Гальваническая ванна

 

Использование: гальваническое осаждение металлов в нестационарных режимах по току и электролиту на подложки микросхем и мйкросборок. Сущность изобретения: гальваническая ванна состоит из рабочей емкости 1, под которой расположена вспомогательная емкость 2, соединенная с рабочей емкостью аксиальным входным каналом 3, по оси каждого расположен вал 4 привода, установленный в опорах 5 и имеющий возможность вертикального и враща12 9 тельного движения соответственно от приводов 6 и 7. В верхней части вала 4 установлено уплотнение 8, перекрывающее канал 3 при вертикальном перемещении вала 4, и карусель 9 с горизонтально расположенными держателями подложек 10, находящимися между кольцевыми анодами 11, параллельно закрепленными на основании рабочей емкости 1.й крышке 12. В нижней части вала привода в области вспомогательной емкости 2 установлены лопасти турбины 13, Уплотнение 14 предотвращает попадание рабочего раствора в споры вала 4. По периферии рабочей емкости 1 расположен коллектор с форсунками 15 для подачи промывочной воды на подложки. Рабочая емкость 1 соединена со вспомогательной емкостью 2 выходным отверстием 16 с клапаном 17, а со сливной системой - патрубком 18с клапанном 19. На крышке 12 установлена система 20 блокировки включения двигателя привода 7. 2 ил. 4 81 U / Ё

С:ф")3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

IsI)s С 23 G 3/00 г

ГОСУДАРСТВЕННОЕ llATEHTIВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

F: (21) 4777415/26 (22) 02.01,90 (46) 07.01.93. Бюл. N 1 (71) Львовский политехнический институт им. Ленинского комсомола (72) В.Г.Норейко и В.И.Бикэнов (56) 1. Авторское свидетельство СССР

N1317036,,кл. С 25 D 19/00, 1987.

2, Авторское свидетельство СССР

N. 1014989, кл, С 23 G 3/00, 1985. (54) ГАЛЬВАНИЧЕСКАЯ ВАННА (57) Использование; гальваническое осаждение металлов в нестационарных режимах по току и электролиту на подложки микросхем и микросборок. Сущность изобретения: гальваническая ванна состоит из рабочей емкости 1, под которой расположена вспомогательная емкость 2, соединенная с рабочей емкостью аксиальным входным каналом 3. по оси каждого расположен вал

4 привода, установленный в опорах 5 и имеющий возможность вертикального и вращаfSjy tr g., Я2 1786192 Аl тельного движения соответственно от приводов 6 и 7, В верхней части вала 4 установлено уплотнение 8, перекрывающее канал 3 при вертикальном перемещении вала 4, и карусель 9 С горизонтально расположенными держателями подложек 10, находящимися между кольцевыми анодами 11, параллельно закрепленными на основании рабочей емкости 1.и крышке 12. В нижней части вала привода в области вспомогательной емкости 2 установлены лопасти турбины 13, Уплотнение 14 предотвращает попадание рабочего раствора в споры вала

4. По периферии рабочей емкости 1 расположен коллектор с форсунками 15 для подачи промывочной воды на подложки.

Рабочая емкость 1 соединена со вспомогательной емкостью 2 выходным отверстием

16 с клапаном 17, а со сливной системой— патрубком 18 с клапанном 19. На крышке 12 установлена система 20 блокировки включения двигателя привода 7. 2 ил.

1786192

Изобретение относится к технике гальванического осаждения, металлов в нестационарных режимах по току и электролиту на подложку микросборок и микросхем, но может быть использовано и при производстве 5 печатных плат, Известна гальваническая ванна,содержащая цилиндрическую емкость, перфорированную токопроводящую перегородку,, с лопаткой в виде спиральной ленты, имею- 10 щей возможность вращения вокруг своей оси (1).

Однако такое выполнение эффективно только для обработки деталей цилиндрической формы, 15

Наиболее близкой к предложенной является гальваническая ванна карусельного типа, содержащая цилиндрические рабочую и вспомогательную емкости, сообщенные каналами, приводной вал с уплотнением, 20 держатели и устройства для перемешивания (2).

Однако известное решение не обладает достаточной производительностью.

Цель изобретения — повышение произ- 25 водительности и улучшение обслуживания.

На фиг, 1 приведена конструкция пред- лагаемого устройства; на фиг, 2 — сечение, А-А на фиг. 1.

Г®чьваническая ванна карусельного ти- 30 па состоит из цилиндрической рабочей емкости 1, под которой расположена цилиндрическая вспомогательная емкость

2, соединенная с рабочей емкостью акси альным входом каналом 3, по оси которого 35 расположен вал привода (например, электромеханического) 4, установленный в опорах 5 и имеющий возможность вертикального и вращательного движения соответственно от приводов 6 и 7. В верхней 40 части вала 4 установлено уплотнение 8, перекрывающее канал 3 при вертикаль;ном перемещении вала 4 и карусель 9 с .горизонтально расположенными держателями подложек 10. находящимися между 45 кольцевыми анодами-11, параллельно закрепленными на дне рабочей емкости 1 и крышке 12. В нижней части вала 4 привода .. „в области вспомогательной емкости 2 установлена крыльчатка 13, образующая устрой- 50 ство для подачи и перемещения раствора.

Уплотнение 14 предотвращает попадание рабочего раствора в опоры вала 4, По периферии рабочей емкости 1 расположен коль- . цевой коллектор с форсунками 15 для 55 . подачи промывной воды на подложки. Рабочая емкость 1 соединена со вспомогательной емкостью 2 выходным каналом 16 с клапаном 17, а со сливной системой — патрубком 18 с клапаном 19, На крышке 12 установлена система блокировки включения 20 двигателя привода 7.

Устройство для гальванической обработки деталей работает следующим образом, При открытой крышке 12 и неподвижной карусели 9 весь электролит находится во вспомогательной емкости 2 и имеется возможность установить подложки в держателе 10, После установки подложек крышка

12 закрывается, отключая блокировку 20, включается привод вертикального перемещения вала 4, а затем привод 7 вращения вала 4 и крыльчатки 13 через аксиальный входной канал 3 подает электролит в рабочую емкость 1, который затем выливается через выходное отверстие 16, обеспечивая постоянную скорость протекания электролита в промежутке анод-катод. При этом клапан 17 открыт, а клапан 19 закрыт.

После окончания процесса осаждения вал 4 прекращает вращение, в результате чего электролит выливается из рабочей емкости 1 во вспомогательную емкость 2 через отверстие 16, клапан 17 закрывается. Привод вертикального перемещения 6 опускает вал 4 и уплотнение 8 перекрывает аксиальный канал 3. Клапан 19 открывает сливной патрубок 18 и через форсунки 15 подается проточная вода, струи которой обмывают подложки и карусель, затем подача воды прекращается, крышка поднимается и весь процесс повторяется сначала. < Формула изобретения

Гальваническая ванна карусельного типа, содержащая цилиндрические рабочую и вспомогательные емкости, сообщенные входными и выходными каналами, приводной вал с уплотнением, держатели и устройство для перемешивания раствора, о тл ича ющаясятем,что,с целью повышения производительности и улучшения обслуживания, она снабжена кольцевыми анодами, закрепленными на дне и крышке рабочей емкости, и кольцевым коллектором с форсунками для подачи промывной воды, устройство для перемешивания и подачи раствора выполнено в виде крыльчатки, установленной на прйводном валу в области вспомогательной емкости, при этом рабочая емкость смонтирована над вспомогательной емкостью, вал привода установлен во входном канале рабочей емкости с возможностью вращения и вертикального перемещения, а держатели карусели размещены горизонтально между кольцевыми анодами, 1786192

f0 гт

Составитель В. Норейко

Техред М,Моргентал Корректор И. Шулла

Редактор А, Рожкова

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 233 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.. 4/5