Вакуумный молекулярный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики и повысить надежность насоса. В зазоре между корпусом 1 и центральным ротором (ЦР) 4 установлен внешний ротор (ВР) 7, снабженный винтовыми канавками 9. Корпус 1, ВР 7 и ЦР 4 выполнены сферическими. Газ поступает через входной патрубок 2 и, взаимодействуя со стенками паза 5 ЦР 4, переносится к выходному патрубку 3. ВР 7, вращаясь вокруг оси, перпендикулярной оси ЦР 4, уменьшает обратные перетечки газа вдоль стенок корпуса 1. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) А1 (51)5 F 04 D 1 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMV СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЭОБРЕТЕНИЯМ И OTHPbfTHRM

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4426592/25 "29 (22) 06.04,88 (46) 23.01.90. Бюл. Л 3 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Горьковском государственном университете им.Н.И.Лобачевского (72) В.П.Иванов (53) 621.527.8 (088.8) (56) Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. - М.: Мир, 1964, с.123.

2 (54) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики и повысить надежность насоса. В зазоре между корпусом 1 и центральным ротором (ЦР) 4 установлен внешний ротор (ВР) 7,снабженный винтовыми канавками 9. Корпус

1, ВР 7 и ЦР 4 выполнены сферически» ми. Газ поступает через входной патрубок 2 и, взаимодействуя со стенками паза 5 ЦР 4, переносится к выходному патрубку 3. ВР 7, вращаясь вокруг оси, перпендикулярной оси ЦР 4,уменьшает обратные перетечки газа вдоль стенок корпуса 1. 3 ил.

1537896

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к KQH струкциям молекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения - улучшение откачных характеристик и повышение надежности.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг ° 2 - сечение

А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение

Б"Б на фиг.2.

Вакуумн :й молекулярный насос, содержащий корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3, размещенный в корпусе 1 центральный ротор 4, снабженный по меньшей мере одним кольцевым пазом 5, и расположенную в последнем уплотнительную вставку 6, закрепленную на корпусе 1 между патрубками 2 и 3 ° Насос дополнительно содержит внешний ротор 7, охватывающий центральный ротор 4. Корпус 1, центральный и внешний роторы 4 и 7 выполнены сферическими, оси вращения роторов 4 и 7 расположены взаимно перпендикулярно, причем внешний ротор 7 снабжен осевыми окнами 8 и винтовыми канавками 9, выполненными на его внешней и внутренней поверхностях, входной и выходной патрубки 2 и 3 размещены диаметрально противоположно на оси, совпадающей с осью вращения внешнего ротора 7, а уплотнительная вставка 6 снабжена шевронными выступами 10, выполненными на ее поверхности, обращенной к кольце1 вому пазу 5 центрального ротора 4, и плоской перегородкой 11, установленной со стороны выходного патрубка 3, при этом вершины шевронных выступов 10 направлены к плоской перегородке 11.

Насос работает следующим образом.

Предварительно полость корпуса 1 вакуумируется внешним фервакуумным насосом. Центральный и внешний роторы 4 и 7 приводятся во вращение вокруг взаимно перпендикулярных осей. Откачиваемый газ взаимодействует с поверхностью центрального ротора 4 и стенками паза 5 и пере10

20

50 носится от входного патрубка 2 к выходному патрубку 3. Обратная перетечка газа по пазу 5 предотвращается вставкой 6 с шевронными выступами 10 и плоской перегородкой 11, а также внешним ротором 7, вращение которого обеспечивает преимущественное отрешение молекул газа от стенок паза 5 в сторону нагнетания °

Совокупность конструкции уплотнительной вставки и наличия внешнего ротора, значительно снижая перетечки, обеспечивает улучшение откачных характеристики насоса, а также повышает его надежность вследствие допустимости больших зазоров между центральным ротором и корпусом.

Формула изобретения

Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, размещенный в корпусе центральный ротор, снабженный по меньшей мере одним кольцевым пазом, и расположенную в последнем уплотнительную вставку, закрепленную на корпусе между патрубками, о т л и ч а ю щ и и с il тем, что, с целью улучшения откачных характеристик и повышения надежности, насос дополнительно содержит внешний ротор, охватывающий центральный ротор, корпус, центральный и внешний роторы выполнены сферическими, оси вращения последних расположены взаимно перпендикулярно, причем внешний ротор снабжен осевыми окнами и винтовыми канавками, выполненными на его внешней и внутренней поверхностях, входной и выходной патрубки размещены диаметрально противоположно на оси, совпадающей с осью вращения внешнего ротора, а уплотнительная вставка снабжена шевронными выступами, выполненными на ее поверхности, обращенной к кольцевому пазу центрального ротора, и плоской перегородкой, установленной со стороны выходного патрубка, при этом вершины шевронных выступов направлены к плоской перегородке, 1537896 л-4

Е- б раз5ернуто