Групповое контактирующее устройство

 

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в устройствах и автоматах зондового контроля полупроводниковых структур на пластине. Цель изобретения - повышение надежности контроля при переменной температуре. Перед уставовкой на зондовом кольце на специальном приспособлении корректируют начальную точку отсчета рабочего усилия контактирования на каждом контактирующем узле. Далее контактирующие узлы устанавливают на зондовом коль це и поочередно с помощью манипулятора 14 выставляют по координатам X, Y и по координате 7. с помощью винта 6 . каждого контактирующего узла 2. Зондовое кольцо 1 с выставленными контактирующими узлалл 2 устанавливают на устройстве или автомате зондового контроля полупроводниковых структур на пластине, при этом осуществляют электрическую связь каждого контактирующего узла 2 через коммутирующее кольцо с измерителем. 1 ил. а & (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (51) 5

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4396807/21 (22) 24.03.88 (46) 28;02.91. Бюл. Р S (72) Л.А.Хорошевский и В.В.Логинов (53) 62.396.049(088.8) (56) .Патент СИА 1 - 4001685, кл. 324-158Р, 1977 °

Авторское свидетельство СССР

Р 699684, кл. G 01 R 1/06, 1977. (54) ГРУППОВОЕ КОНТАКТИРУИЦЕЕ УСТРОЙ. СТВО (57) Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в устройствах и автоматах зондового контроля полупроводниковых структур на пластине. Цель изобретенияповышение надежности контроля при переменной температуре. Перед установ„„SU, 1631761 А 1

2 кой на зондовом кольце на специальном приспособлении корректируют начальную точку отсчета рабочего усилия контактирования на каждом контакти-, рующем узле. Далее контактирующие узлы устанавливают на зондовом кольце и поочередно с помощью манипулятора 14 выставляют по координатам Х, Y и по координате l. с помощью винта 6 ка»дого контактирующего узла 2. Зондовое кольцо 1 с выставленными контактирующими узламн ? устанавливают на устройстве или автомате зондового контроля полупроводниковых структур на пластине, при этом осуществляют электрическую связь каядого контактирующего узла 2 через коммутирующее кольцо с измерителем. 1 ил.

1631761

Устройство работает следующим об- разом.

Перед установкой на зондовом кольце на. специальном .приспособлениИ корректируют начальную точку отсчета рабочего усилия контактирования на каждом KQHTRKTHOM узле. Далее контактирующие узлы устанавливают йа зондовом кольце и поочередно с помощью манипулятора 14 выставляют

55

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в устройствах и автоматах зондового кОнтр Оля и Ол ð Овод ни кОВ ых структур на пластине.

Цель изобретения — повышение надежности контроля при переменной температуре

На чертеже показано групповое кон- 10 тактирующее устройство.

Устройство содержит зондовое.кольцо 1 с установленными на нем контактирующими узлами 2, каждыи из которых содержит корпус 3; кронштейн 4, соединенный с корпусом 3 пружинной двухпараллелограммной подвеской 5 и винтом 6 с дифференциальной резьбой, позволяющим регулировать по высоте (по Z) положение кронштейна 4 и кон- 20 ца зонда 7 зондодержателя 8 без изменения координат зонда по Х,У. В кронштейне 4 также на двухпараллелограммной пружинной подвеске 5 подвешен зондодержатель 8. Винт 9 позволяет 25 до выставления контактирующего узла 2 по Х, Y, Z на зондовом кольце 1 откорректировать начальнуюточку отсчета рабочего усилия контактирования.

В корпусе 3 размещен.посточный магнит 10, с помощью которого осуществляется прихват контактирующего узла 2 к зондовому-кольцу 1. Монтажный провод 11, оканчивающийся штырем 12, оеуцествляет электрическую связь зонда 7 с гнездом на коммутирующем кольце 13. Манипулятор 14, устанавливаемый на зондовом кольце 1, выполнен съемным с возможностью перестановки его к каждому контактирующему узлу 40 при необходимости перемещения его.

При этом механическая связь манипулятора 14 с контактирующим узлом 2 осуществляется при помощи штыря 15 манипулятора. 45 по координатам Х, У и по координате 7. с помощью винта 6 каждого контактирующего узла 2.

Зондовое кольцо 1 с выставленными контактируюцими узлами 2 устанавливают на устройстве или автомате зондо-. вого контроля полупроводниковых структур на пластине, при этом осуществляют электрическую связь каждого контактирующего узла 2 через коммутирующее кольцо с измерителем.

С целью уменьшения температурных смещений зоны контактирования и сохранения неизменной характеристики рабочего усилия контактирования основные детали узла контактирования выполнены из следующих сплавов: корпус 3, кронштейн 4 — сплав 32 НЩ, пружина параллелограммной подвески 5 сплав 42НХТИ, детали зондодержателя— ситалл Со-115М.

Формула изобретения

1. Групповое контактирующее устройство, содержащее зондовое кольцо с установленными на нем контактируюцнми узлами, каждый из которых содержит корпус и зондодержатель, и манипуляторами для перемещения контактирующих узлов, о т л и ч а ю ц е е с я тем, что, с целью повышенйя надежности контроля при переменной температуре путем снижения и стабилизации переходного сопротивления и уменьшения температурных смещений зоны контактирования, в каждый контактирующий узел дополнительно введены два двойных пружинных параллелограмма и кронштейн,. причем зондодержатель через первый двойной пружинный параллелограмм под-, вешен к кронштейну, а кронштейн подвешен на втором двойном пружинном параллелограмме к корпусу.

2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что корпус каждого контактирующего узла закреплен на зондовом кольце, например, посредством магнита, а манипулятор для перемещения контактирующего узла выполнен съемным.

3. Устройство по и. 1, о т л ич а ю ц е е с я тем, что корпус сое- динен с кронштейном диАференциальной. винтовой передачей.