Способ определения примеси
Изобретение относится к полупроводниковому газовому анализу и может быть использовано для определения газовой примеси в атмосфере неизмеряемого газового компонента. Цель изобретения - повышение чувствительности определения чувствительного элемента, изготовленного в виде тонкой полупроводниковой пленки оксида металла, нанесенной на нейтральную огнеупорную подложку, и термического источника колебательно:возбужденных молекул . Измеряют начальную скорость изменения электропроводности чувствительного элемента, помещенного в анализируемую среду, не менее чем при двух различных температурах термического источника колебательно-возбужденных молекул, и по полученным данным рассчитывается примесная газовая компонента.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (5!)5 G 01 N 27/12
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ:, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4656279/25 (22) 28.02.89 (46) 30.11.91. Бюл. Иг 44 (72) Э.Е.Гутман, И,А.Мясников и В.М,Телия (53) 543.274 (088.8) (56) Гутман Э.Е. Влияние адсорбции свободных атомов и радикалов на электрофизические свойства полупроводниковых окислов металлов, — ЖВХ, 1984. вып.4, т.58, с.801.
Авторское свидетельство СССР
N 1242796, кл. G 01 N 27/02, 1986. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ (57) Изобретение относится к полупроводниковому газовому анализу и может быть использовано для определения газовой
Изобретение относится к полупроводниковому газовому анализу и может быть использовано для определения газовой. примеси в атмосфере неизмеряемого газового компонента.
Цель изобретения заключается в повышении чувствительности определения.
Сущность способа определения примеси заключается в том, что анализируемую среду подают иэ баллона или газовой коммуникации в предварительно отвакуумированную герметичную камеру, содержащую чувствительный элемент. Чувствительный элемент представляет собой полупроводниковую пленку оксида металла, нанесенную на огнеупорную изолирующую подложку из кварца, снабженную платиновыми контактами для измерения электропроводности.
Термический источник колебательно-возбужденных молекул изготовлен в виде высоко„„ Ы„„1695211 А1 примеси в атмосфере неизмеряемого газоаого компонента. Цель изобретения — повышение чувствительности определения чувствительного элемента, изготовленного в виде тонкой полупроводниковой пленки оксида металла, нанесенной на нейтральную огнеупорную подложку, и термического источника колебательно-возбужденных молекул. Измеряют начальную скорость изменения электропроводности чувствительного элемента, помещенного в анализируемую среду, не менее чем при двух различных температурах термического источника колебательно-возбужденных молекул, и по полученным данным рассчитывается примесная газовая компонента. температурного диэлектрика, снабженного нагревателем, и помещен в камеру. После подачи среды в рабочую камеру чувствительный элемент выдерживают до постоян-. ного значения электропроводности, затем включают источник колебательно-возбужденных молекул и регистрируют начальную скорость измерения злектроп роводности
Ч полупроводниковой пленки, помещенной в анализируемую среду, не менее чем при двух различных температурах Т1 и Т2 термического источника колебательно-возбужденных молекул, По tg p угла наклона
1 кривой в координатах tnV<- — и по формуле
Е = Rtgy(R = 1,987 — газовая постоккал . моль янная) находят величину колебательного кванта молекул газовой примеси и тем самым определяют саму примесь, 1695211
Составитель В.Екаев
Техред М.Моргентал Корректор С.Шевкун
Редактор А. Калениченко
Заказ 4158: Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Пример 1. Способ определения дейтерия в качестве газовой примеси в атмосфере гелия с помощью чувствительного элемента из оксида цинка.
Полупроводниковую пленку ZnO наносят на огнеупорную изолирующую подложку из кварца; снабженную платиновыми контактами для измерения электропроводности, Подготовленный таким образом чувствительный элемент помещают в вакуумную камеру и напускают в эту камеру анализируемую смесь до давления 10
10 торр. Затем включают термический ис- точник колебательно-возбужденных молекул и повышают его температуру до Т1 =1170 К, определяют значение начальной скорости изменения Электропроводности
Vs,,То же самое проводят при температуре
Т2 = 1273 К и находят Vg .Определяют. tg угла наклона кривой в координатах tnt - — и
7Г по формуле Е = Rtg <р находят величину колебательного кванта, для дейтерия она
89 моль
Пример 2. Способ определения кислорода в качестве газовой примеси в атмосфере аргона с помощью чувствительного элемента из оксида цинка.
Последовательность операций такая же, как и в примере 1, с той лишь разницей, 5 что измерение начальной скорости изменения электропроводности чувствительного элемента проводят при температурах Т1 =
770 К и Т2 = 820 К, для кислорода величина колебательного кванта 4,5 ккал моль
Формула изобретения
Способ определения примеси в анализируемой газовой среде методом измерения начальной скорости изменения
15 электропроводности помещенного в камеру с анализируемой средой чувствительного элемента, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности определения, в камере размещают термиче20 ский источник колебательно-возбужденных молекул, повышают его температуру и определя ют значения начальной скорости изменения электропроводности не менее чем при двух различных температурах, и по пол25 ученным данным определяют примесный компонент.
