Способ контроля вакуума внутри баллона кварцевого резонатора

 

Изобретение относится к технической физике и позволяет повысить достоверность контроля вакуума внутри бесштенгельного баллона высокочастотного гармоникового кварцевого резонатора. Способ состоит в использовании в качестве информативного параметра контроля величины пороговой мощности рассеяния на резонаторе, соответствующей появлению провала активности в его амплитудно-частотной характеристике. Указанная величина монотонно зависит от давления внутри баллона резонатора в широком диапазоне давлений 10<SP POS="POST">-3</SP> - 10<SP POS="POST">3</SP> мм рт.ст. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУЬЛИН (51) 5 С 01 L 21/22

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОЧИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРМТИЯМ

ПРИ П"1НТ СССР (21) 4088141/24 — 10 (22) 10.07.86 (46) 15.02.90. Бюл. Р 6 (72) А.A. Прокимов, О.К. Козин, В.Ф. Солодовник, А.A. Зеленский и В.А. Шевелев (53) 531.787(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 594424, кл. С 01 L 21/22, 1976. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ВАКУУИА ВНУТРИ

БАЛЛОНА КВАРЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА (57) Изобретение относится к технической физике и позволяет повысить

Иэобретени относится к технической физике и может быть использовано при разработке и исследовании о пьезокварцевых резонаторов, стабильность параметров которых зависит от глубины и постоянства вакуума внутри баллона.

Целью изобретения является повышение достоверности контроля вакуума внутри бесштенгельного баллона высокочастотного гармоникового кварцевого резонатора.

На фиг. 1 изображена структурная схема установки для реализации предлагаемого способа; на фиг ° 2 — график амплитудно-частотой характеристик рабочей моды кварцевого резонатора; на фиг. 3 — график снятой экспериментально функциональной зависимости пороговой мощности от давления газа внутри баллона кварцевого резонатора.

Установка (фиг. 1) содержит генератор 1 качающейся частоты, измери„„SU„„1543269 д 1 достоверность контроля вакуума внутри бесштенгельного баллона высокочастотного гармоникового кварцевого резонатора. Способ состоит в использовании в качестве информативного параметра контроля величины пороговой

- мощности рассеяния на резонаторе, соответствующей появлению провала активности в его амплитудно-частотной характеристике. Указанная величина монотонно зависит от давления внутри баллона резонатора в нироком диапазоне давлений 10 - 10 мм рт.ст.

3 ил. тельный четырехполюсник с резонатором 2, измеритель 3 амплитудно-частотных характеристик и векторный вольтметр 4. Измерительный четырехполюсник 2 размещен внутри вакуумной камеры, к которой подсоединен измеритель 5 вакуума. Генератор 1, четы- а рехполюсник 2 и измеритель 3 соедине- СЛ ны в кольцо. Векторный вольтметр 4 4ь подключен к входу и выходу четырех- фф .полюсника 2. Ю

Способ осуществляют следующим об- ф разом. МР

При фиксированном давлении газа внутри вакуумной камеры резонатор возбуждают от генератора 1 качающейся частоты, изменяют выходную мощность генератора и снимают семейство амплитудно-частотных характеристик рабочей моды резонатора, по которому находят величину пороговой мощности рассеяния на резонаторе, соответствующей появлению провала активности

1543269 в амплитудно-частотной характеристике (фиг. 2) .

Эти действия повторяют при постоянной температуре окружающей среды и неизменных амплитуде н длительности сканирования частоты генератора 1 дпя ряда значений давления газа внутри вакуумной камеры, получая, таким образом, функциональную зависимость пороговой мощности резонатора от уровня вакуума (фиг. 3).

После заварки баллона резонатора в,процессе производственного контроля, хранения или эксплуатации кварцевого резонатора с помощью той же

{@иг. 1) или аналогичной установки измеряют величину пороговой мощности и по найденной функциональной зависимости (фиг. 3) определяют величину вакуума внутри баллона кварцевого рез онатора.

Благодаря тому, что величина пороговой мощности монотонно зависит от 25 давления в баллоне бесштенгельного высокочастотного гармоникового кварт евого резонатора в широком диапазоне давлений 10 +-10 мм рт.ст., повышается достоверность контроля вакуума s таких изделиях.

Формула изобретения

Способ контроля вакуума внутри баллона кварцевого резонатора, при котором перед заваркой баллона снимают функциональную зависимость информативного параметра резонатора от уровня вакуума и после заварки баллона определяют по этой зависимости и измеренному значению информативного параметра величину вакуума внутри баллона, отличающийся тем, что, с целью повышения достоверности контроля вакуума внутри бесштенгельного баллона высокочастотного гармоникового кварцевого резонатора, резонатор перед заваркой баллона помещают в вакуумную камеру и при каждом фиксированном значении уровня вакуума в камере возбуждают его от генератора качающейся частоты, изменяют выходную мощность генератора и снимают семейство амплитудно-частотных характеристик рабочей моды резонатора, по которому находят величину пороговой мощности рассеяния на резонаторе, соответствующей появлению провала активности в его амплитудночастотной характеристике, при этом в качестве информативного параметра используют пороговую мощность.

1543269 (нм ртсб) Редактор Ю.Середа

Заказ 394

Тираж 462

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r Ужгород, ул. Гагарина, 101 к8, (и3а

Фиг. 5

Составитель И.Сумцов

Техред М.Дидык Корректор А.Обручар