Способ неразрушающего контроля намагниченности насыщения магнитных пленок
Изобретение относится к технике измерения магнитных параметров и может быть использовано для неразрушающего локального экспресс-контроля намагниченности насыщения пленок с осью легкого намагничивания , расположенной в плоскости пленки Цель изобретения - повышение точности измерений - достигается тем, что переменное магнитное поле направлено в плоскости пленки, а регистрацию переменной составляющей оптического сигнала проводят при использовании тангенциального магнитооптического эффекта. 2 ил
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)5 G 01 R 33/05
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4720560/21 (22) 17.07.89 (46) 15.11.91. Бюл. М 42 (72) А.Т. Михалевич, M.Ì, Червинский, С.Б.
Убизский,Ю,Е. Скицкий и А.О. Матковский (53) 621.317.44 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
М 1443603, кл. G 01 R 33/05, 1984. (54) СПОСОБ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ НАМАГНИЧЕННОСТИ НАСЫЩЕНИЯ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК
Изобретение относится к технике измерения магнитных параметров материалов и может быть использовано для неразрушающего локального экспресс-контроля намагниченности насыщения пленок с осью легкого намагничивания (ОЛН), расположенной в плоскости пленки, Целью изобретения является повышение точности измерений.
Поставленная цель достигается тем, что в способе, заключающемся в намагничивании пленки постоянным магнитным полем в нормальном к ее плоскости направлении, дополнительном воздействии переменным магнитным полем с амплитудой, меньшей намагниченности насыщения материала пленки, и определении намагниченнОсти насыщения в момент равенства нулю регистрируемой переменной составляющей сигнала, пропорционального магнитооптическому эффекту, дополнительное переменное маг. Ж 1691796 А1 (57) Изобретение относится к технике измерения магнитных параметров и может быть использовано для неразрушающего локального экспресс-контроля намагниченности насыщения пленок с осью легкого намагничивания, расположенной в плоскости пленки, Цель изобретения — повышение точности измерений — достигается тем, что переменное магнитное поле направлено в плоскости пленки, а регистрацию переменной составляющей оптического сигнала проводят при использовании тангенциального магнитооптического эффекта. 2 ил, нитное поле прикладывают В плоскости пленки с амплитудой, в 2-3 раза превышающей коэрцитивную силу материала пленки, и регистрируют переменную составляющую тангенциального магнитооптического эффекта — экваториального или меридионального эффекта Керра при использовании отраженного света или эффекта Фогта при использовании прошедшего света, Величина амплитуды модулирующего поля, в 2-3 раза превышающая коэрцитивность материала, определяется необходимостью перемагничивания пленки в ее плоскости для повышения чувствительности регистрации.
На фиг. 1 представлена зависимость экваториального эффекта Керра в пленке с
ОЛН, расположенной в ее плоскости от величины внешнего магнитного поля; на фиг, 2 — блок-схема устройства. реализующего способ.
1691796
ФЪю
Nuz2
Составитель Н.Романов
Редактор Н,Каменская Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор Э,Лончякова
Заказ 3926 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Контролируют эпитаксиальную пленку феррограната иттрия, выращенную на подложке гадолиний-галлиевого граната с ориентацией (111).
Образец освещают лучом лазера 1. Намагничивают образец постоянным магнитным полем Й. При этом вектор намагниченности ленки выходит из ее плоскости и разворачивается по направлению внешнего поля, Ьдновременное воздействие слабого переменного поля Й в плоскости пленки приводит к колебанию составляющей вектора намагниченности в плоскости пленки, что регистрируется при помощи экваториаль ного эффекта Керра с помощью фотоприемника 2. Когда постоянное магнитное поле развернет вектор намагниченности нормально к пленке, составляющая намагниченности в плоскости образца 3 исчезнет, и эффект Керра будет равен нулю. Поле насыщения определяют в момент равенства нулю эффекта Керра, Формула изобретения
Способ неразрушающего контроля намагниченности насыщения магнитных пленок, включающий намагничивание пленки
5 постоянным магнитным полем, перпендикулярным плоскости пленки, изменение величины этого поля, воздействие на пленку переменным магнитным полем с амплитудой, меньшей намагниченности насыщения
10 пленки, освещение пленки лучом поляризованного света, регистрацию оптического сигнала и определение величины намагниченности насыщения пленки в момент равенства нулю регистрирующей переменной
15 составляющей оптического сигнала, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения, переменное магнитное поле направлено в плоскости пленки, а регистрацию переменной составляющей
20 оптического сигнала проводят при использовании тангенциального магнитооптического эффекта.
