Вакуумная установка

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОЬРЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскю

Социалистическими

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 20.17.1964 (№ 895798/22-2) Кл. 48b, 14 с присоединением заявки №

Приоритет

Государственным комитет по делам изобретений и открытий СССР. 1ПК С 23с

УДК 621.793.14 (088.8) Опубликовано 21.1Х.1965. Бюллетень № 19

Дата опубликования описания 6.ХП.1965

4 ! а

Автор изобретения

А. П. Ларичев

Заявитель

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА риалом сообщаются с объемами, в которых помещают изделия.

Возможность последовательно перемещать изделия над емкостями с испаряемыми материалами позволяет наносить многослойные металлические и диэлектрические покрытия путем распыления наносимого материала в вакууме и из паровой фазы за один цикл. На установке можно получить пленочные, напрн10 мер, микромодульные и криогенные приборы и схемы.

На установке также можно осуществлять комбинированные способы нанесения покрытий как в вакууме, так и в атмосфере различ15 ных газов.

Вакуумная установка, состоящая пз двух

20 золотннковых дисков: подвижного, на котором смонтированы объемы с изделиями, и неподвижного, имеющего с подвижным диском совмещающиеся отверстия, отлачаютааяся тем, что, с целью использования ее для нанесения

25 металлических и диэлектрических покрытий, она снабжена емкостями со съемными контейнерами, содержащими наносимые материалы, прикрепленными к нижней части неподвижного золотникового диска, которые при сов30 мещении отверстий сообщаются с изделиями в объеме, укрепленном на подвижном диске.

Подписяая группа № 209

В известных вакуумных установках для многослойных покрытий с несколькими объемами разделение объемов осуществляют с помощью шлюзовых затворов сложной конструкпи и.

Предлагается установка для многослойных покрытий, осуществляемых при совмещении движущихся объемов с изделиями с неподвижными контейнерами, содержащими наносимые материалы.

Установка состоит, как и известные, из двух золотниковых дисков: подвижного, на котором смонтированы объемы с изделиями, и неподвижного, имеющего с подвижным диском совмещающиеся отверстия. Отличие установки заключается в том, что к нижней части неподвижного диска укреплены емкости со съемными контейнерами, содержащими наносимые материалы. При совмещении отверстий изделия сообщаются с наносимыми материаламн.

Откачиваемые или газонаполненные объемы

1 (см. чертеж) с изделиями укреплены на подвижном диске 2, притертом к неподвижному диску 8. К нижней части неподвижного диска крепятся емкости со съемными контейнерами

4, содержащими наносимый материал. Подвижный и неподвижный диски имеют совмещающиеся отверстия б.

Емкости со съемными контейнерами снабжены вакуум- и газопроводами. При совмещении отверстий емкости с наносимым матеПредмет изобретения

175366 г

L

1

I

I

1

1

I

Составитель Э. Альтшуллер

Редактор Б. С. Нанкина Техред T. П. Курилко Корректор О. Б. Тюрина

Заказ 3488/12 Тираж 1600 Формат бум. 60/90 /з Объем О,! изд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр, Сапунова, д. 2