Устройство для натяжения алмазного круга с внутренней режущей кромкой

 

Изобретение относится к полупроводниковой технике, к механической обработке материалов и может быть использовано для подготовки технологического оборудования peiiKH монокристаллов на пластины с помощью алмазных кругов с внутренней режущей кромкой. Сущность изобретения: устройство для натяжения алмазного круга включает средство для механического натяжени.я корпуса круга с помощью натяжения болтов, датчик измерения радиальных биений режущей кромки. Кроме того, оно снабжено регистрирующим прибором с синхронной следящей дистанционной системой передачи углового перемещения алмазного круга на регистрирующий прибор и .средством передачи на регистрирующий прибор значений радиальных перемещений режущей кромки при натяжении алмазного круга дискретно каждому натяжному болту. Регистрирующий прибор выполнен совместно со средством изображения полного профиля режущей кромки. 2 ил. ё

сОюз сОветских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (2 1J 5018102/08 (2 24.12.91 (4 30,08,93, Бюл. М 32 (7 А,Н,Кривошлыков и В.В,Рогов (5 Запорожский В.п. и др, Обработка полу роводниковых материалов, M.: "Высшая школа", 1988, с. 38.

"Синтетические алмазы", 1979, М 1, с. 0 — 12. ! (54I УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАТЯЖЕНИЯ АЛМ .ЗНОГО КРУГА С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩ Й КРОМКОЙ (5 Изобретение относится к полупроводни овой технике, к механической обработке ма ериалов и может быть использовано для по готовки технологического оборудования ре ки монокристаллов на пластины с по Изобретение относится к полупроводни овой технике, к механической обработке ма ериалов, и может быть использовано для по готовки технологического оборудования ре ки монокристаллов на пластины с помо ью алмазного круга с внутренней режущей кромкой.

Целью изобретения является высокото ное получение требуемой формы профиля ежущей кромки алмазного круга. На фиг,1 показана принципиальная схема устройства; на фиг.2 — профиль режущей кр мки алмазного круга, подготовленный дл резки с помощью этого устройства (о значения приведены ниже).

Устройство для натяжения содержит к пус 1 алмазного круга с внутренней реж ей кромкой 2, группу натяжных болтов

3 асположенных на барабане станка реэ<н>ю В 24 0 5/12, 18/00 мощью алмазных кругов с внутренней режущей кромкой. Сущность изобретения: устройство для натяжения алмазного круга включает средство для механического натяжения корпуса круга с помощью натяжения болтов, датчик измерения радиальных биений режущей кромки. Кроме того, оно снабжено регистрирующим прибором с синхронной следящей дистанционной системой передачи углового перемещения алмазного круга на регистрирующий прибор и средством передачи на регистрирующий прибор значений радиальных перемещений режущей кромки при натяжении алмазного круга дискретно каждому натяжному болту.

Регистрирующий прибор выполнен совместно со средством изображения полного профиля режущей кромки. 2 ил, ки, датчик 4 измерения радиального биения режущей кромки, регистрирующий прибор

5 в виде синхронной следящей дистанционной системы регистрации углового перемещения. Регистрирующий прибор состоит из передачи углового перемещения круга сельсин-датчик 6 и сельсин-приемник 7, средства 8 передачи значений радиального перемещения кромки, электронного блока 9 усиления и преобразования электрических сигналов. Устройство снабжено прибором графического изображения профиля режущей кромки в виде самописца 10 с диаграммой в полярных координатах.

Устройство работает следующим образом, На станке резки "Алмаз-6М", оснащенном средством механического натяжения алмазного круга с внутренней режущей

1838087 кромкой, на барабане устанавливают круг 1, закрепляют датчик 4 измерения радиального биения режущей кромки и сельсин-датчик 6 синхронной следящей дистанционной системы передачи углового перемещения круга. Осуществляют натяжение алмазного круга ", помощью болтов 3. При включенном регисгрирующем приборе 5 при натяжении и поворотс круга на самописце 10 фиксируют в масштабе профиль режущей кромки 2, При этом дискретно количеству натяжных болтов 3 можно у каждого болта оценить отклонение от идеальной окружности режущей кромки и провести корректировку величины радиального биения, добиваясь минимального в пределах 5 — 10 мкм отклонения, Используя связи 4-8-9 и 6-7-9, путем

=-атяжки болтов через один добиваются образования режущей кромки 2 в виде вершин

11 и впадин 12 (см. фиг,2), например, с перепадом высот в 20 — 50 мкм. Автоматически требуемая форма профиля режущей кромки в масштабе изображается в полярных координатах на самописце 10, что подтверждает высокую точность наладки оборудования.

Датчики 4 и 6 снимают со станка, отключают прибор 5 и выполняют резку монокристаллов на пластины.

Эффективность применения устройства заключается в возможности активного контроля натяжения алмазного круга и точного создания требуемого (по заданию) формы профиля режущей кромки, что позволяет повысить стойкость алмазного круга, улучшить подвод смазочно-охлаждающей жидкости и обеспечить высокое качество отрезаемых пластин за счет целенаправленного выбора при натяжении круга рабочих участков режущей кромки (вершин 11 на фиг,2).

Формула изобретения

Устройство для натяжения алмазного круга с внутренней режущей кромкой, включающее узел натягивания и датчик измерения радиального биения режущей кромки круга,отл и ч а ю щ ее с я тем,что

20 устройство дополнительно снабжено синхронной следящей дистанционной системой регистрации углового перемещения круга, связанной с датчиком измерения радиального биения режущей кромки круга и прибором графического изображения профиля внутренней режущей кромки.

1838087 едактор Л.Народная

Составитель B,Ðoãoâ

Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор М.Максимишинец

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 аказ 2889 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5