Способ испытания изделий на герметичность в вакуумной камере

 

Изобретение относится к испытаниям изделий на герметичность и может быть использовано при испытании изделий в вакуумной камере. Целью изобретения является повышение чувствительности и точности испытаний . Контролируемое изделие 2, являющееся анодом, размещается в вакуумной камере 1 и заполняется пробным газом по линии 3. Экран по поверхности изделия 2 сканируют катодом 5, экранируемым прозрачным колпачком б. При попадании пробного газа внутрь колпачка 6 через его открытый торец, обращенный к изделию 2, в нем возникает свечение, по которому судят о негерметичнссти. ч з.п. ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s 6 01 М 3/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4633561/28 (22) 05.01.89

f46) 30, f2.91, Бюл, %48 (72) Г.Ф,Шуканов, В.А.Кириллин и В.И,Киреев (53) 620.165.29(08о. u) (56) Авторское свидетельство СССР

O 665226; кл. G 01 М 3/40, 1977, (54) СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ ИЗДЕЛИЙ НА

ГЕРМЕТИЧНОСТЬ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ (57) Изобретение относится к испытаниям изделий на герметичность и может быть использовано при испытании изделий в вакуЯХ 1702205 А1 умной камере. Целью изобретения является повышение чувствительности и точности испытаний. Контролируемое изделие 2, являющееся анодом, размещается в вакуумной камере 1 и заполняется пробным газом по линии 3. Экран по поверхности изделия 2 сканируют катодом 5, зкранируемым прозрачным колпачком 6. При попадании пробного газа внутрь колпачка 6 через его открытый торец, обращенный к изделию 2, в нем возникает свечение, по которому судят о негерметичнссти. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

1702205

ИзОбзретен !8 OTIIQc! I гся к испытаниям изделий на герметичность и может быть использован<3! ðè исг!ь!TBнии изделий в вакуi!! !4(ii) ..);„ .;-РР

Цель::0 изобретения является r:ов! !((!ен!,е чуecLTi,lil åë, н()cти пугe 1 р lсшиpeния ((И!1г)оз !!о ро NCTnlhj>kieMb!X ПОТОКГВ г100бН О Г О Г с! 3 Я В С Т <) I3 O I 1 ó «Vi 8 I I b I L(e I 1 И Я и Г l 0 I) b I L0 e "

1,и8 тQilll ост", !" утем устранен ия

)заз(1ь!тас и Гяэо )Ого разряда, Д П(,8 (CTBBfleI IB СХЕ iie ij(, ОСЙСЗ—

I .;:., С Па(:ОГЦЬ! К()та(ЗОГО ОСУЩЕСТВЛсват СПОСоб !iC(lb!, 1 -! (1(ИЗЛЕ)!Нй (!я сер ке-.иi! IOCTb U !

За, <,умь!Ой камере, на фиГ. 2 — )jcTQQAcTBQ 1 1 " Р (" i i ", -"1 " " "л "" и (ч и 0 I (с и (. < <) бз я с О и 1 пб)н(1 у>хе!!..!< т(зчеi! малого паояака. ) ст!3(3 "10 в(вля Qcvi;цсствления сг(асс Зя

:,1СПЫта! ИИ ИЗ Пелий НЯ ГЯРМети-Il!QCTB- СОДЕРжит РЯКУРН)тэ КаМОРУ i. В КатОРОй Размешается изделие 2, л i!I IN!(3 3 flopачи K изДслию 2 Г)13г>бн(з "0 Газа псД Давлени8м, МЯНОМВТ(З 4., Рсос !QЛОЖЕННЫЙ HB ЛИНИИ 3 пода !и пйабнагс газа, I;BTop, 5, BKj)BI INpyeмый и рОЗОЯ-I!!0! i ОЬОлачкай, Выполненной В

-идо кал IB I! я 6, QCipB!j(8-IlioTQ откаытым торц()м к изде)lию 2 и Оснащеннога ГРрметь зирую!Дей г())окпадкай1,7, регулируемый блок< 6 пита!-!(;)я и .-;ОГ!()оги -j!8!)NB <), (,.Носсб исгlы-ieния изпелиЙ на ГермеТИЧ НССТЬ OC сШВС ВПЯ8ТСЯ СЛОДЧЮШИМ (30(ЗЯ"

::;П! I, I,(!зролируе!.I(е изд:.:. lwe 2, я= :ëÿlîèeeС(1 Я Над )М, /Ст>Зс!Я()P NÝB6TCß В ВакууМНОЙ Каме(38 i . .! !О линии " В изделие 2 падве ся

Г)побьlь! Й с)3 г!()Д ДсlВП6ни6м, к(зтаРО8 JQTB" нав)1(!Зае гс.., па манометру 4, Като)3,5 размешeeтся В празсзч IQM кОлпачк6 б, 0!)0B!338!II!Ом Открытым торцам к из ле!)И)0 2, и cKBниг)уе г)а (10880;!I-IQc ù изделия 2, С Qie!" B!! p 8!i!0 "0 6jIQIКЕНЬ18 От!ЗИ()ЯТЕЛЬНОЙ, поля рнасти, Hp!. разрежении 10 мм рт,ст.

И "Ь! ШГ;- С Гг)1 " Газ 3. ИС РКЯЯ B Вас ЮГМНУО "-1" меру 1, попадает через открытый конец колпачка 6 в его внутренний объем, при атом возникает свечение газа. Локализация месга те(и связана с размерам диаметра откры5 того конца колпачка б, В случае обнаружения течей меньшего по(зядка, прсзрачныЙ колпачОк 6 устанавлиВае ся HB издели8 2 I ION пОмОщи Г8рметизирующей прокладки 7, В этом случае катод

1!0 введен в дно колпачка 6 герметична.

При экспериментальной отработке были использ(званы потоки газа ат 25 л мкм рт.ст,/с да 10 - л мм рт.ст,/с и получено свечение при токе,зазряда дс 2.,5 МА и-напря>кении на !5 катоде ат -800 до-1600 В.

Способ исп(ятания изделий на гермеТИ !НОСТЬ ПОЗВОЛЯВТ ПОВЫСИТЬ ТОЧНОГТЬ ОПРОДелениЯ М6СТЯ Н8Г8РМЕТИЧНОСТИ И чувствительности контроля герметичности

00 при более широ!<ом диапозоне разрежения

В вакуумной ка..1ере, снизить загрязнение изделий и . BBKуумнсй камеры продуктами химических реакций, происходящих в газовом разряде.

Формула изобретения

1. Способ испытания изделий на герметичность В BBK )jMHQÉ KBviepe, заключаюЗО щийся В том, что изделие заполняют ! pobнb(м Г()зсм, скаг!иру(от катодам па па верхности изделия, явлиощегсся анодом, и созда(ст условия для возни«навения злектрическо!о (зазряда в камере при праникно35 Вении В нее пробного газа, по которому

С1лят а негермети".HîñòN, о т л и ч а ющ и N c я тем,,TO, с целью повышения точности и чувствительнас-:и, сканирование

Осушествляют катодом, размещенным в

:-. 0 прозрачной оболзчке, обращенной открыть(м торцом к изделию, 2, Способ по п. 1, а т л и ч я !о шийся тем, что используют оболочку с герметизи, рующей прокладкой на открытом торце, 1702205

Составитель И. Лучева

Редактор М, Бандура Техред М.Моргентал Корректор 3. Лончакова

Заказ 4535 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101