Патент ссср 165629
О П И С А Н И Е l65629
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистииеских
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 48Ь, 14
Заявлено 21.11,1963 (№ 822408/22-2) с присоединением заявки №
Приоритет
Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР
МПК С 23с
УДК
Опубликовано 12.Х.1964. Бюллетень № 19
Дата опубликования описания 23.XI.1964
Авторы изобретения
Н. И. Шпиньков и В. М. Красильников
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНЫХ ПЛЕНОК
НА ПОДЛОЖКИ В ВАКУУМЕ
Подписная группа № 110
Известны установки для напыления ферромагнитных пленок в вакууме, расположенных в плоской неподвижной кассете, что приводит к получению неоднородных по толщине и магнитным свойствам пленок в одной партии.
Чтобы обеспечить однородность напыляемых пленок по толщине и магнитным свойствам, в предлагаемом устройстве подложки располагают в кассете вертикально по внутренней поверхности вращающегося вокруг испарителя цилиндра. Количество пленок зависит от размеров вакуумного колпака, под которым происходит напыление, и размеров подложек.
На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.
Испарение производится с вольфрамовой проволоки 1, изогнутой в виде двойной
«змейки», концы которой крепятся в контактных зажимах 2, подвешенных на стойках токовых вводов. Кассета 3 выполнена в виде торроида, на внутренней поверхности которого выфрезерованы гнезда для подложек. Подложки экранируются масками 4, соответствующими требуемой форме пленок. Для подогрева подложек в корпусе кассеты помещена молибденовая спираль 5, ток к которой подводится через контактную пружину б, прижимающуюся к токовому вводу, расположенному в плите, При помощи трубки 7 кассета соединена с ротором 8. Внутри трубки находится шток 9, на который насажен цилиндрический экран 10, изготовленный из молибдена.
При пропускании тока по катушке 11 шток
5 поднимает экран, чтобы закрыть подложки во время обезгаживания испарителя, а также по окончании напыления. Ротор помещен в стакан 12, который плотно соединен с трубкой 18, впаянной в плиту вакуумной камеры, 10 После подогрева испарителя и установления нормального режима напыления включается ток в обмотке электромагнита 14 и двигатель
15, вращающий электромагнит.
15 На нижнем штоке закреплен магнит 1б. Под действием поля электромагнита ротор вращается и приводит во вращение кассету. При этом контактная пружина соскальзывает с ввода и ток для подогрева подложек выклю20 чается. Когда скорость вращения установится, ток в катушке выключается, экран опускается и открывает подложки.
Начинается процесс испарения, который можно прервать в любой момент, подняв эк25 ран, закрывающий подложки от испарителя.
Благодаря движению подложек вокруг испарителя напыление происходит равномерно и создается одноосная магнитная апизотропия пленок, совпадающая с направлением движеЗО ния подложек, 165629
Предмет изобретения
Составитель Е. 3. Шехтман
Редактор Л. В. Калашникова Техред А. А. Кудрявицкая Корректор М. Н. Ком
Заказ 2917/15 Формат бум. 60X90 Объем 0,13 изд. л. Тнрахк 825. Цена 5 коп.
ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
Устройство для напыления ферромагнитных пленок на подложки в вакууме, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью получения однородных по толщине и магнитным свойствам пленок, подложки в кассете располагают вертикально по внутренней поверхности вращающегося вокруг испарителя цилиндра, ось которого параллельна направлению внешнего маг5 нитного поля.
77
7Б
