Репродукционный объектив

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к проекционным оптическим системам. Цель изобретения - повышение качества изображения. Объектив состоит из двух симметричных групп линз, каждая из которых содержит по шесть линзовых компонентов 1-6, разделенных диафрагмой 7. Компонент 1 выполнен в виде толстого отрицательного мениска. Положительный компонент 2 выполнен из плосковогнутой линзы 8, склеенной с двояковыпуклой линзой 9. Положительный мениск 3 склеен из двояковогнутой 10 и двояковыпуклой 11 линз. Склееный компонент 4 состоит из двояковыпуклой линзы 12 и плосковогнутой линзы 13. Отрицательный компонент 5 представляет собой склейку из двух отрицательных менисков 14 и 15. Увеличение объектива-1<SP POS="POST">х</SP>, числовая апертура-03, линейное поле-4,2 мм, фокусное расстояние одной линзовой группы-29,5 мм. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1539717 (51) 5 (". 02 Р> 13/26, 11/34

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ (1

ГОСУД АРСТВЕННЬ1Й НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4418090/24-10 (22) 28.04.88 (46) 30,01.90. Бюл. и 4 (72) С.Б.Г!анвелян (53) 7?1.351.6 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Х- 1086403, кл. G 02 В 11/34, 1982. (54) РЕПРОДУКЦИОННЬ!Й ОБЪЕКТИВ (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к проекционным оптическим системам, Цель изобретения — повышение качества изображения. Объектив состоит из двух симметричных групп линз, из которых содержит по шесть линзовых ком2 понентов 1-6, разделенных диафрагмой

7. Компонент 1 выполнен в виде толстого отрицательного мениска, Положительный компонент 2 выполнен из плосковогнутой линзы 8, склеенной с двояковыпуклой линзой 9. Положительный мениск 3 склеен из двояковогнутой 10 и двояковыпуклой 11 линз. Склеенный компонент 4 состоит из двояковыпуклой линзы 12 и плосковогнутой линзы 13.

Отрицательный компонент 5 представляет собой склейку из двух отрицательных менисков 14 и 15. Увеличение объектива 1", числовая апертура 03, линейное поле 4,2 мм, фокусное расстояние одной линзовой группы 29,5 мм.

3 ил.

1539717

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к проекционным оптическим системам, и может быть использовано в фотолитографии в установках проекционного переноса изображений топологии с фотошаблона на подложку.

Цель изобретения — повышение качества изображения. !О

На фиг. 1 изображена принципиальная оптическая схема объектива, на фиг.2 — график частотно-контрастной характеристики (ЧКХ) для центра поля зрения; на фиг.3 — то же, для края поля зрения.

Объектив состоит из двух симметричных групп линз, каждая иэ которых содержит по шесть линзовых компонентов 1-6, разделенных диафрагмой 7. 20

Компонент 1 выполнен в виде толстого .отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к диафрагме 7. Положительный компонент 2 выполнен из плосковогнутой линзы 8, склеенной с дво- 25 яковыпуклой линзой 9. Компонент 3— положительный мениск склеен из двояковогнутой 10 и двояковыпуклой 11 линз. Компонент 4 склеен из двух линз двояковыпуклой 12 и плосковог- 30 нутой 13. Отрицательный компонент 5, обращенный выпуклостью к диафрагме, представляет собой склейку иэ двух отрицательных менисков 14 и 15. Компонент 6 — плосковыпуклая линза.

Репродукционный объектив работает с увеличением 1", имеет числовуюапертуру 0,3 и линейное поле изображения

4,2.мм. Фокусное расстояние одной линзовой группы 29,5 мм. 40

Предлагаемая конструкция объектива обеспечивает высокое качество иэоб" ражения — среднеквадратичное отклонение волнового фронта от опорной сферы с центром в дифракционном фокусе

1 не превышает †. Коэффициент передачи контраста по всему полю в спектральной области 404+10 нм не хуже 0,52 для пространственной частоты 500 л/мм.

Такие характеристики позволяют обеспечить качественное воспроизведение изображений микроструктур с субмикронными размерами элементов.

Поперечная сферическая аберрация не превышает 0,004 мм, астигматическая разность на краю поля зрения

0,003 мм, по полю — не более 0,0015 мм.

Формула изобретения

Репродукционный объектив, содержащий две группы линз, симметричных относительно размещенной между ними диафрагмы, причем каждая иэ групп линз содержит шесть компонентов, первын из которых мениск, обращенный выпуклостью к диафрагме, второй — положительная линза, склеенная из отрицательной и двояковыпуклой линз, третий — положительная линза, четвертый— положительная линза, склеенная из двояковыпуклой и отрицательной линз, пятый — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к диафрагме и склеенный из двух менисков, второй иэ которых отрицательный, шестой— плосковыпуклая линза, обращенная выпуклостью к диафрагме, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повышения качества иэображения, в каждой из групп линз первый компонент выполнен с отрицательной оптической силой, отрицательная линза второго компонента выполнена плосковогнутой, третий компонент выполнен склеенным из дво- . яковогнутой и двояковыпуклой линз, отрицательная линза четвертого компонента выполнена вогнуто-плоской, а первый мениск пятого компонента выполнен отрицательным.

1539717

1,0 00 й0 300 400 500 д(юру

Йсг.2

Составитель В.Архипов

Техред Л.Олийнык Корректор З.Лончакова

Редактор Н. Киштулинец

Тираж 442

Заказ 217

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Рауша кая иаб,, д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 гав фиМ, CP_#_llUf

ЗМ М70 500 у ин сали/ълаьч:< с"с +AC

Фи@. 3