Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей
180376
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик с
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 4211, 34/11
Заявлено 08.l l.1965 (№ 941902/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21.III.1966. Бюллетень № 7
Дата опубликования описания 5Л .1966 йомитет по делам изобретений и открытиЯ при Совете Министров
СССР
МПК G 02d
УДК 535.853.4 (088.8) Автор изобретения
Ю. П. Контиевский
Заявитель
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ
ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕИ
Известны интерферометры для контроля качества плоских оптических поверхностей по измерению искривлений полос равной толщины посредством двухлучевой интерференции, содержащие осветительную и наблюдательную системы.
Предлагаемый интерферометр отличается от известных тем, что между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную поверхность, введена призма Дове, главное сечение и отражающая грань которой параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.
Призма Дове установлена на направляющие, которые обеспечивают ее прямолинейное перемещение в двух взаимно перпендикулярных направлениях, параллельных плоскости контролируемой поверхности.
Направляющие снабжены отсчетным устройством для измерения величины перемещения.
Контроль качества поверхности производят по измерению стрелок искривления полос равной толщины, которые ориентируют таким образом, чтобы их направление совпало с направлением перемещения призмы Дове, перпендикулярным ее главному сечению.
Высокая точность наводки на интерференционную полосу достигается нониальным совмещением двух взаимно повернутых частей изображения полосы. Кроме того, точность наводки удваивается благодаря тому, что при перемещении призмы Дове в направлении плоскости ее главного сечения наблюдаемая через призму часть изображения полосы перемещается на величину, вдвое большую величины перемещения призмы.
10 Предлагаемый интерферометр позволяет измерять стрелки искривления полос равной толщины с точностью до 0,005 полосы в любой части проверяемой поверхности.
Схема предлагаемого интерферометра пред15 ставлена на чертеже.
Свет от источника 1 монохроматического излучения конденсором 2 проектируется в полость диафрагмы 8, которая расположена в фокальной плоскости объектива 4. Параллель20 ный пучок лучей, вышедший из объектива, проходит через контролируемую 5 и эталонную б поверхности. Отраженные от этих поверхностей лучи интерферируют между собой, образуя полосы равной толщины, которые на25 блюдаются через окуляр, помещенный за диафрагмой 7, расположенной в фокальной плоскости объектива 4. Светоделительная пластина 8 направляет лучи в окуляр. Между объективом 4 и контролируемой поверх30 ностью 5 введена призма 9 Дове, главная
180376
Предмет изобретения
Составитель И. "пебосклонова
Редактор В. Сорокин Техред А. А. Камышникова Корректоры: Л. Е. Марисич и Ю. М. Федулова
Заказ 95li9 Тираж 850 Формат бум. 60 90 /з Объем 0,16 изд. л. Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр, Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 плоскость и отражающая грань которой параллельны оптической оси объектива 4.
Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, содержащий осветительную и наблюдательную системы, отлнчаloï1ïéñë тем, что, с целью повышения точности контроля, между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную поверх5 ность, введена призма Дове, главное сечение и отражающая грань которой параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.
