Высоковакуумная установка

 

Изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения - повышение надежности , упрощение конструкции и сокращение энергозатрат. Высоковакуумная установка содержит откачиваемую камеру 1, подключенные к ней форвакуумный 2 и высоковакуумный 3 насосы, высоковакуум/ ный затвор 4 с запорным органом 5 и приводом , размещенные между камерой 1 и высоковакуумным насосом 3. Причем привод затвора 4 выполнен в виде вакуумного цилиндра 6 с поршнем 7, соединенным с запорным органом 5 затвора 4 и разделяющим цилиндр 6 на две герметичные полости 8 и 9. Цилиндр 6 снабжен нормально открытыми клапанами 10 и 11, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с обьемом камеры 1, а полость 9 - с атмосферой, и нормально закрытыми клапанами 12 и 13, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с атмосферой, а полость 9 - с обьемом камеры 1. Использование изобретения исключает необходимость применения дополнительного оборудования для обеспечения привода запорного органа 4. 1 ил.

СО)ОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (st)s F 04 F 9/OR, 9/00

ГОСУДАPСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

СПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4455895/29 (22) 07.07.88 (46) 07.01,91. Бюл. ¹ 1 (72) Э.Г. Фахрутдинов, В.Г. Редкин, Л,А. Котов и P.P. Зиганшин (53) 621.527.8(088.8) (56) Вакуумная металлизационная установка. Проспект. — M.: ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, зак. №4398, изд. ¹ 6329. (54) ВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА (57) Изобретение относится к вакуумной технике. Цель изобретения — повышение надежности, упрощение конструкции и сокращение энергозатрат. Высоковакуумная установка содержит откачиваемую камеру

1, подключенные к ней форвакуумный 2 и высоковакуумный 3 насосы, высоковакуумl

„„5U „„16189G6 А1 ный затвор 4 с запорным органом 5 и приводом, размещенные между камерой 1 и высоковакуумным насосом 3. Причем привод затвора 4 выполнен в виде вакуумного цилиндра 6 с поршнем 7, соединенным с запорным органом 5 затвора 4 и разделяющим цилиндр 6 на две герметичные полости

8 и 9, Цилиндр 6 снабжен нормально открытыми клапанами 10 и 11, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с объемом камеры 1, а полость 9 — с атмосферой, и нормально закрытыми клапанами 12 и 13, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с атмосферой, а полость 9 — с обьемом камеры 1. Использование изобретения исключает необходимость применения дополнительного оборудования для обеспечения привода запорного органа 4. 1 ил.

1618906

Составитель Е. Забугин

Редактор Н. Лазаренко Техред M.Mîîãåíòàë Корректор С, Шевчук

Заказ 30 TM fj8>K Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Mocvaa, Ж 35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в высоковакуумных установках, оснащенных паромасляными вакуумными насосами, Цель изобретения — повышение надежности, упрощение конструкции и сокращение энергозатрат.

На чертеже схематично изображена высоковакуумная установка.

Высоковакуумная установка содержит откачиваемую камеру 1, подключенные к ней форвакуумный 2 и высоковакуумный 3 насосы, высоковакуумный затвор 4 с запорнь.м органом 5 и приводом, размещенные между камерой 1 и высоковакуумным насосом 3, причем привод затвора 4 выполнен в виде вакуумного цилиндра 6 с поршнем 7, соединенным с за рным органом 5 затвора 4 и разделяющим цилиндр 6 на две герметичные полости 8 и 9, а цилиндр 6 снабжен нормально открытьи1и клапанами 10 и 11, сообщающими полость 8 со стороны затвора

4 с объемом камеры 1, а вторую полость 9 — с атмосферой, и нормально закрытыми клапанами 12 и 13, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с атмосферой, а вторую полость 9 — с объемом камеры 1.

Установка содержит также клапаны 14 и 15, сообщающие форвакуумный насос 2 соответственно с камерой 1 и с выходом высоковакуумного насоса 3.

Установка работает следующим образом, Камера 1 предварительно откачивается форвакуумным насосом 2 при открытых клапанах 14, 10 и 11, закрытых клапанах 15, 12 и 13 и затворе 4 и подготовленном к работе высоковакуумном насосе 3, Затем клапаны .14, 10 и 11 последовательно закрываются, а клапаны 15, 12 и 13 открываются и дальнейшая откачка ведется последовательно высоковакуумным насосом .3 и форгакуумным насосом 2.

Полость 9 сообщается с полостью камеры 1, а полость 8 — с атмосферой. Поршень

7 и связанный с ним запорный орган 5 затвора 4 под разностью давлений в полостях

5 8 и 9 перемещаются, и открывается впускное отверстие насоса 2, При выданном отключении электроэнергии клапаны 12 и 13 открываются, а клапаны 10 и 11 открываются и под воздей10 ствием разности давлений в полостях 8 и

9 запорный орган 5 затвора 4 перемещается и закрывает впускное отверстие насоса

2, исключая тем самым выброс рабочей жидкости из высоковакуумного насоса 2 в каме15 ру1, Использование уже затраченной энергии, обусловленной технологическим процессом для создания вакуума в камере 1, исключает необходимость применения до20 полнительных единиц оборудования для обеспечения привода запорного органа 4.

Формула изобретения

Высоковакуумная установка, содержа25 щая откачиваемую камеру, подключенные к ней форвакуумный и высоковакуумный насосы, высоковакуумный затвор с запорным органом и приводом, размещенные между камерой и высоковакуумным насосом, о т30 л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения надежности установки, упрощения конструкции и сокращения энергозатрат, привод затвора выполнен в виде вакуумного цилиндра с поршнем, соединен35 ным с запорным органом и разделяющим цилиндр на две герметичные полости, а цилиндр снабжен нормально открытыми клапанами, сообщающими полость со стороны затвора с объемом камеры, а вторую по40 лость — с атмосферой, и нормально закрытыми клапанами, сообщающими полость со стороны затвора с атмосферой, а вторую полость — с объемом камеры.