Интерференционный микропрофи л омет р
Сок)з Советскик
Социалистически)<
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 03.1Х.1965 (№ 1025542126-10) Кл. 424, 8/02
42h, 34/1) с присоединением заявки М
Приоритет
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
G 02c)
У, i, К 535.854:531.717.82:
:535.41 (088.8) Опубликовано 11.Х.1966. 1)!Оллстсиь М 19
Дата опубликования описания 3.Х.)9бб г4 .Стл
Авторы изобретения
В. П. Линник и 1О. В. Коломийцов
Заявитель
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОПРОФИЛОМЕ 1 Р
Известны интерференционные микропрофилометры для контроля профиля поверхности в заданном сечении, выполненные в виде микропрофиловlе1ра Линникя, Опти (ескя5! система кОтОр010 !тросктирует изображение у3icoll щели на контролируемую поверхность и на эталонную поверхность, представляющую собой двойное зеркало с двугранным прямым углом, и передаст через цилиндрическую линзу расширенное изображение щели в окуляр л(икр()интсрфсромстра. Однако эти приборы пе да1оТ возможности контролировать внутренпис поверхности. Известные микроирофилометры
1О. В. Коломийцова, решающие эту задачу, ИМЕ!ОТ СЛО>КН ) iO ОПТИ<(ЕСКУ(0 СХС»(У, ITO 3 Предло>кенный микропрофилометр отличается от известных тем, что, имея несложную оптическую систему, позволяет контролировать профиль внутренних поверхностей. Это достигается тем, что он снабжен наконечником с размещенной в нем призмой, сопряженной с объективом, проектирующим изображение щели на контролируемую поверхность. Ия черте>ке приведена принципиальная cxe(1 <1 ОI!! (СI>! ВЯ С.>! ОГО 11РИООРЯ. ,. ) Я М 110 1 КI(Нк с н н у (О в ф О к я, I I> H 0 I I I c! 0 II300p«i>I<(HIIC 11(C II! !30 1Н311 реб));(H p! !3! 151PT ИОЛМЧИТЬ ИНТ j)(J)C)PCHI;IIAHHI>10 i!(), IOCI)! ТР< . бусмой ширины. Пу п<и 1учс(1, Отря>lсенныс От Гране>! (призмы 1! и от контролируемой поверхности 10, ВНОВЬ СОСДИНЯIОТС51 П.IЯСТПНОЙ д П 1 Oil
20 зрительную трубу, состоящую из сбъ< ктива 12, 01<1 ля j) H 1«) и Б1>и<лlочяlо!цейс я !(fi I liH (!) П>1< ci<0l1 IttH3l>1 14. При Hi>! I(!10
ИОл(зрсниfl 01 >> ляp". Пи;цtl>i;i,в ))5!(,1 ИРОфп,!!> I! )I)C)). НО(ТИ,((ТЯ. IИ ) () И,(<) II> CIlj)0(i;ÒI)))()I3
30 Д"i!I ),10<)cT!3«< рЯ00 ГI! и иолучспия точных результатов измерения существенно, что I3cc 187320 CocT: Hèòñëü Л. А. Калгобакина Текред T. П. Курилко Корректоры: Л. Е. Марисич и С. Н. Соколова Редактор Н. Коган Заказ 3363y i6 Тираж 2725 Формат буки 60 90 /, Обьсгк 0,16 изд. л. Подписное ЦН11ИПИ Комизста по делам изобретений и открытий при Совстс Министров CCCIа Москва, Цен гр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 интерференционные полосы имеют одинаковую ширину независимо от радиуса кривизны контролируемой поверхности, причем ширину полос можно регулировать перемещением зеркала 11 или объектива 4 перпендикулярно к оптической оси. Методика измерения высоты неровностей на поверхности не отличается от известной методики, используемой при работе с микроинтерферометрами. Предмет изобретения Интерференционный микропрофилометр для контроля профиля поверхности в заданном ее сечении, выполненный в виде микропрофилометра Линника с оптической системой, проектиру1ощей изображение узкой щели на контролируемую поверхность и на эталонную поверхность, представляющую собой двугранное зеркало, и передающей через цилиндрическую линзу расширенное изображение щели в окуляр микроинтерферометра, отличающийся тем, что, с целью контроля профиля внутренних поверхностей, он снабжен наконечником с размещенной в нем призмой, сопряженной с объективом, проектирующим изображение щели на контролируемую поверхность.