Способ определения величины негерметичности изделия

 

Изобретение относится к контролю герметичности масс-спектрометрическим методом и позволяет повысить точность контроля путем исключения измерения объемов изделий и камер накопления. Изделие помещают в камеру. Подают в изделие пробный газ. Накапливают утечку от негерметичности изделия в камере в течение заданного времени. Сравнивают утечку с калиброванным потоком индикаторного газа, подаваемым в ту же камеру, и определяют величину негерметичности изделия с учетом соотношения чувствительностей газоанализатора по пробному и индикаторному газам. 1 ил.

союз советских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 G 01 М 3/02

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (: Ь V

С)

О, (21) 4718956/28 (22) 14.07.89 (46) 15. 08. 91. Бюл. 3Ф30 (71) Научно-производственное объединение им.С.А.Лавочкина (72) А.М.Калачев и А.Г.Сергеев (53) 620.165.29 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР (Ф 1206638, кл. G 01 М 3/02, 1986. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ

НЕГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕЛИЯ (57) Изобретение относится к контролю герметичности масс-спектрометрическим меИзобретение относится к контролю герметичности масс-спектрометрическим методом.

Цель изобретения — повышение точности контроля путем исключения измерения объемов изделий и камер накопления.

На чертеже приведена схема устройства для осуществления способа.

Устройство содержит соединенную с контрольной течью 1 камеру 2 с размещенным в ней испытуемым иэделием 3, которое с помощью трубопровода с вентилем 4 соединено с баллоном 5 пробного газа, отличного от индикаторного газа контрольной течи 1, масс-спектрометрический гаэоаналиэатор 6 со щупом 7 и две контрольные течи 8 и 9.

Способ определения величины негерметичности изделия осуществляют следующим образом.

Испытуемое изделие 3 помещают в камеру 2, в изделие 3 через вентили 4 из баллона 5 подают пробный гаэ, в качестве которого используется двукратно ионизиро,,5U 167048О А1 тодом и позволяет повысить точность контроля путем исключения измерения объемов изделий и камер накопления. Изделие помещают в камеру. Подают в изделие пробный газ, Накапливают утечку от негерметичности изделия в камере в течение заданного времени, Сравнивают утечку с калиброванным потоком индикаторного газа, подаваемым в ту же камеру, и определяют величину негерметичности иэделия с учетом соотношения чувствительностей газоанализатора по пробному и индикаторному газам, 1 ил. ванный гелий (изотоп гелия He3). Одновременно в камеру 2 подают калиброванный поток индикаторного газа от контрольной течи 1. В качестве индикаторного газа используется гелий Не4. В течение времени выдержки, определяемого из технических требований к иэделию, производят в камере

2 накопление утечки пробного газа от негерметичности изделия 3 и одновременно накопление индикаторного газа от контрольной течи 1. Для проведения замеров сначала настраивают гаэоаналиэатор 6 типа течеискателя ПТИ-10 на п и к гел ия Н е4.

С помощью щупа 7 определяют показания гаэранализатора 6 по фону гелия Не4 в помещении аф по калиброванному потоку гелия Не4 от контрольной течи 8а > и по фону

1 гелия Не4 в камере 2 от калиброванного потока контрольной течи 8. Затем перенастраивают гаэоанализатор 6 на пик изотопа гелия Не3 с помощью щупа 7 определяют показания газоанализатора 6 по фону изотопа гелия Не3 в помещении аф,по калиброванному потоку изотопа гелия Не3 от

1670480 контрольной течи 9 а« и по фону изотопа гелия НеЗ в камере 2 от негерметичности изделия а„,д.

Далее определяется соотношение N чувствительностей газоаналиэатора б по пробному и индикаторному газам вне камеры 2:

< Sa О., (ак1- g

М Окт (г кт щ) где Sa — чувствительность гаэоанализатора

6 по изотопу гелия НеЗ вне камеры 2;

Я вЂ” чувствительность гаэоанализатора б по гелию Не4 вне камеры 2;

Q« — величина калиброванного потока гелия НеЗ от контрольной течи 9; . Q„, — величина калиброванного потока гелия Не4 от контрольной течи 8, В общем случае величина негерметичности изделия определяется по формуле

Q S4 %43д Щ) A (2) тн где Sa — чувствительность газоанализатора

6 по изотопу гелия НеЗ для камеры 2;

VH — величина объема камеры 2;

tH — время накопления утечки.

Одновременно в камере 2 накапливается индикаторный гаэ от контрольной течи 1.

Калиброванный поток этого. газа выражается формулой а., = з (4) " (з) тн

1 в где Q„- величина калиброванного потока гелия Не4 от контрольной течи 1;

S4 — чувствительность газоанализатора

6 по гелию Не4 для камеры 2;

VH — величина объема камеры 2; тн — время накопления.

Из формул (2), (3) получаем выражение

Q = Q1* д гМ (4)

S (кт crà )

Исходя из постоянства соотношения чувствительностей по пробному и индикаторному газам для данной настройки газоанализатора 6, т.е. исходя из выражения

„„Sa Sa ! ф (5) .а а

Из формул (1), (4) получаем окончательную формулу для определения величины негерметичности иэделия:

Q 1 хт Я(т 1 изд Д (6) изд — кт

Формула изобретения

Способ определения величины негерметичности изделия, заключающийся в том, что помещают испытуемое изделие в камеру, заполняют его пробным газом, измеряют газоанализатором в камере концентрацию пробного газа, вытекающего из изделия, подают в камеру калиброванный поток газа, измеряют концентрацию газа в камере и определяют негерметичность изделия путем сравнения измеренных концентраций, отличающийся тем,что, с целью повышения точности, для подачи калиброванного потока используют индикаторный газ, отличный от пробного, подачу его осуществляют одновременно с подачей в иэделие пробного газа. определяют соотношение чувствительностей газоанализатора по пробному и индикаторному газам и

40 учитывают его при определении негерметичнрсти, 1670480

Составитель В. Черноусов

Техред М,Моргентал Корректор В. Гирняк

Редактор Т. Клюкина

Заказ 2742 Тираж 342 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101