Устройство для полирования плоских поверхностей

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено ЗО.Х1.1964 (№ 931523/25-8) с присоединением заявки №

Приоритет

Кл. 67а, 13

МПК В 24b

Комитет по делам изобретений и открытий

RpH 00 8 e МННМСТр0В

",ССР

УДК 621 923 7 06-408 62 (088.8) Опубликовано 17.Х1.1966. Бюллетень № 23

Дата опубликования описания 23.XII.19áá

Л вторы изобрстсния

Ф. Х. Набиуллин, Е. М. Герцик и Б. В. Марфии

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛИРОВАНИЯ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Известны устройства для полирования плоских поверхностей, содержащие полировальные диски, вращающийся стол с вакуумными присосами и механизмы подачи и съема. В них стол вращается до тех пор, пока с обрабатываемых деталей не снимется определенный припуск, затем он останавливается и детали разгружаются.

Предлагаемое устройство отличается тем, что полировальные диски установлены вдоль направления движения заготовок, удерживаемых вакуумными присосами, Это устройство позволяет полировать заготовки в различных направлениях в процессе транспортирования без остановки стола. Кроме того, вакуумные присосы имеют полость, соединенную с двумя каналами, один из которых постоянно, а другой периодически связаны с вакуум-насосом, и подпружиненный в осевом направлении клапан, перекрывающий канал, постоянно связанный с вакуум-насосом при отсутствии заготовки и открывающий его в момент соединения другого канала с вакуум-насосом при наличии заготовки в позиции загрузки.

Описываемое устройство изображено на фиг, 1; вакуумный присос — на фиг. 2.

Основными узлами устройства являются роторы 1 и 2, шпиндели 3 полировальных дисков 4, вращающийся стол б, питатель 6, механизм 7 подачи и механизм 8 съема отполированных заготовок.

Устройство работает следующим образом.

Заготовки загружают в питатель, установленный над столом так, что между его поверхностью и питателем имеется зазор, равный двум

5 толщинам заготовок и прикрытый резиновым клапаном, предназначенным для предотвращения произвольного выхода заготовок.

Поштучная выдача заготовок осуществляется вакуумными присосами, расположенными с

10 заданным шагом по окружности стола.

Вакуумные присосы имеют полость 9, соединенную с двумя каналами 10 и 11 (один из них постоянно, а другой периодически связаны с вакуум-насосом), и подпружиненный в

15 осевом направлении клапан 12, перекрывающий за счет усилия пружины 18 канал 10.

При прохождении вакуумного присоса под питателем канал 11 на мгновение соединяется с вакуум-насосом. Если заготовка находится

20 в полости 9, создается разрежение и клапан

12 перемещается вверх. Заготовка присасывается и извлекается из питателя. При отсутствии заготовки в питателе клапан остается в нижнем положении и выходное отверстие ка25 нала 10 закрыто; то же наблюдается, когда заготовка расколота.

Заготовки, закрепленные на вакуумных присосах, при повороте стола ротора 1 попадают под быстро врашающиеся диски 4, на поверх=

30 ность которых наносится алмазная паста. Направление полирования заготовок непрерывно

18S326 меняется, так как они проходят под центрами полировальных дисков.

После прохождения заготовки под всеми полировальными дисками механизм подачи захватывает освобожденную вакуумным присосом заготовку и переносит ее на соответствующий вакуумный присос. Дальнейший цикл 10 аналогичен описанному. По окончании полирования заготовки захватываются вакуумными головками механизма съема и сбрасываются в тару.

Описанное устройство обеспечивает качественное полирование деталей за период прохождения их под полировальными кругами.

Предмет изобретения

l. Устройство для полирования плоских поверхностей, например заготовок полупроводпиковых материалов, содержащее полировальные диски, вращающийся стол с вакуумными присосами и механизмы подачи и съема, отличающееся тем, что, с целью полирования заготовок в различных направлениях в процессе траьспортирования, полировальные диски установлены вдоль направления движения заготовок, удерживаемых вакуумными присосами.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что вакуумные присосы имеют полость, соединенную с двумя каналами, один из которых постоянно, а другой периодически связаны с вакуум-насосом, и подпружиненный в осевом направлении клапан, перекрывающий канал, постоянно связанный с вакуум-насосом при отсутствии заготовки и открывающий его в момент соединения другого канала с вакуумпасосом при наличии заготовки в позиции загрузки

189326

Составитель Т. Ермакова

Редактор Л. М. Жаворонкова Техред Т. П. Курилко Корректоры; С. Н. Соколова и Г. E. Опарина

Заказ 3890)11 Тираж 1425 Формат бум. 60р, 90 /ь Объем 0,27 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д, 4

Типография, пр. Сапунова, 2