Способ определения скорости газовыделения материалов в высоком вакууме и устройство для его осуществления

 

Изобретение относится к физике и технике высокого вакуума, а именно к способам и устройствам определения скорости газовыделения материалов в высоком вакууме. Целью изобретения является повышения точности. Камеры 1 и 2 через диафрагмы 3 и 4 и регулирующий вентиль 5 откачивают с помощью насоса 6. По достижении рабочего вакуума открывают затвор 8, после чего давление в камерах выравнивается. Затем при дальнейшей откачке производят выравнивание чувствнтельностей вакуумметров 9 и 10, для чего изменяют скорость откачкв вентилем 5 и добиваются одинакового сигнала с вакуумметров 9 и 10. Потом перекрывают затвор 8, полностью отрывают вентиль 5 и балансируют дифференциальный усилитель 11 по индикатору 12 на нулевой уровень разностного сигнала. Затем помещают в одну из камер исследуемый материал и в процессе вакуумирования обеих камер получают разностный сигнал с усилителя 11, по которому и судят о скорости газовыделения материала0 2 с„п. ф-лы, I ил. а 9

СОКИ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК 53)5 С 01 L 21 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н IL STOPQNOMV C BV

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОЖРЬ1ТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4694876/10 (22) 25.05.89 (46) 07.05.91. Swz. 9 17 (72) Д.В.Василевский, JI.Í.Ëèííèê, Р.А.Мипованова и В.А.иатохин (53) 531 .787(088.8), (56) R.J. Elsey. Outgassing of

vacuum materials, 11.- Vacuum, 1975, v.25ý К 8в р 349 350 ° (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ rAЗОВЫДЕЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВИСОКОМ

ВАКУУМЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУШЕСТВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к физике и технике высокого вакуума, а именно к способам н устройствам определения скорости газовыделения материалов в высоком вакууме. Целью изобретения является повышения точности. Камеры

1 н 2 через диафрагмы 3 и 4 и регулиSU i а 9 1 рующнй вентиль 5 откачивают с помощью насоса 6. По достижении рабочего вакуума открывают затвор 8, после чего давление в камерах выравнивается.

Затем при дальнейшей откачке производят выравнивание чувствительностей вакуумметров 9 и 10, для чего изменяют скорость откачки вентилем 5 н добиваются одинакового сигнала с вакуумметров 9 и 10 ° Потом перекрывают затвор 8, полностью отрывают вентиль

5 и балансируют дифференциальный усилитель 11 по индикатору 1 2 на нулевой уровень разностного сигнала.

Затем помещают в одну из камер исследуемый материал и в процессе вакуумировання обеих камер получают разностный сигнал с усилителя 11, по которому и судят о скорости газовыделения материала. 2 с.п. ф-лы, 1 ип.

)647309

Формула

Изобретение относится к области физики и техники высокого вакуума, в частности к способам и устройствам для определения десорбционных характеристик конструкционных материалов, и может быть использовано при создании злектровакуумного оборудования.

Целью изобретения является повьппение точности,при вакуумировании ка- 10 мер.

На чертеже приведена схема устройства,. реализующего предложеннЫй спо-.: соб определения скорости газовыделе- . ния материалов в высоком вакууме.

Устройство содержит две идентичных вакуумных камеры 1 и 2, соединенных через одинаковые диафрагмы 3 и 4, регулирующий клапан 5 с высоковакууиным насосом 6. Камеры 1 и 2 сое- 20 динены межцу собой трубопроводом 7, перекрываемым высоковакуумным затвором В, и сообщены с ионизационнымн

-вакуумметрическими датчиками 9 и

10 подключенными к входам дифферен циального усилителя 11 с индикатором

12 вьходного разностного сигнала.

Затвор 8 имеет проводимость V а диафрагмы 3 и 4 - проводимость Vg которые находятся в соотношении 30

ii0 V /V 230 а регулирующий вентиль Б имеет проводимость Ч, выбираемую из соотношения Ч /V» 110.

Определение величины скорости га- 35 I зовыделения материалов в высоком вакууме производят следующим образом.

Пустые камеры 1 и 2 через диафраг-. мы 3 и 4, полностью открытый регули- 40 рующий вентиль 5 откачивагот с помощью высоковакуумного насоса 6. При достижении рабочего вакуума включают вакуумметры 2, датчики 9 и 1О и открывают затвор 8. Вследствие того, 4 что прогодимость затвора 8 многократ» но превышает проводимость диафрагмы

3 и 4, давления Р<., Р в камерах и 2 выравнивают согласно соотношению О, 98 < Р, /Р < < 1,02. Затем в процессе дальнейшего вакуумирования пустых камер производят выравнивание чувствительностей ионизационных датчи" ков 9 и 10, для чего изменяют эффективную скорость откачки насоса 6 регулировкой пропускной способности регулирующего вентиля 5 и производят подстройку тока эмиссии одного из датчиков 9 или 19 до достижения соот ношения вычитаемых токов I<, ? поступающих с датчиков в пределах

0,99 Х„! I с 3,04.

Затем пе ре крыв ают затвором

8 сообщение измерительных камер полностью открывают регулирующий вентиль 5 в системе откачки камер и по индикатору 3 2 балансируют дифференциальный усилитель на нулевой уро» вень разностного сигнала.

Далее помещают в одну из камер исследуемый материал и в процессе вакуумирования измеряют разностный токовый сигнал с вакуумметрических датчиков 9 и 40. Скорость газовыделения исследуемого материала определяют по формуле () = C-V«$3 где С - постоянная вакуумметрического датчика„

V — проводимость диафрагмы. из обре тения

l.Cï0ñîá определения скорости газовыделения материалов в высоком вакууме, при котором одновременно вакуумнруют путем откачки две идентичных камеры, снабжеиные вакууммет- . рами, помещают в одну из камер исследуемый материал, а о скорости газовыделения судят по разности давлений в камерах при вакуумирова« нни, отличающийся тем, что, с целью повьппения точности IIpH вакуумировании камер, нх дополнительно сообщают друг с другом до установления отношения давлений в камерах в пределах 0,98-2,92 изменяют первоначальную скорость откачки В до значения S< в пределах 1 10 (З /Я Ь 31 при этом регулируют отношение выход ных сигналов вакуумметров в пределах

0,99-3,01, затем разобщают камеры, опять устанавливают первоначальную скорость откачки Я и определяют на1 ч аль ный разностный сигнал вакуумметров, с помощью которого корректируют . разность давлений в камерах, 2.Устройство для опредаления скорости газовыделения материалов в высоком вакууме, содержащее две идеитич. иые камеры, входы которых снабжены диафрагмами с одинаковой проводимостью V, систему откачки и подключенные к камерам вакуумметры, о т, л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности, оно снабже5 1 647309 но трубопроводом с затвором, проводимость Ч которого выбрана из соотношения

»О а Ч, /Ч 210, и регулирующим вентилем с максимальной проводимостью Ч,, выбранной нз соотношения

V /Ч 110, и дифференциальным усилителем, причем трубопровод с затвором своими птнцамн подключен к камерам, которые через .,регулирующий вентиль подключены к системе откачки, а дифференциальный усилитель соединен с вакуумметром.

Составитель А,Соколовский

Техред С.Мигунова Корректор А,Обручар

Редактор Л.Гратилло

Заказ 1391 Тиран 355 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский, комбинат. "Патент", r.укгород, ул. Гагарина,101