Устройство для проверки герметичности полупроводниковых приборов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБР ЕТЕ НИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

I80706

CoI03 Соеетскит

Социалистическит

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 17,|.1963 (№ 814031/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26.III.1966. Бюллетень ¹ 8

Дата опубликования описания 16Х.1966

Кл. 21g, 11/02

421(, 30/01

Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

МПК Н 011

G 01п

УДК 621.382-762(088.8) Л вторы изобретения В. П. Зубков, В. П. Чалов, В. В. Буйлис, Л. Л. Пелекис, Х. Э, Гунне и О. Э. Веверис

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕРКИ ГЕРМЕТИЧНОСТИ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЪ|Х ПРИБОРОВ

Известны установки для проверки герметичности запаянных устройств при помощи радиоактивного газа. В известных установках для создания необходимого давления, разре>кения и перекачивания радиоактивного газа используется способ компрессирования, что приводит к значительным потерям газа.

В предложенном устройстве для проверки герметичности, например, полупроводниковых приборов переконденсация радиоактивного и стабильного газов осуществляется путем вымораживания и разогрева в узле опрессовки с помощью циркуляционного баллона, снабженного холодильником и нагревателем, а также с. помощью системы, состоящей из камеры вскрытия ампул с нагревателем, баллона для хранения радиоактивного газа с холодильником, баллона дозирования с натекателем и баллона со стабильным газом. В качестве радиоактивного газа применен ксенон-133.

Предложенное устройство позволяет быстро и непосредственно определять степень герметичности испытываемых приборов, вести контроль над операциями герметизации и тем самым повысить производительность труда и надежность изделий.

На фиг. 1 изображена схема предложенного устройства; на фиг. 2 — узел опрессовки.

Устройство содержит узел опрессовки 1 испытуемых приборов смесью стабильного и радиоактивного газов, измерительно-сортировальный узел 2, включающий в себя ориенти5 рующее устройство 8, загрузочный механизм

4, механизм 5 измерений и сортировки, сцинтилляционный датчик 6, электронную систему 7, а также соединяющий их транспортер 8.

Узел опрессовки содержит камеру опрессовки 9 (см. фиг. 2), крышку 10 камеры опрессовки, управляемую при помощи золотника 11 через пневмоцилиндр 12; форвакуум15 ный насос 18 с азотной ловушкой 14, циркул яционный баллон 15, снабженный нагревателем 16 и холодильником 17 с механизмом

18 подъема и опускания. Последний соединен с баллоном 19 дозирования, натекателем 20

20 и баллоном 21 для хранения радиоактивного газа, снабженным холодильником 22 с механизмом 28 подъема и опускания. Баллон 21 для хранения радиоактивного газа в свою очередь соединен с камерой 24 вскрытия ам2s пул. имеющей нагреватель 25, которая соединена через баллон 26 со стабильным газом и промежуточный баллон 27 с циркуляционным баллоном 15. Узел опрессовки включает в себя также несколько электромагнитных

30 вентилей 28 и приборов 29, 80 контроля.

180706

Рабога узла опрессовки состоит из трех этапов. Подготовка к работе заключается в сл еду ю щ ем.

При помощи форвакуумного насоса 18 через азотную ловушку 14 откачивают всю систему, кроме камеры опрессовки 9 и каме. ры 24 вскрытия ампул. В последнюю помещают ампулу с радиоактивным газом (например, с ксепоном-133, адсорбированпом на угле), после чего камеру 24 вскр||тия ампул также откачивают насосом 13 и заполняют из баллона 26 стабильным газом (напрнмер, ксепоном) до определенного давлеш|я. 3 атем включают нагреватель 26, и ампула nocJIe BI !ñÎåÎòeмпературпого нагрев|! лопается.

Полученную в камере 24 смесь газов иереконденсируют в баллон 21 для храпения радиоактивного газа путем залива жидкого азота в холодильник 22.

После получения в баллоне хранения радиоактивного газа необходимой радиоактивности, газовую смесь пер еконденсируют в циркуляционный баллон 15 размораживанием баллона 21 и заливанием жидкого азота в холодильник 17. В циркуляционный баллон 16 добавляют необходимое количество стабильного газа из баллона 26 через промежуточный баллон 27, после чего узел опрессовки I готов к работе.

Во время рабочего цикла камеру опрессогки 9, в которую загружены испытываемые приборы, закрывают при помощи золотника

1I через пневмоцилиндр 12 крышкой 10 и откачивают форвакуумным насосом И до определенного давления, по достижении которого камеру опрессовки 9 соединяют с циркуляционным баллоном I5, который размораживают путем опускания холодилы|ика 17 с жидким азотом и включения нагревателя 16.

Размороженная смесь стабильного и радиоактивного газов создает в камере опрессовки 9 определенное давление и удельную радиоактивность, при которых испытываемые приборы выдерживают необходимое время.

По окончании опрессовки смесь газов переконденсируют в циркуляционный баллон 16 при помощи холодильника 17, в результате

45 чего в камере опрессовки создается разрежение. В дальнейшем камеру опрессовки 9 соединяют с атмосферой при помощи вентиля 2Н.

Используя золотник 11 и пневмоцилиндр 12, открывают камеру опрессовки 9 и выгружают приборы на транспортер 8 (cM. фиг. 1), который подает их на нзмерительно-сортировальный узел 2.

Восполнение потерь радиоактивного газа, которое производят во время третьего этапа работы узла опрессовкп, аналогично этапу подготовки узла к раооте.

Предмет изобретения

l. Устройство для проверки герметичности полупроводпикоьых приборов и других устройств при помощи радиоактивного газа, содержащее узел опрессовки испытуемых приборов смесью стабильного и радиоактивного газов, форвакуумный насос с азотной ловушкой, измерительно-сортировочный узел и соединяющий их транспортер, отличающееся тем, что, с целью создания давления, разре>кения и перекачки смеси стабильного и радиоактивного газов, узел опрессовки содержит циркуляционный баллон, снабженный холодильником и нагревателем.

2. Устройство по п. 1, отлачающееся тем, !To, с целью зарядки и ьосполнения потерь радиоактивного газа, узел опрессовки содержит камеру вскрытия ампул с нагревателем, баллон для хранения радиоактивного газа, снаб кенпый холодильником, и баллон дозирования с натекателем.

3. Устройство по пп. 1 и 2, отличающееся тем, что, с целью зарядки системы радиоактивным газом и восполнения его потерь в системе без прекращения рабочего цикла устройства, камера вскрытия ампул соединена с баллоном для хранения радиоактивно|о газа и баллоном дозирования с натекателем, а также соединена с циркуляционным баллоном через промежуточный баллон и баллон со стабильным газом.

4. Устройство по пп. 1, 2 и 3, отличающееся тем, что в качестве радиоактивного газа в нем применен ксенон-133.

18070G з иг. /

:! в

Фи? 2

Составитель Т. И. Петрикова

Редактор И. Г. Карпас Техред А. А. Камышиикова Корректоры: Т. Н. Костикова и С. Н. Соколова

Заказ 1102/6 Тираж 2700 Формат бум. 60><90 /ц Объем 0,3 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ССС1

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр, Сапунова, д. 2