Способ определения шероховатости поверхности изделия
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к бесконтактным оптическим методам измерения высоты шероховатости поверхности и может быть использовано во многих отраслях народного хозяйства, в частности в прецизионном приборостроении Цель изобретения - обеспечение возможности определения шероховатости изделий любой формы за счет создания неизменного расстояния от поверхности измеряемого участка изделия до плоскости наблюдения Изделие оставляют неподвижным и производят сканирование оптической разности хода во времени с помощью сканирующего микроскопа изменяющего вносимую оптическую разность хода между пучками на величину, равную или большую длине волны излучения замеряют изменение интенсивности единичной интерференционной полосы и по ее контрасту судят о шероховатости изделия 1 ил
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51)5 G 01 В 11/03
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4418851/28 (22) 03.05.88 (46) 07.01.91. Бюл. ¹ 1 (71) Камский политехнический институт (72) В.В.Сысоев (53) 531.7-1 5.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
¹ 1421996. кл. G 01 В 11/30, 31.03.88. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике, а именно к бесконтактным оптическим методам измерения высоты шероховатости поверхности, и может быть использовано во многих отраслях народноИзобретение относится к измерительной технике, а именно к бесконтактным оптическим методам измерения высоты шероховатости поверхности, и может быть использовано во многих отраслях народного хозяйства, в частности в прецизионном приборостроении.
Цель изобретения — обеспечение возможности определения шероховатости изделий любой формы за счет создания неизменного расстояния от поверхности измеряемого участка изделия до плоскости наблюдения.
На чертеже изображена принципиальная схема устройства. реализующего способ определения шероховатости поверхности изделия, Устройство содержит лазер 1, сканирующий интерферометр 2. пьезоэлемент 3, блок 4 управления пьезоэлементом 3, лин.. Ы 1619023 А1
ro хозяйства, в частности в прецизионном приборостроении. Цель изобретения— обеспечение возможности определения шероховатости изделий любой формы за счет создания неизменного расстояния от поверхности измеряемого участка изделия до плоскости наблюдения. Изделие оставляют неподвижным и производят сканирование оптической разности хода во времени с помощью сканирующего микроскопа, изменяющего вносимую оптическую разность хода между пучками на величину, равную или большую длине волны излучения, замеряют изменение интенсивности единичной интерференционной полосы и по ее контрасту судят о шероховатости изделия. 1 ил. зу 5, узел 6 наблюдения, пространственный фильтр 7 и фотоприемник 8, Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.
Луч лазера 1 направляют в сканирующий интерферометр 2, который разделяет
его на две части и вносит между ними оптическую разность хода. Вышедшее иэ сканирующего интерферометра 2 излучение фокусируют на поверхности изделия 9 под углом а, В плоскости узла 6 наблюдения, перпендикулярной лучу, отраженному от исследуемой поверхности, наблюдают дифракционную картину, промодулированную интерференционными полосами. С помощью пространственного фильтра 7 выделяют на дифракционной картине в диффузной области единичную полосу, световой поток в которой измеряют с помощью фотоприемника 8, Изменяют с помощью сканирующего интерферометра 2 вносимую
1619023 (макс !мин (lмакс + мин ) где!макс и!м — сигналы с фотоприемника.
По контрасту единичной полосы судят о шероховатости изделия 9, Формула изобретения
Способ определения шероховатости поверхности изделия, заключающийся в там, что направляют пучок когерентного излучения на исследуемую поверхность, делят его на два пучка, создают между ними оптическую разность хода, фокусируют оба пучка на поверхность исследуемого объекта, Составитель Л. Лобзова
Техред M,Ìîðãåíòàë Корректор Н. Король
Редактор Н, Бобкова
Заказ Зб Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 оптическую разность хода и измеряют сиг-. нал с фотоприемника 8, находят контраст единичной полосы по формуле наблюдают в плоскости, перпендикулярной отраженному от исследуемой поверхности пучку, интерференционные полосы, выделяют с помощью пространственного фильтра
5 единичную интерференционную полосу, производят сканирование разности хода, фиксируют изменение интенсивности единичной полосы и по ее контрасту определяют шероховатость поверхности изделия, 10 отличающийся тем,что,сцелью обеспечения возможности определения шероховатости изделий любой формы за счет создания неизменного расстояния от поверхности измеряемого участка изделия
15 до плоскости наблюдения, оставляют изделие неподвижным, а сканирование разности хода производят во времени на величину, равную или большую длине волны излучения.
