Устройство для нанесения порошковых полимерных покрытий на плоские изделия

 

Изобретение относится к области нанесения порошковых полимерных покрытий на поверхности изделий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов. Цель изобретения - повышение качества селективного покрытия и расширение технологических возможностей устройства. Для этого негативные объемные маски выполнены в виде трафарета с окнами и набора заглушек. Нагреватель установлен под ситом с возможностью перемещения. Стенки окон и заглушки выполнены из материала с низкой адгезией к расплавленному полимеру. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5Пз В 05 С 19/00

ГОСУДАРСТ8ЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTKPblTNPM

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТI:. HÈÐ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4692343/05 (22) 05.04,89 (46) 30.07.91, Бюл, М. 28 (7?) Е,М,Федоров, И.Б.Бабов, В.Е.Баранов и А.В. Маслен ников (53) 678.056 (088,8) (56) А тарское свидетельство СССР

М 85,.384, кл. В 05 С 19/00, 1979.

Авторское свидетельство СССР

N 1112629, кл. В 05 С 19/00, 1982. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОPOLUK0BblX ПОЛИМЕРНЫХ ПОКРЫТИЙ

НА ПЛОСКИЕ ИЗДЕЛИЯ

Изобретение относится к оборудованию для нанесения порошковых полимерных покрытий на поверхности изделий и может быть использовано для получения покрытий заданной конфигурации с высокой точностью при изготовлении полупроводниковых приборов.

Цель изобретения — повышение качества селективного покрытия и расширение технологических возможностей устройства, На фиг.1 показана принципиальная схема устройства; на фиг.2 — принцип действия устройства при формировании полимерных покрытий, Устройство для нанесения порошковых полимерных покрытий содержит питатель 1 порошка, виброраспылитель 2 в виде сита, вибратор 3, подставку 4 для удержания изделий и перемещения их вверх и вниз, нагреватель 5, механизмы загрузки изделий 6 и выгрузки 7. механизм 8 перемещения. 5 (!!. 1зоор тение стносится i оолв т!1 нанесения порошковых полимерных покрытий нв поверхности изделий и может гь ть использозано при изготовлении полупроводниксвых приборов. Цель изобретения повыше;-,ие качества селективного покрытия и расширение технолог .",ческих возможностей устройства. Для этого негативные обьемные маски выполнены в виде трафарета с окнами и набора заглушек. Нагреватель установле:— : под ситом с возможность о перемещения. Стенки окон и заглушки выполнены: з материала с низкой адгезией к расглавленному полимеру. 1 э.п. ф-лы, 2 ил.

Подставка и нагреватель могут независимо друг от друга перемещаться вверх и вниз. Расстояние от покрываемой поверхности изделия до сита регулируется винтом

9. Нагреватель 5 устанавливается вплотную к изделиям, расположенным под ситом, для обес:",ечения теплового контакта и имеет возможность перемещаться из =Tofo положения. Сито содержит лату,—:ную сетку 10, на нижней стороне которой закреплен трафарет 11 с окнами, в каждой из которых раэмещ="= а заглушка 12. закрывающая участок поверхности изделия 13, не подлежащей покрытию.

Устройство работает следующим образом, Порошкообразный эпоксидный компаунд загружается в питатель 1. Из чего порошок поступает на виброраспылитель 2, на нижней стороне которого устаноьлен трафарет 11 с окнами и набором заглушек 12.

Иэ механизма 6 загрузки на механизм 8 перемещения поступают изделия 13, кото16б62! 4 рые п(зи помощи механизма перемещения попадают под сито на соответствующие подставки (1. Подставки с изделиями приподнимаются до нужного зазора ме:кду покрываемыми поверхностями издели и нижней ПОВерхностью сита Виброрас(зылителя. Beëè÷èíà зазора Определяегся; олщиной трафарета, к которому и;делия г(одво дятсЯ Вп{лотнунз. Толщина тпафарета Равна

Ф

0,5-3,0 мм, Вибратор 3 Воздействует на сито так, что оНО вибрирует с частото{й 5 Гц и амплитудой 0,1-0,22 в плоск{з:ти, параллель ((ой покрываемой поверхности изделий.

Порошкообразный компаунд В тзчение ереме((и Вибрации (15-20 {:} запс{лняет рбъем, ограниченный повеохностью изделий, ситом, стенками окон трафарета и за-.лу лек. При отключении вибоатсра порош(: не

«1рось(Г(ается через ситО ВиброраспылителЯ.

Нагреватель, касаясь издели.ь ;,ïëeB. ÿeT

{ лай порошка 14, сформирова ;:ный ьа них, ) течение 5-20 с. Температура нагревателя

ItlllpI4 атом составляет 200-25Г)ОС, После аг{{ авления на реватель опускается и от Водит< я в сторону, а готовые изделия переносятся

4 механизму выгрузки, Трафарет и заглушки выполнены из ма (,,ериала(с низкои адг83и8и к ()а«сг(лавГ(енному полимеру, чтобы искл(очить его залипание к ним при оплавлении, Усадка слоя порошка при оплавлении исключает его залипание к латунной сетке, 5

Формула изобретения

1.Устройство для нанесения порошковых полимерных покрытий на плоские изде10 лия, содержащее виброраспылитель в виде сита с закрепленными на его нижней стороне негативными объемными масками, питатель порошка, механизм перемещения изделий, нагреватель для оплавления по15 рошка, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с цель(о повышения качества селективного ((Окрь(тия и расширения технОлогических

Возможностей устройства, негат iBHь,е объемные маски выполнены в Виде трафа20 рета с окнами и набора заглушек, причем в каждом окне расположена по меньшей мере одна заглушка, а нагреватель ус гановлен под ситом с возможностью перемещения, 25 2,Устройство I;o п.1, о т л и ч а ю щ е еС Я ТВМ, ЧТО СТЕНКИ ОКОН И ЗВГЛУШКИ ВЫПОЛнены из материала с низкой адгезией к расплавленному полимеру.

i 666214

1Z 1g

C °

6.,Гд,, д Э

Составитель M. Богатырева

Техред М.Моргентал Корректор С, Шевкун

Редактор И, Касярда йроизводс гвенно-издательский комбинат "Патент", r. ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 2482 Тираж 395 Подписное

BHNNOM Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5