Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых сферических деталей
Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для высокоточного контроля формы выпуклых поверхностей оптических деталей, в частности для контроля формы сферических поверхностей линз и зеркал большого диаметра. Цель изобретения - расширение диапазона значений радиусов кривизны контролируемых поверхностей. Излучение, создаваемое источником 4, направляется коллиматором 5, светоделителем 6 и объективом 7 к компенсатору 1, выполненному в виде афокальной системы с совмещенными главными плоскостями. Компенсатор вносит в пучок сферическую аберрацию, величина которой определяется расстоянием между точкой F<SB POS="POST">1</SB> и компенсатором. Компенсатор устанавливается в положение, соответствующее компенсации аберраций линзовой системы 2. Это положение контролируется с помощью плоского зеркала 8 при выключении экрана 9 из хода лучей. После настройки интерферометра зеркало 8 перекрывают экраном 9, а деталь 13 устанавливают таким образом, чтобы центр C<SB POS="POST">к</SB> кривизны оказался совмещенным с центром C кривизны эталонной поверхности 12. При контроле детали с другим значением радиуса кривизны поворачивают линзовую систему 2 на 180° вокруг оси, перпендикулярной оси пучка. При этом эталонной поверхностью станет поверхность 14. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (si)s G 01 В 9/02
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
Г АЕй.". .Ч ПЫгйТ.Л T.;, ..%6ÍÀß
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4475693/24-28 (22) 22.04,88 (46) 30.11,90, Бюл. Nã 44 (71) МГТУ им. Н,Э.Баумана (72) Д.Т.Пуряев, Н,Л,Лазарева, В.А,Горшков и О.Н.Фомин (53) 531,715 (088.8) (56) Лазерная измерительная техника в машино- и приборостроении: Обзор М 1759.
М,: ЦН И И ТИ, 1978, с, 28 — 29. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ
ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ ВЫПУКЛЫХ
СФЕРИ lECKlRX ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для высокоточного контроля формы выпуклых поверхностей оптических деталей, в частности для контроля формы сферических поверхностей линз и зеркал большого диаметра.
Цель изобретения — расширение диапазона значений радиусов кривизны контролируемых поверхностей, Излучение, создаваемое l0 9 3 8
„„5U„„161 02d8 Al источником 4, направляется коллиматором
5, светоделителем 6 и обьективом 7 к компенсатору 1, выполненному в виде афокальной системы с совмещенными главными плоскостями, Компенсатор вносит в пучок сферическую аберрацию, величина которой оп ределя ется расстоя н ием между точкой
F и компенсатором. Компенсатор устанавливается в положение, соответствующее компенсации аберраций линзовой системы 2. Это положение контролируется с помощью плоского зеркала 8 при выключении экрана 9 из хода лучей. После настройки интерферометра зеркало 8 перекрывают экраном 9, а деталь
13 устанавливают таким образом, чтобы центр С, кривизны оказался совмещенным с центром С кривизны эталонной поверхности
12. При контроле детали с другим значением радиуса кривизны поворачивают линзовую систему 2 на 180 вокруг оси, перпендикулярной оси пучка. При этом эталонной поверхностью становится поверхность 14. 1 ил.
1610248
15
Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и предназначено для высокоточного контроля формы выпуклых поверхностей оптических деталей, в частности для контроля формы сферических поверхностей линз и зеркал большого диаметра.
Цель изобретения — расширение диапазона значений радиусов кривизны контролируемых поверхностей.
На чертеже представлена схема интерферометра.
Интерферометр содержит компенсатор
1, линзовую систему 2, основание 3, на котором размещены источник 4 монохроматического когерентного излучения, коллиматор 5, светоделитель 6, фокусирующий объектив 7, плоское зеркало 8, непрозрачный экран 9, регистратор 10 интферограмм, и шкалу 11, На чертеже приняты следующие обозначения: F — задний фокус объектива 7; С вЂ” центр кривизны эталонной поверхности 12; С, — центр кривизны контролируемой поверхности 13.
Стрелками показаны направления вращения линзовой системы и перемещения компенсатора и основания, Интерферометр работает следующим образом.
Монохроматическое когерентное излучение, создаваемое источником 4, направляется коллиматором 5, светоделителем 6 и фокусирующим объективом 7 к компенсатору 1. Задний фокус. F объектива 7 является вершиной гомоцентрического пучка лучей и одновременно изображением точки С, построенным линзовой системой 2 в обратном ходе лучей. Так как компенсатор 1 представляет собой афокальную систему с совмещенными главными плоскостями, то параксиальные лучи, вышедшие из точки
F и прошедшие через него, вновь фокусируются в этой же точке F .
Компенсатор не изменяет числовой апертуры пучка, проходящего через него, а только вносит сферическую аберрацию, величина которой зависит от расстояния между точкой
F и компенсатором, При перемещении компенсатора вдоль оси обесйечивается плавное йзменение величины вносимых им аберраций, которые в двух определенных позициях компенсатора равны по величине и обратны по знаку аберрациям линзовой системы, установленной в обе рабочие позиции. Линзовая система имеет две вогнутые эталонные поверхности 12 и 14, радиусы кривизны которых различны. Путем поворота линзовой системы в сторону контролируемой детали 13 обращают ту из эталонных поверхностей, радиус кривизны которой ближе по значению к радиусу кривизны контролируемой поверхности. В процессе работы интерферометра на эталонную и контролируемую поверхности должно обеспечиваться нормальное падение лучей, Афокальный компенсатор и линзовая система сообща преобразуют гомоцентрический пучок, выходящий из обьектива 7, в гомоцентрический пучок, вершина которого совмещена с точками С и Ск, где располагаются центры кривизны эталонной и контролируемой поверхностей 12 и 13 соответственно. Рабочая интерференционная картина образуется в результате взаимодействия волновых фронтов, отраженных от поверхностей 13 и 12, причем поверхность 12 выполняет функцию пробного стекла, установленного на расстоянии. В случае разворота линзовой системы на 180 функцию пробного стекла выполняет эталонная поверхность 14, После поворота линзовой системы необходимо установить основание 3 с расположенными на неM оптическими элементами так, чтобы точки F и С были оптически сопряжены, Кроме того, необходимо установить компенсатор в позицию, соответствующую компенсации аберраций линзовой системы, ориентированной определенным образом, например так, как показано на чертеже. Эту операцию выполняют путем перемещения основания 3 и компенсатора 1 вдоль оси линзовой системы 2, Критерием правильности установки служит настроечная интерференционная картина, которая образуется в результате взаимодействия волновых фронтов, отраженных от поверхности 12 линзовой системы и поверхности плоского зеркала 8 (экран 9 выключен из хода лучей, а контролируемая деталь 13 отсутствует). Порядок настройки следующий. Компенсатор 1 устанавливают относительно линзовой системы 2 приблизительно в номинальное положение, которое отмечено на шкале 11 механизма его перемещения. Затем перемещением основания 3 совмещают точку F с изображением центра С кривизны эталонной поверхности 12. B этом случае волновой фронт, прошедший через компенсатор и линзовую систему, отражается от поверхности 12 и, пройдя вновь линзовую систему, компенсатор и фокусирующий объектив, вступает во взаимодействие с плоским фронтом, отраженным от зеркала 8. Так как компенсатор установлен приблизительно, То фронт, взаимодействовавший с элементами 1, 2 и 7 системы, искажается недокомпенсированными аберрациями системы, состоящей из элементов 1 и 2. Настроечная интерференци16.1 0248
Составитель М. Минин
Техред М.Моргентал Корректор И. Эрдейи
Редактор А. Огар
Заказ 3727 Тираж 492 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 онная картина в этом случае имеет вид множества концентрических колец. Окончательную компенсацию аберраций выполняют путем продольного перемещения компенсатора 1 при наблюдении динамики изменения вида настроечной интерференционной картины. При идеальной компенсации аберраций интерференционная картина должна иметь вид бесконечно широкой полосы (ровное поле).
После выполнения настройки зеркало 8 перекрывают экраном 9, а деталь 13 устанавливают таким образом, чтобы центр Ск кривизны контролируемой поверхности оказался совмещенным с центром С кривизны эталонной поверхности 12, В этом случае интерференционная картина, возникшая при взаимодействии волновых фронтов, отраженных от поверхностей 13 и 12, несет информацию об ошибках поверхности 13.
Формула изобретения
Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых сферических деталей, содержащий осветитель, выполненный в виде источника когерентного излучения и коллиматора, светоделитель, обьектив, компенсатор, оптическую систему и регистра5 тор интерферограмм, оптически связанный с объективом через светоделитель, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью расширения диапазона значений радиусов кривизны контролируемых поверхностей, компенса10 тор выполнен в виде афокальной оптической системы с совмещенными главными плоскостями и установлен по ходу излучения после объектива с возможностью перемещения вдоль оптической оси, оптическая
15 система выполнена в виде системы линз, первая и последняя оптические поверхности которой выполнены эталонными и имеют различный радиус кривизны, и установлена по ходу излучения после ком20 пенсатора с возможностью ее поворота на угол 180 вокруг оси, перпендикулярной ее оптической оси и проходящей через центр тяжести.
