Патент ссср 160781
СОН)3 СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ОПИСАНИЕ изов ретин ИЯ к кктотскомт скккктклксткт"
go 1йЩ1
Класс
21, 37;о
МПК
Н 01г
Заявлено 24.XI.1962 (№ 804741)26-10) lOCYAAPCTSEHHblII
КОМИТЕТ По МЛЛМ
ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
СССР
УДК
Опубликовано 26.11.1964. Бюллетень № 5
Подписная грутга Ло 82
l1. А. Стоянов
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ КАРТИНЫ
С МИКРОУЧАСТКА ОБЪЕКТА В МАГНИТНОМ ЭЛЕКТРОННОМ
М И КРОСКОП Е (3 (J
f =—
p„ / - т
""oI
1 е Р
m 16
Р рте причем k = g m p>, а д =—
m 8-,2(Известные способы получения дифракционной картины с микроучастка объекта в магнитном электронном микроскопе не обеспечивают полного соответствия между электронно-оптической и электронно-графической картинами, Предлагаемый способ отличается от известных тем, что в полость канала полюсного наконечника промежуточной линзы электронного микроскопа вводят металлический цилгпгр, изолированный от заземленных частей микроскопа, и подают на него регулируемое напряжение, изменяющее фокусное расстояние указанной линзы.
Получение дифракционной картины по предлагаемому способу заключается в том, то изменение фокусного расстояния промежуточной линзы магнитного электронного микроскопа при переходе от электронно-микроскопических исследований к дифракционным производят без изменения ускоряющего напряжения микроскопа. Известно, что фокусное расстояние длиннофокусных магнитных линз, к числу которых относится промежуточная линза, можно записать в виде
В этих выражениях:
d — полуширина пика приоссвого распределения магггитного поля промежуточной линзы;
Рг — КОЭффИЦИЕНт ФОРМЫ, ЗаВИСЯЩ1Ш От Отношения длгшгя немапштного зазора полюсного наконечника к его диаметру; рв — магнитная проницаемость в вакууме; г — удельный заряд электрона;
1 — магнитодвижущая сила промежуточной линзы; и — скорость электронов в эв.
Из приведегшого выражения следует, что
Из полученного выражения можно установить, что фокусное расстояние f можно менять, лишь варьируя скорость и электронов, оставляя прп этом магнитодвижущую силу 1 строго постоянной. Однако варьировать скорость и электронов путем изменения ускорян>щего напряжения микроскопа невозможно, поскольку при этом изменяется фокусное расстоянгге всех входящггх в микроскоп линз:
¹ 1б0781
Предмст изобретения
Состав. тспь В. Ф. Ванторин
Редактор Л. В. 1<апашпикова Техрс 1 А. А. Камышинке: à Vnj)pel<100 В. П. Фомина
Подп, к печ. 22,,111 — 6 1 г. Формаг лм, 0 К 901 6 05ьем 0,23 ивдь л.
Зак. 646!1 Тира>к 925 Цена 5 коп.
ЦНИ11ПИ 1осударствспного комитсга по дезам пвойретснн1:. и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типограгонл. пр, Сапунова, 2 объектива, промежуточной линзы и проектива, и юстировка прибора llapyirlaerc». Поэтому при осуществлении предлагаемого способа варьируют скорость и электронов лишь в пределах самой проме>куточпой линзы Ii ec окрестностей, для чего в полость полюс;1ого пакопсчника указанной линзы вводят металлический цилиндр, изо»ilponBIIIII»I от заземленных частей микроскопа, а па этот цилиндр подаи1т регулируемое напряжение, от вели п1пы которого (при прочих равных условиях) зависит фокуспое расстояние промежуточной линзы.
Способ получе1гия дифракцион картины с >I I III
частка 00 hcl =;:åêTpoiliIo-01п ической 11 электроппо-графичеeI
