Способ диагностики криовакуумных устройств

 

Изобретение позволяет повысить надежность диагностики криовакуумных устр-в путем повышения точности определения времени прекращения их рабоюспособности. В процессе работы производят измерение расхода хладагента, проходящего через устр-во. Затем по стабилизации расхода во времени судят об утрате сорбционной способности устр-ва и отключают его. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИГАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4692615/29 (22) 17.05.89 (46) 30.04.91. Бюл. hk 16 (72) Н.С.Романец и В.В.Серебряков (53) 621.82(088.8) (56) Вакуумная техника. Справочник, М.: Машиностроение, 1985,с.287-311, (54) СПОСОБ ДИАГНОСТИКИ КРИОВАКУУМНЫХ УСТРОЙСТВ

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в авиационной, химической и других областях промышленности, преимущественно в автоматизированных системах вакуумирования.

Цель изобретения — повышение надежности диагностики криовакуумных устройств путем повышения точности определения времени прекращения их работоспособности.

На фиг,1 показано устройство для реализации способа диагностики; на фиг.2— узел (на фиг,1; на фиг.3 — график расхода хладагента.

Устройство для реализации способа содержит корпус 1 ловушки, охлаждаемую колбу 2, датчик 3 уровня, датчик 4 расхода (типа ТДР) и намороженный слой 5.

Способ осуществляют следующим образом.

Вакуумируют систему насосами форвакуумной откачки до давления, например, 1

Па. Перекрывает форвакуумную откачку, криоловушки или криосорбционный насос заполняют хладагентом. Происходит эахолаживание системы. Дальнейшая откачка осуществляется крионасосами.

На фиг.3 показано: 1 — расход хладагента при эахолаживании устройств: 2 — расход Ж 1645675 А1 (si)s F 15 В 19/00, F 04 В 51/00 (57) Изобретение позволяет повысить надеЖность диагностики криовакуумных устр-в путем повышения точности определения времени прекращения их работоспособности. В процессе работы производят измерение расхода хладагента, проходящего через устр-во. Затем по стабилизации расхода во времени судят об утрате сорбционной способности устр-ва и отключают его, 3 ил. хладагента при эффективной работе устройств; 3 — расход хладагента при потере сорбционных свойств устройств.

При процессе захолаживания расход о хладагента наибольший Хладагент обменивается теплом с материалом конструкции и интенсивно испаряется. После захолаживания начинается процесс выпадания ве\ ществ на с;енки ловушки или сорбент насоса.

Хладагент расходуется на снижение температуры веществ вакуумной системы и . перевод их в твердый осадок. Так как слой осажденных веществ на стенках или сорбентах постепенно увеличивается. то также (Л постепенно ухудшаются условия теплооб- 0 мена между хладагентом и разреженным газом вакуумной системы. Ql

Таким образом. для производительной работы криосорбционного насоса любой конструкции или любой криоловушки необходимым, неизбежным условием является снижение расхода хладагента. Расход хладагента фиксируется, например, турбинным датчиком расхода ТДР 1 — 3-3. Поскольку для любой реальной конструкции характерны потери. то при утрате сорбционной способности, когда отвод тепла от газа недостаточен для его осаждения, расход

1645675 фиг. / хладагента стабилизируется hpH расходе азота 4 г/с (накальный расход состаааяет 10 г I с).

При стабилизированном расходе хладагента устройство работает вхолостую, т.е. пропускает газ без очистки. Необходимы его отключение от вакуумной системы и регенерация.

Формула изобретения

Способ диагностики криовакуумных устройств путем оценки их сорбционной емкости, отличающийся тем. что, с целью повышения надежности диагностики путем повышения точности определения времени прекращения работоспособности устройст5 ва, в процессе работы устройства производят измерение расхода хладагента, проходящего через него, а затем по стабилизации расхода во времени судят об утрате сорбционной способности устройства и от10 ключают его.

1645675

И/0)й7жибания

Редактор И.Касарда

Заказ 1339 Тираж 397 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открмтиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 о д вчя юю прои пеланп? ра оты нача рееенерации

Фиа д

Составитель С.Анисимов

Техред М.Уоргентал Корректор В. Гирняк