Источник возбуждения тлеющего разряда

 

Использование: в области спектральных методов анализа. Сущность изобретения: источник возбуждения содержит анод 1, катодный узел 2, узел для размещения образцов 3, выполненный в виде дисковой обоймы 4 и жестко связанного с ней штока 5, кожух 6, прижимные захваты 8, направляющие 9. Герметичность соединения между кожухом 6 и штоком 5, а также между кожухом и штоком осуществляется с помощью уплотнительных прокладок 7 и 11. По завершению анализа одного образца при выключенном напряжении питания переход к анализу другого образца осуществляют поворотом штока 5 с обоймой 4. 1 с.п.ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!)5 Н 01 J 37/32

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ

I QQ С

G3

О

QQ (21) 4697320/21 (22) 02.06,89 (46) 23.03.93. Бюл. N. 11 (71) Отраслевой научно-технический комплекс Союзцветметавтоматика (72) С.В.Баранов, В.Н.Петрушенко, Г.M,Êîчуров, Ю.М.Садагов и В.С.Федоров (56) Проспект фирмы Жобен Ивон, %326601 .

Проспект фирмы Labtegt Equipment

Company Gloscan, Model 300, 1978, (54) ИСТОЧНИК ВОЗБУЖДЕНИЯ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

„„Я2„„1803938 А1 (57) Использование: в области спектральных методов анализа. Сущность изобретения: источник возбуждения содержит анод 1, катодный узел 2, узел для размещения образцов

3, выполненный в виде дисковой обоймы 4 и жестко связанного с ней штока 5, кожух 6, прижимные захваты 8, направляющие 9. Герметичность соединения между кожухом 6 и штоком 5, а также между кожухом и штоком осуществляется с помощью уплотнительных прокладок 7 и 11. По завершению анализа одного образца при выключенном напряжении питания переход к анализу другого образца осуществляют поворотом штока 5 с мой 4, 1 с,п.ф-лы, 1 ил.

1803938

Изобретение относится к области спектральных методов анализа, в частности, к газоразрядным приборам и предназначено для применения в различных аналитических спектрофотометрических устройствах.

Цель предполагаемого изобретения— увеличение экспрессности анализа путем сокращения времени, связанного с подготовкой источника при замене исследуемых образцов.

Предлагаемое изобретение поясняется чертежом, на котором изображена конструкция лампы тлеющего разряда, Источник возбуждения содержит анод

1, плиту — основание катодного узла 2, узел для размещения сменных образцов 3, выполненный в виде подпружиненной дисковой обоймы 4, установленный на основании катодного узла 2 и жестко связанного с ней штока 5. Замкнутое пространство вокруг обоймы 4 создается за счет охватывающего ее кожуха 6, причем кожух имеет центральное отверстие, через которое выходит перемещающий обойму 4 шток 5, при этом герметичность соединения между ними обеспечивается вакуумным уплотнителем 7.

Кожух к основанию катодного узла 2 прижимается пружинным захватом 8, свободно перемещающимся по направляющей 9, которая шарнирно закреплена на основании катодного узла шарниром 10, Между кожухом 6 и основанием катодного узла 2 размещается уплотнительная прокладка 11, представляющая собой тороидальное кольцо из вакуумной резины, установленное в соответствующее его профилю углубление.

Дисковая обойма 4 к основанию катодного узла 2 прижимается при помощи пружины

12, установленной между кожухом 6 и обоймой 4, соосно с ее штоком 5, проходящим внутри пружины 12. Между анодом 1 и исследуемым образцом создается тлеющий разряд. Излучение источника регистрируется через кварцевое окно 13.

Источник возбуждения работает следующим образом, Для установки исследуемых образцов 3 в гнезда дисковой обоймы 4 необходимо открыть кожух 6, При этом система первоначально должна быть разгерметизирована. Затем отводится захват 8, свободно перемещающийся по направляющей 9 с шарнирным закреплением

10, а потом и сам кожух 6, совмещенный с захватом, перемещающимся по направляющей 9, с шарнирным соединением 10. После замены исследуемых образцов кожух 6 возвращается в первоначальное положение и фиксируется противоположным по отношению к образцу захватом 8. Штоком поворота устанавливается нужный образец в рабочее

50 положение для проведения анализа. Затем из лампы и пространства под кожухом откачивается воздух и заполняется инертным газом нужного давления. После этого лампа готова к проведению анализа.

По завершению анализа одного исследуемого образца при выключенном напряжении питания производится переход от одного образца к другому путем поворота штока 5 и установки нового исследуемого образца в рабочее положение. Таким образом экономится время, необходимое для замены исследуемых образцов и подготовки источника к работе.

Сопоставительный анализ с прототипом показывает, что заявляемая конструкция источника возбуждения отличается тем, что она снабжена кожухом с центральным осевым отверстием, дополнительными прижимными захватами, узлом для размещения образца, выполненным в виде подпружиненной дисковой обоймы, установленной на основании катодного узла, и жестко связанного с ней штока. смонтированного с возможностью осевого поступательного и поворотного движения. Причем кожух установлен соосно со штоком с зазором относительно обоймы, а прижимные захваты установлены с возможностью поступательного перемещения в направлении, параллельном оси штока, в направляющих, шарнирно закрепленных на основании катодного узла и подпружиненных в осевом направлении, Одна из уплотнителных прокладок выполнена в виде кольца из вакуумного эластичного материала, размещена между кожухом и основанием катодного узла, а другая — между кожухом и штоком.

Использование предлагаемого источника возбуждения позволяет существенно снизить общее время, необходимое для проведения анализа одного образца, за счет снижения времени подготовки при их замене. Уменьшение времени оценивается из выражения; с=2 х п(мин) где t — уменьшение времени, n — количество образцов в обойме.

На основании изложенного можно сделать вывод, что предложенное техническое решение соответствует критерию "существенные отличия", Формула изобретения

1, Источник возбуждения тлеющего разряда, содержащий анод, катодный узел, узел крепления образцов, прижимное устройство, отличающийся тем, что, с целью повышения экспрессности и расширения функциональных возможностей, узел

1803938

20

30

40

50

Составитель С, Баранов

Техред М.Моргентал Корректор 3. Салко

Редактор

Заказ 1058 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 крепления образцов выполнен в виде дисковой обоймы с гнездами для крепления образцов, расположенными по окружности с возможностью вращательного и поступательного движения вдоль оси, проходящей через центр указанной окружности, причем дисковая обойма подпружинена со стороны крышки, имеющей разъемное вакуум-плотное соединение с катодным узлом и снабженной узлом для передачи поступательного и вращательного движения дисковой обойме.

2. Источник по п.1, отл ича ю щи йс я тем, что катодный узел снабжен фиксирующими элементами для прижима крышки к катодному узлу, состоящими из шарнирно закрепленных в основании катодного узла штоков с прижимными захватами с возмож5 ностью поступательного движения вдоль оси штоков, и подпружиненных в направлении катодного узла.

3. Источник по п.1, отличающийся тем, что узел для ввода поступательного и

10 вращательного движения дисковой обоймы выполнен в виде штока, жестко связанного с дисковой обоймой и проходящего через кольцевое уплотнение в отверстии крышки.

Источник возбуждения тлеющего разряда Источник возбуждения тлеющего разряда Источник возбуждения тлеющего разряда 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к испытательной технике и предназначено для использования при исследованиях диэлектрической прочности газовой изоляции высоковольтных установок

Изобретение относится к области плазменных технологий и может быть использовано для вакуумно-плазменной обработки материалов в микроэлектронике

Изобретение относится к устройству для плазменной обработки полупроводниковых пластин, а более конкретно - к устройству для зажима электрода, в котором электрод упруго зажимают в опорном узле

Изобретение относится к способу и устройству для получения плазмы электрического дугового разряда и для ее использования при нанесении покрытий на подложку

Изобретение относится к области электротехники, в частности к системам технологической обработки полупроводниковых пластин путем плазменного травления
Наверх