Натекатель

 

Изобретение относится к вакуумной техники и может быть использовано для дозировки малых потоков газа в вакуумные системы. Цель изобретения - повышение надежности за счет увеличения точности регулирования потока напуска газа в вакуумную систему. Регулирование потока газовой смеси осуществляется сжатием сильфона 7 приводом перемещения 5, вызывающим повышение давления внутри герметичной системы, состоящей из трубки 6 и сильфона 7. Увеличение давления внутри системы вызывает изменение геометрической формы упругодеформируемой тонкостенной трубки 6. Система заполнена электрореологической жидкостью, при прохождении через нее электрического напряжения трубка 6 меняет свой объем. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.

союз советских социАлистических

РЕСПУБЛИК (51)5 F 16 К 51/02

ГОСУДАРСТНЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4473525/31-29 (22) 15.08.88 (46) 23.05.90. Бюл. № 19 (71) Московский институт электронного машиностроения (72} А. Т. Александрова, И. Г. Гуськова, Н. Я. Дривинг, В. H. Кеменов и Л. Н. Назаров (53) 621.646 (088.8) (56) Королев Б. И. и др. Основы вакуумной техники. — М.: Энергия, 1975, с. 325.

Вакуумная техника. Справочник под ред.

Р. С. Фролова, М.: Машиностроение, 1985. с. 119.

„„SU„„1566155 А 1 (54) НАТЕКАТЕЛЬ (57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для дозировки малых потоков газа в вакуумные системы. Цель изобретения — повышение чадежности за счет увеличения точности регулирования потока напуска газа в вакуумную систему. Регулирование потока газовой смеси осуществляется сжатием сильфона 7 приводом перемещения 5, вызывающим повышение давления внутри герметичной системы, состоящей из трубки 6 и сильфона 7.

Увеличение давления внутри системы вызывает изменение геометрической формы упругодефор мируемой тон костен ной трубки 6, Система заполнена электрореологической жидкостью, при прохождении через нее электрического нагряжения трубка 6 меняет свой объем. 3 з. и. ф-лы, 2 ил.

1566155 формула изобретения з

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для дозировки малых потоков газа в вакуумные системы.

Цель изобретения — повышение надежности за счет увеличения точности регулиро5 вания потока напуска газа в вакуумную систему.

На фиг. представлен натекатель, общий вид; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1 (с помещенными в электрореологическую жидкость электродами) .

Натекатель содержит корпус 1 со штуцерами 2 и 3 подачи рабочей среды, игольчатый клапан 4, кинематически связанный с приводом 5 перемещения. Кинематическая связь клапана 4 с приводом 5 перемещения выполнена в виде герметичных, заполненных жидкостью систем, включающих исполнительный орган, жестко связанный с клапаном, и узел регулирования давления.

Исполнительный орган выполнен в виде закрепленной по концам к корпусу 1 прямолинейной тонкостенной упругодеформируемой трубки 6 овального сечения, которая в своей средней части вдоль малой оси соединена с клапаном 4, причем один из концов трубки заглушен. Узел регулирования давления выполнен в виде сильфона 7, один торец которого герметично соединен со свободным концом упругодеформируемой трубки 6, а другой заглушен и связан с приводом 5 перемещения, а также в виде электродов 8 3р и 9, размещенных внутри упругодеформируемой трубки 6 и сильфона 7 и пропущенных через заглушки и связанных с источником регулируемого напряжения. Трубка 6 заполнена электрореологической жидкостью

10. Игольчатый клапан 4 соединен с труб- 35 кой 6 с помощью резьбовой втулки 11 и находится посередине. Седло 12 клапана 4 размещено в штуцере 3 и имеет вакуум-плотное соединение с ниппелем 13.

Натекатель работает следующим обра- 4О зом.

Регулирование потока газовой смеси осуществляется сжатием сильфона 7 приводом 15 перемещения, вызывающим повышение давления внутри герметичной системы, состоящей из трубки 6 и сильфона 7. Увеличение давления внутри системы вызывает изменение геометрической формы упругодеформируемой тонкостенной трубки 6 овального сечения, при этом уменьшается большая ось овала а и увеличивается малая ось в.

Увеличение малой оси овала вызывает перемещение иглы клапана 4 и изменение канала проводимости между иглой клапана 4 и его седлом 12. При снятии давления система возвращается в исходное положение.

Когда система заполнена электрореологической жидкостью, при прохождении через нее электрического напряжения жидкость меняет свой объем и трубка «дышит», перемещая при этом клапан 4.

1. Натекатель, содержащий корпус со штуцерами подачи рабочей среды и размещенный в корпусе клапан, кинематически связанный с приводом перемещения, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, кинематическая связь выполнена в виде герметичных, заполненных жидкостью систем, включающих исполнительный орган, жестко связанный с клапаном, и узел регулирования давления.

2. Натекатель по и. 1, отличающийся тем, что исполнительный орган выполнен в виде закрепленной по концам к корпусу прямолинейной тонкостенной упругодеформированной трубки овального сечения, в средней части вдоль малой оси, соединенной с клапаном, причем один из концов трубки заглушен.

3. Натекатель по пп. 1 и 2, отличающийся тем., что узел регулирования давления выполнен в виде сильфона, один торец которого герметично соединен со свободным концом упругодеформируемой трубки, а другой заглушен и связан с приводом перемещения.

4. Натекатель по пп. 1 и 3, отличающийся тем, что узел регулирования давления выполнен в виде электродов, размещенных внутри упругодеформируемой трубки к сильфона и пропущенных через заглушки и связанных с источником регулируемого напряжения, а трубка заполнена электрореологической жидкостью.

1566155

Составитель Т. Иванова

Редактор Н. Тупица Техред И. Верес Корректор Л. Бескид

Заказ 1212 Тираж 555 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прп ГКНТ СССР! 13035, Москва, 7K — 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101