Затвор для емкостей с жидкими средами

 

Изобретение относится к химии, в частности к устройствам для хранения и транспортировки жидких химических сред применяемых в технологических процессах микроэлектроники Цель изобретения - обеспечение безопасности работы с агрессивными средами Корпус затвора имеет боковую резьбовую поверхность 20 и днище, содержащее три диска 2, 3, 1, установленные один под другим В промежуточном диске 3 смонтированы обратный клапан 4 для выдачи жидкости и обратный клапан 5 для заправки жидкости В корпусе установлен воздушный фильтр 12, а под обратным клапаном 4 для выдачи жидкости смонтирована трубка 13 для перемещения по ней жидкости 2 ил

СОЮЗ СОВЕ ТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5I)s В 65 0 47/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕ!

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Воздух Аеод (21) 4450714/13 (22) 28.06.88 (46) 07.06;91, Бюл; N. 21 (72) А,С.Брайнес, В.Ф.Заболотное, В.В.Калачев, В.П,Михайлов и Н.Д.Пешиков (53) 621.798(088.8) (56) Патент Великобритании N. 2106877. кл. В 65 О 47/06, опублик. 1983. (54) ЗАТВОР ДЛЯ ЕМКОСТЕЙ С ЖИДКИМИ

СРЕДАМИ (57) Изобретение относится к химии, в частности к устройствам для хранения и транспортировки жидких химических сред, „„ЯЦÄÄ 1654142 А1 применяемых в технологических процессах микроэлектроники. Цель изобретения— обеспечение безопасности работы с агрес- сивными средами. Корпус затвора имеет боковую резьбовую поверхность 20 и днище, содержащее три диска 2, 3, 1, установленные один под другим. В промежуточном диске 3 смонтированы обратный клапан 4 для выдачи жидкости и обратный клапан 5 для заправки жидкости. В корпусе установлен воздушный фильтр 12, а под обратным кла-. . паном 4 для выдачи жидкости смонтирована трубка 13 для перемещения по ней жидкости. 2 ил.

1654142

Изобретение относится к химии, в частности к устройствам для хранения и транспортировки жидких химических сред, применяемых в технологических процессах микроэлектроники, что обуславливает весь- 5 ма жесткие требования к чистоте этих сред, Целью изобретения является обеспечеwe безопасности работы с агрессивными средами.

На фиг.1 изображен затвор, общий вид; 10 на фиг,2 -разрез А-А на фиг.1.

Затвор содержит корпус, имеющий днище, содержащее три диска 1-3, установленные один под другим, В промежуточном диске 3 смонтированы обратный клапан 4 15 для выдачи жидкости и обратный клапан 5 для заправки жидкости, для чего в диске 3 выполнены ступенчатые отверстия 6 и 7, а также отверстия 8 — 11.

В корпусе смонтирован воздушный 20 фильтр 12.

Под обратным клапаном 4 установлена трубка 13 для перемещения по ней жидкости из емкости 14. В диске 4 выполнены отверстия 15 и 16, соосные с отверстиями 8 25 и 9, а в промежуточном диске — паз 17, соединенный с отверстием 11. Затвор имеет штуцера 18 и 19, а корпус затвора имеет боковую резьбовую поверхность 20.

Затвор работает следующим образом. 30

При заполнении емкости 14 через шту, цер 19, подключенный к нагнетательному трубопроводу, поступает жидкая среда, которая движется по пазу 17 и, обтекая обратный клапан 5, далее движется через 35 отверстия 10, 9 и 16 в полость емкости. При заполнении емкости 14 воздух выходит наружу.через отверстия 15 и 8, и воздушный фильтр 12. При опорожнении емкости под, воздействием разрежения, создаваемого 40 насосом, обратный клапан 4 поднимается и пропускает жидкость, поступающую к нему по трубке 13, к штуцеру 18. При этом воздух снаружи поступает в емкость через воздушный фильтр 12, компенсируя образующееся снижение давления. Жидкая химическая среда может храниться и транспортироваться после расстыковки с соединительными трубопроводами, вместо которых при длительном хранении могут быть установлены заглушки, Благодаря наличию воздушного фильтра и обратных клапанов химическая среда надежно защищена от загрязнения инородными включениями, вносимыми воздушным потоком, что особенно важно для предварительно очищенных сред, применяемых в технологических процессах микроэлектроники, Затвор обеспечивает безопасность при работе с агрессивными средами, поскольку емкости наполняются и опорожняются без контакта человека с этими средами, с одновременным сохранением чистоты этих сред.

Формула изобретения

Затвор для емкостей с жидкими средами, содержащий корпус, имеющий днище и боковую резьбовую поверхность, смонтированные в нем обратный клапан для выдачи жидкости и воздушный фильтр, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью обеспечения безопасности работы с агрессивными средами, он снабжен размещенным в корпусе обратным клапаном для заправки жидкости и трубкой для перемещения жидкости, смонтированной под обратным клапаном выдачи жидкости, при этом днище корпуса содержит три установленных один под другим диска. а оба клапана смонтированы в промежуточном диске, 1654142

A-4

Составитель Е,Бокова

Техред M.Ыоргентал

Редактор С,Пекарь

Корректор Э.Лончакова

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина. 101

Заказ 1923 Тираж 388 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5