Способ контроля геометрических параметров элементов изделий с периодической структурой

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в технологии производства волоконно-оптических изделий. Цель изобретения - расширение технологических возможностей способа путем обеспечения возможности контроля микроэлементов волоконно-оптических изделий. Способ заключается в изготовлении контрольной микроканальной пластины (МКП), содержащей тест-объект, и использовании установки для автоматизации процесса измерения. Для изготовления контрольной МКП на ее рабочую поверхность наносят поглощающее покрытие в форме секторов с границей между секторами, выполненной в виде перекрестия. Ширина полос перекрестия установлена в пределах размеров от одного до трех микроэлементов. В качестве тест-объекта выбирают микроэлемент, расположенный в центре перекрестия. Перед началом измерений устанавливают на предметный столик микроскопа контрольную МКП, содержащую тест-объект, отыскивают тест-объект в центре перекрестия, замеряют эталонные значения контролируемых параметров, вводят их в "память" устройства, заменяют контрольную МКП на контролируемую и ведут контроль параметров, сравнивая их текущие значения с эталонными. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

SU: 16О5139 (51) 5 Г 01 В /00! т

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4412983/?4-28 (2?) 19.04.88 (46) 07.11.90. Бюл. !! 41 (72) Е.E.Христич (53) 531.717(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР " 648833, кл. G 01 В 11/24, 1979. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИ, ЕСКИХ

ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕМЕНТОВ ИЗДЕЛИЙ С ПЕРИО.

ДИЧЕСКО!1 СТРУКТУРОЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в технологии производства волоконно-оптических изделий. Цель изобретения — расширение технологических возможностей способа путем обеспечения возможности контроля микроэлементов волоконно-оптических изделий. Способ заключается в изготовлении контрольной микроканальной пластины (МКП), содержащей тестИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в технологии производства волоконно-оптических изделий.

Цель изобретения — расширение технологических возможностей способа путем обеспечения возможности контроля микроэлементoB B lAKo „ огти— ческих изделий.

На фиг. 1 показана форма выполнения светопоглощающего покрытия, на фиг. 2 — блок-схема устройства, реализующего способ контроля геометрических параметров элементов.

2 обьект, и использовании установки для автоматизации процесса измерения.

Для изготовления контрольной МКП на

:е рабочую поверхность наносят поглощающее покрытие в форме секторов с границей между секторами, выполненной в виде перекрестия. 11иоина полос перекрестия установлена в пределах размеров от одного до трех микроэлементов. В качестве тестоб ьекта выбирают микроэлемент, расположенный в u=--:òp;-. перекрест,.s;.

Пер. д н чалом измере- ий устанавл, вают на предметн» стол 1< ."икрскопа контрольную !КП, содержащую тестоб be KT, отыс ки в.-l0T TBcT обье кт цен|ре перекрестия, заме,".яют эталонные значения контролируемых параметров ввсдят их в память устройства, заменяют контрольную МКП ка .контролируемую и ведут контроль параметров, сравнивая их текущие значения с эталонными. 2 ил.

Способ реализуется изготавливанием контрольной микроканальной пластинь (МКП), содержащей тест-объект. и последующим использованием установки для автоматиза ц;и процесса измерения.

Для изготовления контрольной МКП, I содержащей тест-обьек-. ;а ее рабо— чую поверхность наносяi гоглощаюшее покрытие в форме секторов с границей между секторами, вь.полне -,ной B ви е перекрестия (ф г. 1), 1|ирина полос герекрытия устан",Bлена в пределах размеров оТ од:-ого л» TpB;i элеменi0B, 1605139 в качестве тест-объекта выбирают микроэлемент 1, расположенный в центре перекрестия. Для нанесения покрытия на рабочей поверхности контрольной

MKll укрепляют трафарет - две пересекающиеся под углом, близким или равным 90О, проволоки Р 0,03 мм, проводят напыление, например, углерода при остаточном давлении не выше

4 -10 ГПа, убирают трафарет, На поверхности МКП останутся две пересекающиеся полосы без покрытия.

С помощью микроскопа необходимо выбрать один канал, находящийся в центре перекрытия полос, и определить его контрольные параметры с учетом всех погрешностей. Нижний предел ширины полос, свободных от поглощающего покрытия, объясняется необходимостью иметь в центре перекрестия не менее одного полного контролируемого микроэлемента при случайном расположении теневого трафарета, если микроэлементом считать отдельную структурную единицу: либо канал (сердцевину), либо перемычку (оболочку), Верхний предел - не более двух полных микроэлементов, чтобы нахождение тест-объекта не вызывало затруднений (фиг. 1).

Установка для автоматизации процесса измерений (фиг. 2) содержит микроскоп 2, телевизионную камеру измеритель 4, видеоконтрольное уст35 ройство 5, пульт О управления, управляющее вычислительное 7 и цифропечатающее 8 устройства.

Перед началом измерений оператор устанавливает на предметный стол к микроскопа 2 контрольную MKIl содержащую тест-объект 1. По двум пересекающимся полосам, свободным от поглощающего покрытия, оператор находит его по видеоконтрольному устройству

5, измеряет с помощью измерителя 4 контролируемый параметр, вводит в память управляющего вычислительного устройства 7, документально фиксирует на цифр оп ечата ющем устрой ст ве 8

1 убирает контрольную МКП, устанавливает на предметный столик другую (текущую) МКП и производит контроль необходимого количества каналов (пе,:;-мычек) путем сравнения их параметров с параметром, находящимся в памяти установки (устройство 7). Уп.-, равляющее вычислительное устройство

7 будет давать величину отклонения от параметра тест-объекта.

Выполнение тест-объекта в виде эталонного микроэлемента, находящегося в центре контрастного перекрестия, позволяет применить автоматизированный способ контроля геометрических параметров путем сравнения с параметрами тест-объекта для микроэлементов волоконно-оптических изделий, что расширяет технологические возможности данного способа.

Формула изобретения

Способ контроля геометрических параметров элементов изделий с периодической структурой, заключающийся в сравнении измеряемого параметра с эталонным параметром тест-объекта, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей способа путем обеспечения возможности контроля микроэлементов волоконно-оптических изделий, на рабочую поверхность контрольного изделия наносят поглощающее покрытие в форме секторов с границей между секторами, выполненной в виде перекрестия с шириной полос в пределах размеров от одного до трех микроэлементов, и в качестве тест-объекта выбирают микроэлемент, расположенный в центре перекрестия, 1605 з3

Ч-Ь2. 1

Фиг. 2

Составитель С.Грачев

Техред Л.Олийнык Корректор А.Осауленко

Редактор Л.Гратилло

Заказ 3449 Тираж 488 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035р Москва, Ж-35 Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101