Способ резки монокристаллов

 

Изобретение относится к механической обработке твердых и хрупких материалов и может быть использовано при разделении полупроводниковых и диэлектрических монокристаллов на пластины. Целью изобретения является повышение качества отрезаемых пластин и стойкости инструмента. В способе резки наибольшую скорость внедрения режущей кромки в монокристалл выбирают выше скорости поперечной передачи в 2-9 раз. Кроме того, частоту и амплитуду колебаний выбирают исходя из да)с соотношения где K vn/v; V v.n - наибольшая скорость внедрения режущей кромки в монокристалл, мм/с; v - скорость поперечной передачи, мм/с; дамплитуда колебаний монокристалла, мм; Од: - частота колебаний монокристалла, рад/с, 1 табл.

союз советских

СОЦИАЛ ИСТИЧ Е С К ИХ

РЕСПУБЛИК. (я)5 В 28 О 5/00

ГОСУДАPСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

vll

К=— ч

Ql

ЬЭ д И /К2 1 ч (61) 1685719 (21) 4427050/33 (22) 11,04,88 (46) 15,09.92. Бюл. М 34 (71) Научно-производственное объединение

"Механика" (72) Ю.М. Андреев, С.С, Ерошин, M.Т. Таращанский, Г,И. Галигузов, В.П. Запорожский, Д.Н. Гулидов и В,Ю, Харламов (56) Авторское свидетельство СССР

N 1685719, кл, В 28 D 5/00, 1988. (54) СПОСОБ РЕЗКИ МОНОКРИСТАЛЛОВ (57) Изобретение относится к механической обработке твердых и хрупких материалов и может быть использовано при разделении полупроводниковых и диэлектрических

Изобретение относится к механической обработке твердых и хрупких материалов и может быть использовано при разделении полупроводниковых и диэлектрических монокристаллов по авт.св. N 1685719.

Целью изобретения является повышение качества отрезаемых пластин и стойкости инструмента.

В способе резки монокристаллов частоту и амплитуду колебаний определяют из соотношения где ч — скорость поперечной подачи, мм/с;

v — скорость наибольшего внедрения режущей кромки в монокристалл, мм/с; д — амплитуда колебаний монокристалла, мм;

„„. Ж„„1761521 А2 монокристаллов на пластины. Целью изобретения является повышение качества отрезаемых пластин и стойкости инструмента, В способе резки наибольшую скорость внедрения режущей кромки в монокристалл выбирают выше скорости поперечной передачи в 2-9 раз. Кроме того, частоту и амплитуду колебаний выбирают исходя из д жс соотношения К вЂ” 1, где К=чп/v; ч

v — наибольшая скорость внедрения режущей кромки в монокристалл, мм/с; ч — скорость поперечной передачи, мм/с; д— амплитуда колебаний монокристалла, мм; вс — частота колебаний монокристалла, рад/с. 1 табл. в, — частота колебаний монокристалла, рад/с; при этом выбирают наибольшую скорость внедрения режущей кромки в монокристалл, чтобы она превышала скорость поперечной подачи в 2-9 раз.

Пример. Производилась резка монокристаллов кремния диаметром 100 мм на пластины толщиной 0,75 мм. Резка производилась на модернизированном станке модели "Алмаз 11". Модернизация заключалась в оснащении станка приводом колебаний слиткодержателя вместе с устройством ориентации монокристалла. Привод колебаний имел числовое программное управление.

Применялись алмазные отрезные круги с

1761521 (ЪК вЂ” ) ч fl

К=— ч при этом выбирают наибольшую скорость внедрения режущей кромки в монокристалл так, чтобы она превышала скорость поперечной подачи в 2-9 раз.

Составитель А,Булеков

Техред М.Моргентал Корректор Н.Ревская

Редактор

Заказ 3222 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 внутренней режущей кромкой АКВР 422 х

152 х 0,3 по ГОСТ 26004-83, Резку вели с поперечной подачей I/= 0,666 мм/с.

Было проведено пять серий опытов, в первой серии параметры колебаний соответствовали способу, описанному в прототипе, во второй и третьей — пределами выполнения условия непрерывности К=9 и

2, в четвертой — промежуточному значению условия по данной заявке.

Результаты реализации предлагаемого способа сведены в таблицу.

Из таблицы видно, что наихудшие технико-экономические показатели имеет первая серия опытов, так как в ней не выполняются условия непрерывности контакта режущей кромки с материалом и скорость внедрения режущей кромки с материалом и скорость внедрения режущей кромки в монокристалл в 471 раз превышает скорость поперечной подачи, Несколько лучше технико-экономические показатели во второй и третьей сериях опытов, так как здесь выполняются граничные условия непрерывности контакта, а это приводит к снижению динамических нагрузок. Наилучшие показатели имеет четвертая серия опытов, в которой было реализовано промежуточное условие.

Формула изобретения

Способ резки монокристаллов по

5 авт.св. М 1685719, отличающийся тем, что, с целью повышения качества отрезаемых пластин и стойкости инструмента, частоту и амплитуду колебаний определяют из соотношения

10 где ч — скорость поперечной подачи, 15 мм/с;

v> — скорость наибольшая внедрения режущей кромки в монокристалле, мм/с; д — амплитуда колебаний монокристалла, мм;

20 со, — частота колебаний монокристалла, рад/с;