Тензометрический датчик давления

Авторы патента:

Изобретение относится к мембранным датчикам давления с тензометрическим преобразователем к позволяет повысить чувствительность датчика, Тензометрическнй преобразователь 3 выполнен в виде диска с жестким буртом по периферии и имеет в центре крестообразную прорезь, образующую упругие консоли, соединенные соответственно гибкими балками 6 с центром мембраны и гибкими балками 8 с корпусом датчика, что позволяет получить деформации разного знака тензорезисторов 5, сформированных на этих консолях. 2 ил.

СООЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

I ®S С 011 9/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ н а втаесномм саидатиъствм

ГОСУДФРС ГВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОИЧГГЕНИЯМ И ОТН1 ЫТИЯИ

ПРИ ГКНТ СССР (21 ) 4667638/10 (22) 05. 01 . 89 (46) 07.05.91. Бюл. У 17 (71) Ульяновский научно-производственный комплекс "Центр применения микроэлектроники и автоматизации в машиностроении" (72) В.А.Тихоненков и А,Д.Клопов (53) 63,!.787(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 106163, кл. С 0l L 9/04, 1951. (54 ) ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к мембран,.SU„„16 7304 А 1

2 ным датчикам давления с тензометрическим преобразователем и позволяет повысить чувствительность датчика, Тензометрический преобразователь 3 выполнен в виде диска с жестким буртом по периферии и имеет в центре крестообразную прорезь, образующую упругие консоли, соединенные соответственно гибкими балками 6 с центром мембраны и гибкими балками 8 с корпусом датчика, что позволяет получить деформации разного знака тензорезисторов 5, сформированных на этих консолях. 2 ип.

1647304

Изобретение относится к измеритель» ной технике и предназначено для использования в датчиках малых давлений жидкости и газообразных сред.

Целью изобретения является повып1ение чувствительности датчика давле ния, На фиг..3 изображены схема датчика и сечение тенэометрического преобра )g зователя; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.

Датчик имеет корпус 1 с воспринимающей давление мембраной 2 и тензометрический преобразователь 3, выпал- 35 ненный в виде диска с жесткю буртом по периферии. Диск имеет крестообразную прорезь в центре, которая образу-, ет четыре упругие консоли 4 с тензорезисторами 5. Свободные концы упру- 2{) гих консолей снабжены гибкими балками, выполненными за одно целое с ниии, прн этом одна пара упругих балок

6, расположенных относительно центра диска одна против другой, соединена 25 со штоком 7 в центре мембраны, а дру- . гая пара через такие же гибкие балки 3 соединена с корпусом 3 датчика.

Пад действием давления мембрана

2 прогибается и передает усилие на .: 3О тензометрнческий преобразователь, при этом тензорезисторы, сформированные на упругих консолях, соединенных гибкими балками 8 с корпусом 1 датчика, работают на растяжение, а тензо» резисторы, сформированные на упругих консолях, соединеннык гибкими балками 6 с центром мембраны, работают на сжатие, что позволяет повы-. сить чувствительность тензопреобразователя по сравнению с жестко saкрепленной .упругой консолью.

Такое выполнение датчика позволяет формировать тензореэисторы яа поверхности диска теизометрического преобразователя методом плаяарной технологии, которая также снижает погрешность измерения и повышает чувствительность датчика.

Формула изобретения

Тензометрический датчик давления, содержащий корпус с мембраной и гиб» кие балки, соединенные соответственно с одной стороны с центром мембраны и корпусом и с другой стороны с тенэометрическим преобразователем, отличающийся тем, что, с целью повьппеняя чувствительности, в нем тензометрический преобразователь выполнен в виде диска с жестким буртом и крестообразной прорезью в центре, образующей упругие консоли с тензореэисторами, причем гибкие балки, соединенные с центром мембраны н корпусом, присоединены соответственно к консолям, расположенным одна против другой, 1 64 7304

Составитель И.Невский

Техред C.Nêãóíîâà Корректор Н.Ревская

Редактор Л.Гратклло

Заказ l39l Тираж 363 Подписное

BHHHIIH Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Похожие патенты:

Датчик давления // 1642284

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления

Способ изготовления полупроводниковых преобразователей давления // 1638577

Изобретение относится к изготовлению полупроводниковых преобразователей и может быть применено в технологии микроэлектроники с целью повышения точности измерения давления

Датчик давления // 1629762

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных сред, в условиях сильного теплового воздействия, например в топливно-энергетических системах двигателей внутреннего сгорания

Устройство для измерения давления // 1627871

Датчик давления // 1627870

Тензорезисторный датчик давления и способ его настройки // 1624288

Датчик давления кристаллообразующих сред // 1620864

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, в частности к датчикам давления, возникающего при фазовых превращениях с выделением твердых новообразований, например при росте кристаллов льда

Датчик давления // 1619079

Изобретение относится к измерительной технике, в частности для измерения давления в условиях нестационарной температуры измеряемой среды (термоудара ), и позволяет повысить точность измерения путем выравнивания распределения температуры и уменьшения длительности неустановившегося теплового процесса

Датчик давления // 1615579

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления, применяемым для измерения давления агрессивных жидкостей и газов, и позволяет повысить надежность и ресурс работы датчика

Датчик давления // 1615578

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления

Полупроводниковый преобразователь гидростатического давления для коррозионно-активных жидких сред // 2100789

Двухмембранный тензопреобразователь давления // 2101688

Чувствительный элемент // 2106610

Изобретение относится к конструированию и технологии производства чувствительных элементов для датчиков давления, расходомеров и акселореметров

Микроэлектронный датчик перепада давления егиазаряна мдпд-е и способ его изготовления // 2107272

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микроэлектронным измерительным преобразователям перепада давлений, и может быть использовано для измерения перепада давлений жидких и газообразных сред, например в расходомерах перепада давлений в качестве дифференциального монометра

Датчик давления // 2115101

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к тензометрическим датчикам давления

Интегральный преобразователь деформации и температуры // 2115897

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке малогабаритных полупроводниковых высокочувствительных преобразователей деформации и температур

Тензометрический преобразователь давления // 2120116

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для регистрации давления различных сред

Тензорезисторный дифференциальный преобразователь давления // 2127875

Изобретение относится к области измерительной техники и автоматики и может быть использовано в малогабаритных полупроводниковых электромеханических преобразователях разностного давления газообразных или жидких веществ в электрический сигнал

Преобразователь давления // 2134408

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления агрессивных жидких и газообразных сред

Полупроводниковый датчик давления // 2134869

Изобретение относится к преобразователям давления в дискретный электрический сигнал и может быть использовано автоматизированных системах управления