Диффузионный насос

 

Изобретение позволяет уменьшить энергозатраты и увеличить пропускную способность насоса. В корпусе 1 с выпускным патрубком 4 в нижней части и впускным патрубком 5 в верхней части расположена жидкостная ванна 3. Устройство для подачи выполнено в виде источника 6 высокого давления , связанного трубопроводом 7 с ванной 3 и по меньшей мере одного ряда механических распылителей, установленных в стенке корпуса 1 на уровне патрубка 5 и сообщенных с источником 6. Распылитель выполнен в виде цилиндрического стакана 8 с тангенциальным подводящим каналом 9. Стакан 8 открыт со стороны рабочей камеры 2. Использования распылителя и в качестве рабочей среды жидкости позволяет отказаться от системы нагрева и охлаждения Установка стакана 8 в стенке устраняет сопротивление откачиваемому потоку. 1 з.п.ф-лы 1 ил

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5И5 F 04 F 9/00

ГОСУДАРСТВЕ ННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4497359/29 (22) 25.10.88 (46) 30.05,91. Бюл. М 20 (75) С.Г. Аппель (53) 621.527.8(088.8) (56) Королев Б.И. и др. Основы вакуумной техники, М.: Энергия, 1975.с, 134, рис, 7 — 29, (54) ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС (57) Изобретение позволяет уменьшить энергоэатраты и увеличить пропускную способность насоса. В корпусе 1 с выпускным патрубком 4 в нижней части и впускным патрубком 5 в верхней части расположена жидкостная ванна 3. Устройство для подачи

„„. Ж„„1652675 А1 выполнено в виде источника 6 высокого давления, связанного трубопроводом 7 с ванной 3 и по меньшей мере одного ряда механических распылителей, установленных в стенке корпуса 1 на уровне патрубка

5 и сообщенных с источником 6. Распылитель выполнен в виде цилиндрического стакана 8 с тангенциальным подводящим каналом 9. Стакан 8 открыт со стороны рабочей камеры 2. Использования распылителя и в качестве рабочей среды жидкости позволяет отказаться от системы нагрева и охлаждения. Установка стакана 8 в стенке устраняет сопротивление откачиваемому потоку. 1 э,п.ф-лы. 1 ил, 1652675 приятного соударения с тяжелыми каплями рабочей жидкости входят более глубоко в эти капли и увлекаются к внутренним стенкам корпуса и вниз в направлении откачки.

Использование механического распылителя и в качестве рабочей среды жидкость позволят отказаться от системы нагрева и охлаждения, кроме того, установка распылителя в стенке устраняет сопротивление откачиваемому потоку.

Составитель 3.Пимахова

Редактор Т.Парфенова Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор М,Пожо

Заказ 1760 Тираж 362 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к диффузионным насосам.

Цель изобретения — уменьшение энергозатрат и увеличение пропускной способ- 5 ности насоса, На чертеже представлен предлагаемый насос, продольный разрез.

Насос содержит корпус 1 с рабочей камерой 2, жидкостной ванной 3 и выпускным 10 патрубком 4 в его нижней части, впускной патрубок,5 в верхней части корпуса 1. Устройство для подачи выполнено в виде источника 6 высокого давления, связанного трубопроводом 7 с ванной 3, механического 15 распылителя, выполненного в виде цилиндрического стакана 8 с тангенциальным каналом 9, связанным с выходом источника 6.

Насос работает следующим образом.

После предварительной откачки насоса 20 форвакуумным насосом включают источник

6 высокого давления, который прокачивает жидкость из ванны 3 в механический распы литель. Поступая в стакан 8 по каналу 9, жидкость закручивается, преобретая высо- 25 кую скорость и низкое давление. Вылетая из стакана 8, жидкость разбивается на мелкие капли, образуя факел, ударяется о противоположную распылителю стенку и стекает в ванну, обеспечивая тем самым непрерыв- 30 ную циркуляцию жидкости. Молекулы газа в системе над насосом в результате благоФормула изобретения

1. Диффузион н ы и насос, содержащий вертикальный корпус с рабочей камерой, жидкостной ванной и выпускным патрубком в его нижней части и впускным — в верхней. и устройство для подачи, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью уменьшения энергозатрат и увеличения пропускной способности, устройство для подачи выполнено в виде источника высокого давления, связанного трубопроводом и жидкостной ванной, и по меньшей мере одного ряда механических распылителей, установленных в стенке корпуса на уровне впускного патрубка и сообщенного с выходом источника высокого давления.

2. Насос по и, 1, отличающийся тем, что механический распылитель выполнен в виде цилиндрического стакана с тангенциальным подводящим каналом и открытого со стороны рабочей камеры,