары имеют прямолинейные края (причем наконе ник, к которому приложен потенциал, имеет П-образное сечение).

Для устранения астигматизма магнитные полюса со стороны, обращенной к осветителю, имеют прямолинейный край с прямоугольным (фиг. 2) или круглым (фиг. 3) вырезом, а с противоположной стороны края представляют собой полуокружности, радиусы которых равны половине расстояния от нижней точки 3 выреза до нижней точки 4 нижнего края полюса. Подбирая радиус R кривизны полуокружности и высоту h полюса, можно полностью скоррегировать аберрации. При этом коррекция астигматизма не нарушается.

Предмет изобретения

Смешанная магнитоэлектростатическая система призм для юстировки электронного микроскопа. содсржащая две пары электронных призм, расположенных последовательно одна за другой по ходу пучка, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения аберраций, магнитные полюса первой по ходу электронного пучка пары электронных призм снабжены немагнитными наконечниками с прямолинейными верхним и нижним краями, причем наконечник, на который подан потснциал, имеет П-образное сечение.

2. Смешанная магнитоэлектростатическая система для юстировки электронного микроскопа по и. 1, отл и ч а ю щ а я с я тем, что магнитные полюса со стороны, обращенной к осветителю, имеют прямолинейный край с прямоугольным (или круглым) вырезом, а с противоположной стороны края представляют собой полуокружности с радиусом. равным половине расстояния от нижней точки выреза до нижней точки нижнего края полюса. № 156253

А

VUZ. 1

Фцо Я

Фиг 2

Составитель В. С. Козлов

Редактор Л. Г. Герасимова Техред А, А. Камышникова Корректор M. И. Зльмус

Подп. к печ. 20/Ч111 — 63 г. Формат бум. 70 у, 108 к Объем 0,26 нзд. л.

Зак. 2111/17 Тираж 1250 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, 2.