Способ исследования маломодовых планарных оптических волноводов

 

Изобретение относится к оптическим испытаниям и может быть использовано для исследования тонких диэлектрических пленок. Цель изобретения - повышение производительности труда и предотвращение повреждения исследуемого волновода . Способ включает формирование дополнительного волновода к исследуемому , возбуждение волноводной системы излучением посредством применения элемента связи, измерение углового распределения излучения, прошедшего через волноводную систему, и вычисление по угловому распределению параметров исследуемого волновода; при этом дополнительный волновод с известными параметрами формируют на отдельной подложке.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (юцз G 02 В 6/12

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4814419/10 (22) 16.02.90 (46) 15.03.92. Бюл. М 10

P1) Омский научно-исследовательский институт приборостроения (72) М. В. Катин, И. С. Столетов и И. А. Корж (53) 535.821(088.8) (56) Квантовая электроника, 1978, ЬЬ 6; т. 5, с. 1318.

Квантовая электроника, 1983, М 10, т. 10, с. 2128. (54) СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ МАЛОМОДОВЫХ ПЛАНАРНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ВОЛНОВОДОВ (57) Изобретение относится к оптическим испытаниям и может быть использовано

Изобретение относится к оптическим испытаниям и может быть использовано, в частности, для исследований тонких диэлектрических слоев.

Известен способ маломодовых планарных оптических волноводов (МПОВ), заключающийся в измерении относительно изменения дифракционной эффективности поверхностной фазовой решетки при смене прилегающей к ней среды.

Однако такой способ имеет высокую трудоемкость и связан с разрушением исследуемого волновода.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ исследования МПОВ, включающийформирование на поверхности исследуемого волновода дополнительного многомодового волнавода, возбуждение волноводной системы излучением посредством применения элемента свяе

„„5U„„172QQ44 А1 для исследования тонких диэлектрических пленок. Цель изобретения — повышение производительности труда и предотвращение повреждения исследуемого волновода. Способ включает формирование дополнительного волновода к исследуемому, возбуждение волноводной системы излучением посредством применения элемента связи, измерение углового распределения излучения, прошедшего через волноводную систему, и вычисление по угловому распределению параметров исследуемого волновода, при этом до" полнительный волновод с известными параметрами формируют на отдельной подложке. зи, измерение углового распределения интенсивности излучения, прошедшего через волноводную систему и вычисление по угловому распределению параметров волновода. Однако этот способ характеризуется высокой трудоемкостью, связанной с необходимостью формирования дополнительного волновода на каждом исследуемом

МПОВ, кроме того, этот способ вносит неконтролируемые изменения в состав и структуру исследуемого МПОВ, связанные прежде всего с неконтролируемой взаимодиффузией материалов дополнительного волновода, и МПОВ, что приводит к .повреждению последнего.

Цель изобретения — повышение производительности труда и предотвращение повреждения исследуемого волновода.

Дополнительный волновод с известными параметрами формируют на отдельной

1720044

Составитель Н. Иванов

Редактор M. Недолуженко Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор С, Черни

Заказ 771 . Тираж Подписное ., ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101 подложке, предпочтительно имеющей показатель преломления, равный показателю преломления подложки с исследуемым волноводом, причем дополнительный волновод размещают параллельно исследуемому волноводу таким образом, что расстояние между их свободными поверхностями меньше длины волны используемого излучения, Для осуществления предложенного способа дополнительный многомодовый волновод (пленка ИЫА!Оз толщиной 1,5 мкм), формируют на одной грани призменного(ИЙЬОз) элемента связи, причем между призменным элементом связи и многомодовым волноводом имеется слой S10z толщиной 0,5 мкм для подавления излучающих мод, После определения характеристик дополнительного многомодового волновода призму со сформированным на ее грани дополнительным волноводом размещают на поверхности исследуемого волновода таким образом, чтобы воздушный зазор между их свободными поверхностями был меньше длины волны {6328,2 А, лазера

ЛГ-52), после чего измеряют угловое распределение интенсивности прошедшего через волноводную систему излучения и вычисляют по угловому распределению характеристики исследуемого маломодового волновода с учетом того, что характеристики дополнительного волновода известны. В качестве основного волновода на кварцевую подложку осаждают пленку йбА10з толщиной 0,3 мкм.

5 Таким образом, данный способ характеризуется простотой и не приводит к разрушению исследуемого волновода.

Ф о р мул а и зоб рете ни я

10 Способ исследования маломодовых планарных оптических волноводов, включающий формирование дополнительного к исследуемому многомодового волновода с известными параметрами, возбуждение

15 полученной волноводной системы излучением с помощью применения элемента связи, измерение углового распределения интенсивности излучения, прошедшего через волноводную систему, и вычисление по

20 угловому распределению параметров волновода, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения производительности труда и предотвращения повреждения исследуемоrg волновода,дополнительный волновод с

25 известными параметрами формируют на отдельной подложке, причем дополнительный волновод размещают параллельно исследуемому волноводу с зазором между ними, меньшим длины волны используемого излу39 чения.