Электромагнитная линза

 

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано при разработке охлаждаемых электромагнитных линз (ЭМЛ) для электронно-оптических систем. Цель изобретения - повышение термостабильности ЭМЛ4 ПУТЕМ ВВЕДЕНИЯ ДОПОЛНИТЕЛЬНОГО ОХЛАЖДАЮЩЕГО ЭЛЕМЕНТА В ВИДЕ ТЕРМОБАТАРЕИ (ТБ). ЭМЛ содержит магнитопровод, обмотку возбуждения, размещенную внутри герметизированного корпуса и пропитанную легкоиспаряющейся жидкостью. Над обмоткой возбуждения расположена система конденсации в виде кольцевой проточной полости, которая имеет общую стенку с герметизированным корпусом. В этой стенке выполнены зазоры, в которых устоновлена ТБ. Ее холодные слои контактируют с общей стенкой со стороны герметизированного корпуса, а горячие - со стороны проточной полости. ЭМЛ может содержать несколько ТБ, которые размещены в зазорах, выполненных в пределах равномерно расположенных по окружности секторов. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК щ) Н 01 J 3?/14

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4455993/24-21 (22) 06.06.88 (46) 23.07.90. Бюл. Р 27 (71) Сумское производственное объединение "Электрон" (72) В.Г.Веприк, R.Ñ.Ãóðèí, А.И.Никифоров и Н.А.Грачев (53) 621.385,833 (088.8) (56) Гравель B.È., Ченцова Н.В.

Охлаждаемая обмотка электромагнитной линзы. — В сб. Х1. Всес.конф. по электронной микроскопии. — 11.: Наука, 1979, т.1. с.22.

Авторское свидетельство СССР

Р 661646, кл. Н 01 1 37/20, 1976. (54) ЭЛЕКТРОМАГНИТНАЯ ЛИНЗА (57) Изобретение î-носится к электронной микроскопии и может быть использовано при разработке охлаждаемых электромагHHTHhIx линз (Э1Л) для электронно-оптических систем. Цель

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано при разработке охлаждаемых электромагнитных линз (ЭМЛ) для электронно-оптических систем.

Цель изобретения — повышение термостабильности Э11Ч за счет введения дополнительного охлаждаюцего элемента в виде термобатареи.

На фиг.1 показана Э1 Л со схемой регулирования, разрез; на фиг.2 и

3 — то же, снабженная несколькими отдельными термобатареями.

Конструкция ЭИЛ включает каркас

1, обмотку 2 возбуждения, которая

„„SU„,, 1580454 А1 изобретения — повышение термостабильности Э!Ш путем введения дополнительного охлаждающего элемента в виде термобатареи (ТБ). Э11Л содержит магнитопровод, обмотку возбуждения, размещенную внутри герметизированного корпуса и пропитанную легкоиспаряющейся жидкостью. Над обмоткой возбуждения расположена система конденсации жидкости в виде кольцевой проточной полости, которая имеет общую стенку с герметизированным корпусом.

В этой стенке выполнены зазоры, в которых установлена ТБ. Ее холодные слои контактируют с общей стенкой со стороны герметизированного корпусса, а горячие — со стороны проточной полости. ЭИЛ может содержать несколько Т1, которые размещены в зазорах, выполненных в пределах равномерно расположенных по окружности секторов. 1 э.п. A-лы, 3 ил.

1 размещена в герметиэированном корпусе 3 и пропитана легкоиспаряюцейся жидкостью, например диэтиловым эфиром. Над обмоткой возбуждения расположена система конденсапии жидкости в виде кольцевой охлаждаемой проточной полости 4, соединенной штуцером 5 с внешним источником хладагента, обычно воды. Проточная полость и герметизированный корпус имеют одну общую стенку конденсации — охлаждения. В зазорах, выполненных в этой стенке, размецена плоская термобатарея 6, холодные спаи которой контактируют с общей стенкой со стороны герметиэи1580454 рованного корпуса 3, а горячие — со, стороны проточной полости 4. Схема регулирования включает коммутационный блок 7 управления, источник 8 питания, блок 9 сравнения, входы которага соединены с датчикам 10 температуры охлаждающей воды и датчиком

11 температуры обмотки возбуждения, Электромагнитная линза работает 10

;следующим образом.

В проточную полость подается ох,лаждающая вода и включается питание ,. обмотки возбуждения 3К1. Предварительна задается диапазон регулирования напряжения, подаваемого на термабатарею, н зависимости от установившейся разности температур воды и обмотки охлаждения так, чтобы температура последней находилась в задан- щ ных предепах. Вследствие выделения тепла н обмотке возбуждения происходит нагрев и испарение легкоиспаряющейся жидкости, пары которой поднимаются вверх, конденсируются на охлаждаемой общей стенке и стекают вниз, обеспечивая непрерывность процесса,- аналогично тому, как зто происходит в тепловых трубах. При нестабильной температуре воды в случае изменения наружной температуры и других внешних тепловых Аакторах, которые регистрируются датчиками 10 и 11, дополнительно регулируется охлаждающее действие термобатареи, которое сглаживает или компенсирует колебания температуры обмотки нозбуждения при ее выходе за установленные пределы. В результате уменьшается термодрейА обмотки возбужде- 40 ния, что лоньпнает качество электронно-оптических характеристик электронного микроскопа. Интенсификации теплообмена способствует установка отдельных термобатарей в равномерна расположенных по окружности зазорах в пределах секторов. При этом реализуются васходяще †нисходящ потоки легкоиспаряющейся жидкости. Угловые размеры спектров и их число определяется плотностью тока в обмотке возбуждения, ее Аармой и размерами.

Например, для ЭИЛ с наружным диаметром обмотки нозбуждения 1?О мм. внутренним 50 мм и толщиной 30 мм при заданной плотности тока 12 А/мм были установлены четыре термобатареи толщиной 6 мм в секторах с углом при вершине 60, а в пределах секторов между о термобатареями с углом 30 общая стенка выполнялась сплошной. При таких соотношениях обеспечивалась высокая интенсивность и равномерность охлаждения обмотки возбуждения по азимуту.

Формула и з а б р е т е н и я

1. Электромагнитная линза, содержащая магнитопронод, обмотку возбуждения, размещенную внутри герметизированного корпуса и пропитанную легкоиспаряющейся жидкостью, а также систему конденсации жидкости в виде кольцевой охлаждаемай проточной полости, расположенной над обмоткой возбуждения и имеющей общую стенку с герметизиронанным корпусом, а т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения термостабильнасти линзы, ана снабжена плоской термабатареей, расположенной в зазорах, выполненных н общей стенке, причем холодные спаи термобатареи контактируют с общей стенкой со стороны герметизираванного корпуса, а горячие — со стороны проточной полости.

2, Линза по п.1, а т л и ч а ю— щ а я с я тем, чта зазоры в общей стенке выполнены в пределах, равномерно расположенных по окружности секторов.

I 804 5ч б

4Ъа2

1580454

Составитель В.Гаврюшин

Техред М.Ходанич., Корректор И.Пожо

Редактор Л.Зайцева

Заказ 2017 Тираж 40б Подписное

BHHHIIH Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Производственно-издательский комбинат ™Патентн, r. Ужгород, ул, Гагарина, 101