Способ препарирования образцов

 

Изобретение относится к области научно-исследовательской деятельности и может быть использовано при приготовлении образцов для просвечивающей электронной микроскопии их утонением посредством струйной электролитической или химической полировки. Целью изобретения является повышение качества образца. Способ препарирования образцов включает утонение образцов путем электролитической или химической полировки их поверхности ламинарной струей травящего раствора. Новым в предлагаемом способе является то, что полировку производят пульсирующей ламинарной струей. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (sl)5 G 01 N 1/28

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

{21) 4732513/26 (22) 25.08.89 (46) 30.07.91. Бюл. N. 28 (71) Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им.

А.Н.Севченко (72) В.С.Тишков и С.Ю.Ширяев (53) 553.053 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N. 763763, кл. G 01 N 1/28, 1980.

Авторское свидетельство СССР

hk 953493, кл, G 01 М 1/28, 1982.

Авторское råèäåòåëüñòâî СССР

М 754249, кл. 6 0; N 1/28, 1980.

Хирш П., Хови А., Николсон P., Пэшли

Д., Уэлан M. Электронная микроскопия тонких кристаллов, М.: Мир, 1968, с, 574.

Изобретение относится к научно-исследовательской деятельности и может быть использовано при приготовлении образцов для просвечивающей электронной микроскопии путем их утонения посредством струйной электролитической или химической полировки.

Целью изобретения является повышение качества образца, На фиг. 1 изображено устройство струйного травления, схема: на фиг. 2 — схема устройства струйного химического травления стационарной ламинарной струей.

Устройство, реализующее предлагаемый способ препаривания образцов. содержит оптическую систему контроля толщины образца, состоящую из источника света 1, иллюминаторов 2 и фотодатчика

3, ванну 4, содержащую объектодержатель с образцом 5 и сопло 6. емкость для травяще,, ЯЯ,, 1666941 А1 (54) СПОСОБ ПРЕПАРИРОВАНИЯ ОБРАЗЦОВ (57) Изобретение относится к научно-исследовательской деятельности и может быть использовано при приготовлении образцов для просвечивающей электронной микроскопии их утонением посредством струйной электролитической или химической полировки. Целью изобретения является повышение качества образца Способ препарирования образцов включает утонение образцов путем электролитической или химической полировки их поверхности ламинарной струей травящего раствора. Новым в предлагаемом способе является то, что полировку производят пульсирующей ламинарной струей. 2 ил. го раствора 7 и магистраль 8 для его подачи к образцу, перегородку с отверстием в центре 9 и магнитный активатор 10.

Иллюминаторы 2 выполнены соосно с соплом 6, источником света 1 и фотодатчиком 3, причем сопло расположено на стенке ванны напротив образца и соединено с емкостью для травящего раствора через отверстие 11 в ее боковой стенке посредством магистрали 8, а активатор расположен на дне емкости для травящего раствора.

Устройство функционирует следующим образом.

Емкость 7 заполняют травящим раствором и посредством магнитной мешалки 12 приводят во вращение активатор 10, который, в свою очередь. вовлекает во вращение часть травящего раствора, находящегося под перегородкой 9, который под действием центробежной силы и волн от активатора

1666941

Составитель Л.Горянкова

Редактор К.Крупкина Техред М.Моргентал Корректор И .Муска

Заказ 2518 Тираж 391 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 выбрасывается через отверстие 11 в магистраль 8 и через сопло 6 поступает к образцу в виде пульсирующей (с частотой вращения активатора) ламинарной струи. При электролитической полировке на образец при этом подают положительный относительно сопла потенциал. Контроль за толщиной образца осуществляют по нарастанию светового потока от источника света 1 на фотодатчик 3 по мере утонения образца и появления на нем просвечивающих участков и сквозных отверстий.

Пример. Качество поверхности образцов, полученных утонением пластин кремния марки КЭФ-2.0 толщиной 400 мкм путем химической полировки пульсирующей ламинарной струей химического травителя, представляющего собой смесь плавиковой и азотной кислот в соотношении 1:3, оценивали визуально по электронным микрофотографиям в сравнении с микрофотографиями аналогичных образцов, препарированных по прототипу на устройстве, изображенном на фиг, 2. Из микрофотографий видно, что образцы, пре5 парированные по предлагаемому способу имеют более гладкую поверхность, чем образцы, препарированные по прототипу.

Использование предлагаемого способа препарирования образцов повышает досто10 верность электронно-микроскопических исследований за счет уменьшения количества артефактов, вызываемых препарированием.

Формула изобретения

15 Способ препарирования образцов, включающий утонения образцов путем электролитической или химической полировки их поверхности ламинарной струей травящего раствора. о т л v. ч а ю шийся

20 тем, что, с целью повышения качества образца, используют пульсирующую струю.