Лазерная двухкоординатная измерительная система для измерения линейных перемещений
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений в машинои станкостроении, а также в других областях промышленности Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых перемещений за счет увеличения отношения сигнал/шум . Луч лазера 1 делится светоделителем 2 в соотношении 1:2 по мощности. Один пучок падает на первый уголковый отражатель 3 и формирует первый измерительный канал для измерения перемещения объекта вдоль координаты X. Второй пучок падает на второй уголковый отражатель 4 и направляется зеркалом 5 и оптическим блоком из зеркал 6, 7 во второй измерительный канал на третий уголковый отражатель 8 для измерения перемещений объекта вдоль координаты У Фотоприемники 10, 11 регистрируют интенсивность пучков в соответствующих измерительных каналах, связанную с оптической длиной каждого канала. Блок обработки информации обрабатывает сигналы с фотоприемников и выдает информацию о перемещении объекта по двум координатам X и У 1 ил
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)5 G 01 В 9/02
ГОСУДАРСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
1 о
Ql (Я
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4701312/28 (22) 06.04.89 (46) 07.09,91, бюл. N 33 (72) А.А,Смирнов и Л,А.Карпова (53) 531.715.1 (088.8) (56) Отчет.по НИР. Разработка методов и средств метрологического обеспечения информационно-измерительных систем центра диагностики технологических модулей
ГПС N 86-20. М.: Московский станкоинструментальный институт, НИЧ, 1987, гос. регистр. N 01.86. 0018516. (54) ЛАЗЕРНАЯ ДВУХКООРДИНАТНАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений в машино- и станкостроении, а также в других о6ластях промышленности, Цель изобретения — расширение диапазона измеряемых пере„„. Ж„„1675659 А1 мещений за счет увеличения отношения сигнал/шум. Луч лазера 1 делится светоделителем 2 в соотношении 1:2 по мощности. Один пучок падает на первый уголковый отражатель 3 и формирует первый измерительный канал для измерения перемещения обьекта вдоль координаты Х. Второй пучок падает на второй уголковый отражатель 4 и направляется зеркалом 5 и оптическим блоком из зеркал 6. 7 во второй измерительный канал на третий уголковый отражатель 8 для измерения перемещений объекта вдоль координаты У, Фотоприемники 10, 11 регистрируют интенсивность пучков в соответствующих измерительных каналах, связанную с оптической длиной каждого канала. блок обработки информации обрабатывает сигналы с фотоприемников и выдает информацию о перемещении объекта по двум координатам Х и У. 1 ил.
1675659
Отраженный от отражателя 8 пучок с помощью зеркала 9 направляется на светоделитель 2 в точку пересечения пучков, отраженных от отражателей 3 и 4. Фотопри5 емники 10 и 11, установленные по ходу пучков первого и второго измерительных каналов, соответственно, регистрируют изменения интенсивности в пучках, cooTBBTGTвующие изменению оптического пути
10 пучков в соответствующих измерительных каналах. Блок обработки информации обрабатывает сигналы, поступающие с фотоприемников, и выдает информацию о перемещении объекта по двум координатам
Хи У, Составитель M,Ìèíèí
Техред M.Ìîðãåíòàë
Редактор С.Кулакова
Корректор А.Осауленко
Заказ 2992 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений в машино- и станкостроении, а также в других отраслях промышленности.
Цель изобретения — расширение диапазона измеряемых перемещений за счет увеличения отношения сигнал/шум.
На чертеже представлена схема лазерной двухкоординатной измерительной системы для измерения линейных перемещений.
Лазерная двухкоординатная измерительная система содержит последовательно установленные лазер 1 и светоделитель 2, делящий световой пучок на два, первый уголковый отражатель 3, предназначенный для связи с объектом (на чертеже не пока-, зан), второй уголковый отражатель 4, зеркало 5, оптический блок, выполненный в виде зеркал 6 и 7, третий уголковый отражатель
8, также предназначенный для связи с объектом, зеркало 9, фотоприемники 10, 11, блок обработки информации, содержащий счетчик 12 импульсов, узел 13 отображения информации, программируемый процессор
14 и источник 15 питания.
Лазерная измерительная система работает следующим образом, Луч лазера 1 делится светоделителем 2 на два пучка, в соотношении 1 .2 по мощности, которые формируют два измерительных канала. Один пучок падает на уголковый отражатель 3, который связан с обьектом и при перемещении объекта изменяет оптическую длину в первом измерительном канале, например, вдоль координаты Х. Второй пучок, отраженный от светоделителя 2, падает на уголковый отражатель 4 и направляется зеркалом 5 в точку возвращения на светоделитель 2 первого пучка под углом а, Отраженный светоделителем 2 второй пучок с помощью оптического блока направляется во второй измерительный канал на третий уголковый отражатель 8, с помощью которого регистрируют перемещение объекта вдоль второй координаты, например У.
Формула изобретения
Лазерная двухкоординатная измерительная система для измерения линейных перемещений, содержащая последовательно установленные лазер и светоделитель, делящий световой пучок на два. первый уголковый отражатель, установленный IlQ ходу прошедшего через светоделитель пучка и предназначенный для связи с объектом, второй уголковый отражатель, установленный по ходу отраженного от светоделителя пучка, третий уголковый отражатель, предназначенный для связи с объектом, два фотоприемника, оптически связанных, соответственно, с первым и третьим уголковыми отражателями, и блок обработки информации, электрически связанный с обоими фотоприемниками, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых перемещений, она снабжена оптическим блоком, выполненным в виде двух зеркал и установленным по ходу светового пучка между вторым и третьим уголковыми отражателями, и зеркалом, установленным по ходу светового пучка между третьим уголковым отражателем и соответствующим фотоприемником и ориентированным таким образом, что световые пучки, отраженные от уголковых отражателей, пересекаются на поверхности светоделителя,
