Устройство для контактирования интегральных схем в растровом электронном микроскопе

 

Изобретение относится к устройствам для исследования макроструктуры и топографии твердых тел и может применяться в микроэлектронике для контроля и диагностики многослойных печатных плат, СБИС, в физике твердого тела, металлургии, геологии . Цель изобретения - повышение надежности контактирования путем упрощения привода макроперемещений блока зондов. Устройство для контроля контактирования интегральных схем содержит столик 1, зондодержатель 2 с иглами 3, электромагнит 4, толкатель 5, центральное подвижное кольцо 6,биморфное пьезокерамическое кольцо 7,являющееся составной частью поджимающего узла 8, в состав которого входят блот и пружина. Устройство может работать при отключении напряжения, питающего биморфное пьезоэлектрическое кольцо. 1 з п ф-лы, 3 ил. fe

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

IsI>s Н 05 К 1/11

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

HI VIIKMT СССР г,е3 7

". " (I

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4499977/21 (22) 27.10.88 (46) 07,02.91. Бюл. ¹ 5 (71) Сумское производственное объединение "Электрон" (72) А.и. Феклистов, С.М. Баскенов. А.И. Никифоров, И,В. Пухкало и Ю,В. Шестаков (53) 62.396.049 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 718953, кл. Н 05 К 1/11, 1978.

Авторское свидетельство СССР № 1262749, кл. Н 05 К 1/11, 1984. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ В РАСТРО80М ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ (57) Изобретение относится к устройствам для исследования макроструктуры и топо„„. Ж„„1626467 А1 графии твердых тел и может применяться в микроэлектронике для контроля и диагностики многослойных печатных плат, СБИС, в физике твердого тела, металлургии, геологии. Цель изобретения — повышение надежности контактирования путем упрощения привода макроперемещений блока зондов.

Устройство для контроля контактирования интегральных схем содержит столик 1, зондодержатель 2 с иглами 3, электромагнит 4, толкатель 5, центральное подвижное кольцо

6, биморфное пьезокерамическое кольцо

7, являющееся составной частью поджимающего узла 8, в состав которого входят блат и пружина. Устройство может работать при отключении напряжения, питающего биморфное пьезоэлектрическое кольцо. 1 з.п.ф-лы, 3 ил.

1626467

Изобретение относится к устройствам для исследования микроструктуры и топографии твердых тел и может применяться в микроэлектронике для контроля и диагностики многослойных печатных плат, СБИС, материаловедения, физике твердого тела, металлургии, геологии.

Цель изобретения — повышение надежности контактирования путем упрощения привода макроперемещений блока зондов.

На фиг.1 представлено устройство, вид спереди; на фиг.2 — то же, вид сверху; на фиг.3 — соединение между зондодержателем и блоком зондов.

Устройство для контактирования интегральных схем содержит столик 1 и зондодержатель 2 с иглами 3. Зондодержатель 2 связан с электромагнитом 4 посредством толкателя 5 и имеет центральное подвижное кольцо б. Между зондодержателем 2 и блоком зондов б установлено биморфное пьезокерамическое кольцо 7, являющееся составной частью поджимающего узла 8. В состав узла 8 входит также болт 9 и пружина 10.

Устройство работает следующим образом.

Исследуемая интегральная схема помещается на столик 1, размещенный в вакуумном объеме. Включается электронный луч, и с помощью электромагнита 4 опускается эондодержатель 2 до максимального сближения (но не контакта) игл с интегральной схемой. На пьезокерамические биморфные кольца 7 подаются электрические импульсы, что приводит к выгибанию их центров и, соответственно, перемещению блока эондов б до контакта игл 3 с исследуемой интегральной схемой. При снятии напряжения с биморфных колец иглы 3 выводятся иэ контакта и после горизонтального пере5 мещения столика под электронный луч подставляется новый участок микросхемы, и исследования продолжаются, Применение устройства позволяет упростить конструкцию пьеэоподъеника и

10 процесс управления им, а также легко увязать работу пьеэоподъемника с микропроцессорами и ЭВМ. Важным преимуществом устройства является воэможность его работы при отключенном напряжении, питаю15 щем биморфное пьезокерамические кольца.

Формула изобретения

1. Устройство для контактирования интегральных схем в растровом электронном микроскопе, содержащее размещенные в

20 вакуумном объеме столик, зондодержатель с блоком зондов, образующих контактное поле, установленный с возможностью перемещения по направлению нормали к столику, и узел поджатия с пьеэокерамическими

25 элементами, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности контактирования путем упрощения привода макроперемещения и блока зондов, пьезокерамические элементы узла поджатия вы30 полнены из биморфной пьезокерамики.

2. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что пьеэокерамические элементы выполнены в форме шайб и прижаты к зондодержателю головками болтов, закреплен35 ных в блоке зондов и подпружиненных пружинами сжатия относительно эондодержателя.

1626467

Составитель Н.Шмелев

Техред М.Моргентал Корректор А.Долинич

Редактор М.Лазоренко

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 290 Тираж 494 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.. 4/5