Способ контроля шероховатости поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля шероховатости звукопроводящих материалов. Цель изобретения - повышение точности за счет снижения помех. На исследуемой поверхности возбуждают поверхностные акустические волны. Измеряя в относительных единицах коэффициент их затухания, можно судить о шероховатости поверхности. Коэффициент затухания определяют оптическим методом, излучая в две точки на поверхности под острым углом когерентные пучки и регистрируя соответствующие максимумы интенсивности отраженных дифракционных пучков. По их отношению судят о затухании и далее по тарировочной кривой затухание акустических волн - шероховатость определяют искомую величину. 2 ил.

„,ЯО„„1585674 (51) 5 G 01 В 17/00

Н А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ отраженного излучения, 13 — световод.

На фиг. 2 изображена калибровочная кривая зависимости коэффициента поверхностных акустических волн (ПАВ) затухания от величины шероховатости к длине ПАВ.

Способ осуществляют следующим образом.

На исследуемой поверхности возбуждают ПАВ, например лазером. Затем измеряют затухание iIAB зависящее от шероховатости. Пля этого на две различные точки поверхности под одинаковым острым углом направляют когерентный пучок излучения. Шероховатость и ПАВ действуют при отражении пучков как дифракционная решетка, а интен сивность дифрагированного света проГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИОССИ ЕТЯНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4361568/25-28 (22) 11.01.88 (46) 15.08.90. Бюл. Р 30 (71) Комсомольский-на-Амуре политехнический институт (72) В.Ф.Цалко и Е.В,Лановенко (53) 620.179.16 (088.8) (56) Патент Франции У 2531776, кл. G 01 В 11/30, 1984. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ

ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля шероховатости эвукопроводящих материалов. Цель изобI

Изобретение относится к машиностроению, в частности к способам контроля качества полированной поверхности звукопроводящих материалов.

Цель изобретения — повышение точности за счет снижения помех.

На фиг. 1 изображена установка с лазерным зондом, на которой реализуется предлагаемый способ.

Позицией 1 обозначена контролируемая поверхность, 2 — полупрозрачное зеркало; 3 — линза; 4 — лазер, 5— регистратор интенсивности лазерного излучения; 6 — диафрагма; 7 — линза;

8 — оптический фильтр; 9 — линза;

10 — фотоэлектронный умножитель, 11 широкополосный усилитель, 12 — регистрирующее устройство интенсивности

2 ретения — повышение точности за счет снижения помех. На исследуемой поверхности возбуждают поверхностные акус-. тические волны. Измеряя в относительных единицах коэффициент их затухания, можно судить о шероховатости поверхности. Коэффициент затухания определяют оптическим методом, излучая в две точки на поверхности под острым углом когерентные пучки и регистрируя соответствующие максимумы интенсивности отраженных дифракционных пучков. По их отношению судят о затухании и далее по тарированной кривой затухание акустических волн— шероховатость определяют искомую величину. 2 ил . порциональна интенсивности звуковой волны, что подтверждается формулой:

I Т ви (М I ), 1 Я

I 6

1585б 74 зависимости затухания К от отношения шероховатости к длине ПАВ с помощью тирировочной кривой на фиг. 2.

Формула изобретения где I — интенсивность излучения свеЩ та в ш-м дифракционном максимуме;

1 " интенсивность основного зеркального отраженного луча;

I, длина взаимодействия светового излучения с ПАВ (в . данном случае это диаметр светового луча);

/1 - длина волны;

М - параметр, характеризующий акустооптические качества материала (величина постоянная);

I " интенсивность звуковой вол35 ны..

Регистрируют интенсивности соответствующих максимумов, дифкрационных пучков, отношение которых харак-. теризует<.в условнъм единицах затухания К ПАВ. О шероховатости судят по

Способ контроля шероховатости поверхности, заключающийся в том, что на одну точку поверхности под острым углом направляют когерентный пучок излучения и регистрируют интенсивность отраженного дифракционного пучка, с учетом которой судят о шероховатости, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, на поверхности возбуждают акус гические волны, под тем же углом на другую точку поверхности направляют когервнтный пучок излучения, регистрируют соответствующие максимумы интенсивности отраженных дифракционных пучков, а о шероховатости судят по зависимости отношения максимумов интенсивности отраженных пучков,от отношения шероховатости к длине поверхностной акустической волны.

15856 74

03

0.7

О.!

Составитель Л.Кондрыкинская

Техред Л.Сердюкова Корректор М. IIoao

Редактор Л. Пчолинская

Заказ 2321 Тираж 479 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101