Зондовое контактное устройство

 

Изобретение относится к радиотехнике. Цель - улучшение согласования и снижение погрешности измерений контролируемых параметров при расширении номенклатуры контролируемых изделий. Для ее достижения в зондовом контактном устройстве игла выполнена в виде трехступенчатого валика. Длина средней ступени равна Я /4, где Я- длина волны. Размер зубца вилки в плоскости , перпендикулярной оси центрального проводника в направлении, перпендикулярном плоскости зубцов вилки, не менее удвоенного расстояния между зубцами. Замыкание зубцов вилки дополнительной перемычкой и введение второго отрезка коаксиального кабеля с центральным проводником , выполненным в виде упругой иглы, аналогичной описанной, позволяет производить передачу СВЧ-сигнала без существенных искажений. 2 з.п. ф-лы, 4 ил. Ј

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (! I) (sI)s Н 01 1. 21/66, Н 05 К 1/18

ГОСУДАРСТВЕI+IblИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4349551/21 (22) 21.11.87 (46) 07.02.91. Бюл. N. 5 (72) В.Т. Суходольский, В,Р, Добровинский и П А. Филь (53) 62.396.049(088.8) (56) Чернушенко А.М. и др. Измерение параметров электронных приборов дециметрового и сантиметрового диапазонов волн.

M. Радио и связь, 1986, с. 304.

Авторское свидетельство СС С P

N. 930435, кл. Н 01 1 21/66, 1982. (54) ЗОНДОВОЕ КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО (57) Изобретение относится к радиотехнике, Цель — улучшение согласования и снижение погрешности измерений контролируемых параметров при расширении номенклатуры

Изобретение относится к радиотехнике, а точнее к технике измерений параметров

СВЧ двухполюстников и четырехполюсников, и может быть использовано в установках для измерения коэффициента передачи и коэффициента шума бескорпусных диодов, транзисторов и интегральных микросхем, Цель изобретения — улучшение согласования, снижение погрешности измерений при расширении номенклатуры контролируемых иэделий.

На фиг. 1 представлено зондовое контактное устройство, предназначенное для измерения параметров двухполюсников. общий вид; на фиг. 2 — устройство для измерения параметров четырехполюсников, общий вид; на фиг, 3 и 4 — устройство для измерения параметров четырехполюсников контролируемых изделий. Для ее достижения в зондовом контактном устройстве игла выполнена в виде трехступенчатого валика.

Длина средней ступени равна А /4, где Л— длина волны. Размер зубца вилки в плоскости, перпендикулярной оси центрального проводника в направлении, перпендикулярном плоскости зубцов вилки, не менее удвоенного расстояния между зубцами.

Замыкание зубцов вилки дополнительной перемычкой и введение второго отрезка коаксиального кабеля с центральным проводником, выполненным в виде упругой иглы, аналогичной описанной, позволяет производить передачу СВЧ-сигнала без существенных искажений, 2 з.п. ф-лы, 4 ил, с контролируемым изделием (полевой СВЧтранзистор), Зондовое КУ содержит отрезок коаксиальной линии 1, отрезок коаксиального кабеля, центральный проводник 2 которого выполнен в виде упругой иглы и представляет собой трехступенчатый валик, причем длина средней ступени 3 равна А /4, внешний проводник в виде вилки, В устройстве для измерения параметров четырехполюсников (фиг. 2) зубцы вилки

4 удлинены и замкнуты дополнительной перемычкой 6, в которую вмонтирован второй отрезок коаксиального кабеля 3, выполненный в форме упругой иглы, (фиг, 1). Второй отрезок коаксиального кабеля (фиг. 2) размещен с возможностью контактирования с контролируемым изделием, а для контактирования с остальными полюсами четырех1626265 полюсника введены два контактных штыря 5.

Контролируемое изделие (фиг, 3)- полевой транзистор с барьером Шоттки 7 — является типичным четырехполюсным прибором.

Устройство работает следующим образом, Входной сигнал поступает на отрезок коаксиального кабеля, который благодаря описанному выполнению внутреннего и внешнего проводника, обеспечивает согласованную подачу сигнала на объект измерения (ОИ), После преобразования в ОИ сигнал согласованно снимается на симметричный и «дe ë . ньi« указанному отрезок коаксиального кабеля и в дальнейшем посредством рег:лярной линии подаегся для регистрации и обработки на индикаторный прибор.

Конфигурация центрального проводника обеспечивает согласование входа и выхода с ON с регулярной линией за счет трансформирующих свойств иглы, связанных со ступенчатым изменением диаметра.

Участок центрального проводника от плоскости контактирования с ОИ до первой ступеньки центрального проводника имеет индуктивный характер и обеспечивает компенсацию емкостной составляющей входного сопротивления ОИ, а дальнейшая трансформация активной составляющей осуществляется за счет выполнения отрезка центральнл и проводника в виде валика с измененным диаметром. При неизменном расстоянии между зубцами вилки изменение диаметра внутреннего проводника выполняет роль трансформатора сопротивлений, пр«чем условием того. что он имеет активный характер на частоте измерения является то, что длина этого участка выбирается равной Л /4. Кроме того, упругость иглы обеспечивает надежный контакт и одновременно воэможность нераэрушающего контроля параметров ОИ, По существу это означает, что согласующий элемент (игла) максимально приближен к ОИ и уровень кажущихся потерь существенно снижается, вследствие этого достигается почти полное согласование и необходимо только тонкое согласование внешними согласующими трансформаторами. Благодаря этому уменьшается количество подстроечных операций, что приводит к стабильности результатов измерений.

Кроме того, размеры вилки в плоскости, перпендикулярной оси центрального проводника в направлении, перпендикулярном плоскости зубцов вилки. в целях обеспече5

55 ния достаточной экранировки иглы сделаны больше двух расстояний между зубцами, изза чего возрастает повторяемость измерений, так как контактный узел представляет собой плоскокруглую трехпроводную линию (ГОСТ 18238-72), которая исключает случайную ошибку измерения при асимметричном подключении ОИ, появляющуюся вследствие различного прогиба контактной иглы центрального проводника, что приводит к снижению погрешности измерений и уменьшению потерь.

Замыкание зубцов вилки дополнительной перемычкой и введение второго отрезка коаксиального кабеля с центральным проводником, выполненным в виде упругой иглы, которая аналогична описанной (трехступенчатый валик), с воэможностью контактирования с контролируемым изделием, позволяет производить передачу

СВЧ-сигнала без существенных искажений, что снижает систематическчю погрешность измерений, приводя к еще большему снижению величины собственных потерь, а также расширяет номенклатуру контролируемых изделий на четырехполюсники (транзисторы и интегральные микросхемы). Кроме того, с помощью предлагаемого устройства можно производить измерения в коротковолновой части сантиметрового и в КВЧ-диапазонах.

Формула изобретения

1. Зондовое контактное устройство, содержащее отрезок коаксиального кабеля, центральный проводник которого выполнен в виде упругой иглы, а внешний — в виде двузубой вилки, между зубцами которой расположена игла, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения согласования и снижения погрешности измерений контролируемых параметров при расширении номенклатуры контролируемых изделий, игла выполнена в виде трехступенчатого валика, причем длина средней ступени равна

А /4, гдето — длина волны.

2. Устройство по и. 1, отл ича ю щеес я тем, что размер зубца вилки в плоскости, перпендикулярной оси центрального проводника в направлении, перпендикулярном плоскости зубцов вилки, не меньше удвоенного расстояния между зубцами.

3. Устройстзо по и. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что зубцы вилки замкнуты дополнительной перемычкой, в которой размещен второй отрезок коаксиального кабеля с центральным проводником, выполненным в форме упругой иглы с воэможностью контактирования с контролируемым иэделием.

1626265

1626265 истаю

Эаадор

Фиг, 4

Составитель Н.Шмелев

Редактор С.Патрушева Техред М.Моргентал Корректор Т Палий

Заказ 279 Тираж 367 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-иэда1ельский комбинат "Патент", г, Ужгород. ул.Гагарина, 101

Зондовое контактное устройство Зондовое контактное устройство Зондовое контактное устройство Зондовое контактное устройство 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в качестве электрического соединителя для тканых устройств коммутации

Изобретение относится к оптоэлектронике и может быть использовано для подключения и измерения параметров корпусных и бескорпусных фотоприемников с планарными выводами

Изобретение относится к радиоэлектронной технике и предназначено для подключения печатных плат к измерительному комплексу при их контроле в процессе производства

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано для контактного контроля печатных плат в процессе их изготовления

Изобретение относится к области радиотехники и радиоэлектроники

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в устройствах контроля печатных плат (ПП) с металлизированными отверстиями, в том числе многослойных печатных плат, изготовленных методом металлизации сквозных отверстий

Изобретение относится к контрольно -измерительной технике и может быть использовано для контроля печатных гшат (Ш1) с металлизированными от верстиями

Изобретение относится к технике контроля печатных плат

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано для подключения интегральных схем в корпуса типа DIP, имеющих ступенчатую форму вывода
Изобретение относится к электронной технике и может быт использовано для отбраковки потенциально ненадежных полупроводниковых структур на различных стадиях изготовления полупроводниковых приборов на основе МДП-структур

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых прноорэв н используется для ионной имплянтацни

Изобретение относится к контрольно-сортировочной технике в электронной промышленности и позволяет расширить технологические возможности за счет обеспечения контроля радиодеталей чечевичной формы с изменением положения их в пространстве при транспортировании

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для неразрушаюпего контроля состояния поверхности образцов, а именно для определения дозы имплантированных ионов на поверхности полупроводника

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)
Наверх