Патент ссср 161606

Авторы патента:

А. С. Таурайтис

ослд нгк

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

Соез Советских, Социллистических

ГЕСПЛЛИК

ОПИСАНИЕ. ИЗОЫ ЕТЕНИЯ

Класс

48Ь, 14 сф

jj )1 ъ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

МПК

С 23с № 161606

Заявлено 28.11.1963 (¹ 822407(26-10) ГОСУДАРСТВЕННЫИ

КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТКРЫТИЙ

СССР

УДК

Опубликовано 19.111.1964. Бюллетень № 7

Подписная гру1111а № 110

Заявитель

Научно-исследовательский институт электрографии

Государственного комитета по радиоэлектронике СССР

Автор изобретения

А. С. Таурайтис

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ СЕЛЕНОВОГО

СЛОЯ НА НЕПОДВИ)КНЫЕ ЦИЛИНДРЬ!

Предмет изобретения

Известны вакуумные установки для нанесения селенового слоя на цилиндры.

B предлагаемой вакуумной установке для повышения производительности испарители имеют кольцеобразную форму и соединены с механизмом, перемещающим их вдоль оси цилиндров.

На чертеже представлена схема одной из вакуумных камер предлагаемой вакуумной установки.

Камера содержит полый цилиндр 1, закрытый двумя фланцами 2 и 8, которые через вакуумные уплотнения сжимают напыляемый цилиндр 4. Внутренняя полость цилиндра 4, на который необходимо нанести селеновый слой, заполнена жидкостью, циркулирующей через цилиндр и термостат для поддер>кания постоянной температуры цилиндра. Через вакуум-провод 6, являющийся общим для всей вакуумной установки, в пространстве между цил11ндрамп 1 ii 4 создастс11 вакуум.

Напыле:ше селенового слоя производят кольцеобразны;1 испарптслсм 6, имеющим возможность возвратно-поступательного движения вдоль оси цилиндра. Возвратно-поступательное движение испаритсля 6 может быть осуществлено, например, с помощью электромагнитного или другого привода.

Вакуумная установка для liaiieceiii;51 селенового слоя на неподвп>кные цилиндры, термостатируемые жидкостью, о т I и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения производительности, испарители 11меют кольцеобразную форму и соединены с механизмом, перемещающим их вдоль оси цилиндров.

М 161606

Составитель В. И. Сафонова

Редактор Н. С. Кутафина Тсхред А. А. Камышникова Корректор О. Б. Тюрина

Поди. к печ. 8/IV вЂ” 64 г. <1>ормат бум. 60Х90 /в Объем 0,23 нзд. л.

Заказ 717/15 Тираж 1025 Цена 5 кон

LlIlIIHHH Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типографии, пр. Сапунова, 2.

Похожие патенты:

Патент 154996 // 154996

Плавящий элемент для испарения металла в вакууме // 65570

Патент 58290 // 58290

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме