Способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости

 

Изобретение относится к контролю испытаний полупроводниковых приборов и может быть использовано при отбраковке светодиодов по радиационной стойкости для радиоэлектронной аппаратуры, работающей в условиях воздействия ионизирующих излучений. Цель изобретения - осуществление возможности неразрушающей отбраковки потенциально нестойких диодов на основе корреляции температурных и радиационных изменений интенсивности излучения светодиодов. Для этого определяют изменение интенсивности излучения, измеренной при нормальной и максимально допустимой рабочих температурах, а затем используют ее в качестве информативного параметра при отбраковке по радиационной стойкости. 1 табл.

Изобретение относится к испытаниям полупроводниковых приборов, а именно к способам прогнозирования их надежности и может быть эффективно использовано при отбраковке светодиодов по радиационной стойкости (РС) в процессе производства и при комплектации радиоэлектронной аппаратуры, работающей в условиях воздействия ионизирующих излучений.

Известен способ отбраковки потенциально ненадежных светодиодов по информативным параметрам: падению напряжения при малых токах и изменению интенсивности излучения после испытаний светодиодов в течение 50 ч под термотоковой нагрузкой [1] Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ отбраковки по РС полупроводниковых приборов и интегральных схем, основанный на измерении параметров приборов до и после облучения электронами или гамма-квантами с последующей отбраковкой тех приборов, информативные параметры которых испытали максимальные изменения. Остальные приборы подвергают термическому отжигу радиационных дефектов с целью восстановления их параметров [2] Недостатком данного способа является его разрушающее воздействие на испытываемые приборы. Для светодиодов термический отжиг неприменим вследствие высокой температуры отжига радиационных дефектов в полупроводниках А3В5 (выше 200оС), при которой наступает разрушение светодиодов. Исключение операции термического отжига нежелательно из-за больших остаточных радиационных изменений параметров светодиодов.

Целью изобретения является обеспечение возможности неразрушающей отбраковки светодиодов по радиационной стойкости.

Указанная цель достигается тем, что определяют разность значений интенсивности излучения, измеренных при нормальной и максимально допустимой температурах, а затем используют ее в качестве информативного параметра. Нормальной температурой принято считать 20оС, а максимально допустимой для светодиодов согласно техническим условиям является 80оС. Указанная корреляция температурных и радиационных изменений параметров светодиодов была обнаружена и исследована экспериментально. Ее физической основой является увеличение скорости безизлучательной рекомбинации носителей заряда на дефектах в активной области светодиодной структуры. Однако при воздействии радиации изменения интенсивности излучения необратимы, в то время как температурные изменения полностью обратимы (если температура не превышает предельно допустимую), поэтому предлагаемый способ отбраковки по РС является неразрушающим.

Таким образом, предлагаемый способ позволяет классифицировать светодиоды по РС путем контроля информативного параметра-изменения интенсивности излучения светодиодов при температурах 20 и 80оС на промежуточных операциях, до резки пластин на кристаллы и сборки светодиодов, что исключает затраты на выполнение последующих технологических операций для отбраковки светодиодов.

П р и м е р. Светодиоды типа АЛ307А на основе GaAlAs в количестве N 20 шт. после измерения интенсивности излучения и вольтамперных характеристик подвергают гамма-облучению на изотопной установке 60Со в пассивном состоянии, при нормальной температуре, при мощности дозы 500 Р/с.

После облучения светодиодов дозами от 105 до 107Р проводилось повторное измерение параметров.

В процессе обработки результатов рассчитывают следующие величины: температурные изменения интенсивности излучения светодиодов при токе 10мА: Iт Io(20oC) Io(80oC) как разность значений интенсивности Io, измеренных при температурах 20 и 80оС соответственно; радиационные изменения интенсивности излучения светодиодов при токе 10мА: Ip Io I(D) как разность значений интенсивностей, измеренных при 20оС до [Io] и после [I(D)] гамма-облучения соответственно; коэффициент парной линейной корреляции величин, где х Iт и y Ip, определяют по формуле В качестве критерия радиационной стойкости светодиодов принимают 50%-ное снижение интенсивности излучения. Наиболее близкой к такому изменению средних значений будет доза гамма-излучения I 106P, при которой = 0,8.

При этой дозе корреляционную зависимость y от х можно аппроксимировать уравнением регрессии: y 5 + 2х. При 35,5 ()0,5= 18, что соответствует ()0,5 6,5.

После отбраковки светодиодов с ( Iт) 6,5 из оставшихся 10-ти светодиодов у девяти ( Ip) 18 и только у одного светодиода ( Ip) 20, т.е. составляет 55% от среднего значения первоначальной величины.

Пример иллюстрируется чертежом.

В таблице приведены результаты измерений и расчетов. Значения интенсивности излучения светодиодов и их изменений приведены в единицах тока (мкА) фотодиода ФД-24к, с помощью которого измеряли интенсивность излучения, пропорциональную фототоку ФД-24к в широком диапазоне значений.

Формула изобретения

СПОСОБ ОТБРАКОВКИ СВЕТОДИОДОВ ПО РАДИАЦИОННОЙ СТОЙКОСТИ, включающий облучение партии светодиодов различными дозами -излучения, измерение информативных параметров светодиодов до и после воздействия g -излучения и отбраковку светодиодов на основании изменения информативных параметров светодиодов, отличающийся тем, что, с целью обеспечения неразрушающей отбраковки, в качестве информативного параметра измеряют интенсивность излучения светодиодов, предварительно на градуировочной партии светодиодов устанавливают корреляционную зависимость между изменением интенсивности излучения под действием g -излучения и изменением интенсивности при изменении температуры от нормальной до максимально допустимой рабочей температуры, а отбраковку светодиодов производят, используя полученную зависимость.

РИСУНКИ

Рисунок 1



 

Похожие патенты:
Изобретение относится к контролю параметров полупроводниковых материалов и может быть использовано для определения неоднородности кристаллов узкозонных полупроводниковых материалов с изотропно распределенными неоднородностями и одним типом носителя

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля осаждения резистивных пленок при изготовлении плат микросхем, микросборок и пленочных резисторов

Изобретение относится к полупроводниковой технологии и может быть использовано в производстве полевых транзисторов с барьером Шотки при измерении толщин субмикронных слоев арсенида галлия n-типа на полуизолирующей подложке

Изобретение относится к контролю электрофизических параметров и может быть использовано для исследования и контроля параметров полупроводниковых материалов и гетероструктур и позволяет расширить класс исследуемых структур за счет МДМ и p+-i-n+-структур, емкость которых не зависит от напряжения смещения и от зарядового состояния ловушек, а также повысить чувствительность измерений и упростить схемную реализацию способа

Изобретение относится к полупроводниковым приборам и может быть использовано в технологии одно- и многоэлементных (линейчатых и матричных) пpиборов на основе узкозонных полупроводников с высокими электрофизическими параметрами

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для контроля толщины слоев при производстве полупроводниковых приборов

Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов, может быть использовано при производстве мощных СВЧ-транзисторных структур со стабилизирующими эмиттерными резисторами

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к установкам зондового контроля структур микроэлектроники

Изобретение относится к функциональным измерениям полупроводниковых приборов и может быть использовано при оптимизации электрофизических параметров элементной базы мощных высокочастотных тиристорных генераторов, а также при конструировании и испытаниях новых типов мощных быстродействующих тиристоров

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для контроля и измерения критических значений прямого тока силовых полупроводниковых приборов (СПП)

Изобретение относится к полупроводниковой электронике и может быть использовано для оценки качества диэлектрических слоев на поверхности полупроводниковых структур, имеющих p-n-переход

Изобретение относится к контрольно-измерительной и информационной технике и может быть использовано для приема и передачи дискретной информации при контроле полупроводниковых приборов, в том числе дистанционном контроле, например для контроля высокочастотных транзисторов, вмонтированных в схему, а также для информационного обмена между объектами

Изобретение относится к полупроводниковой электронике и может быть использовано, в частности, для контроля качества транзисторов и транзисторных структур на различных этапах технологического цикла с целью раннего выявления приборов (транзисторных структур) с повышенным значением коэффициента шума на рабочей частоте

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения надежности и качества полупроводниковых приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может найти применение в электронной технике для измерения напряжений на диэлектрике и полупроводнике, а также их временного изменения в МДПДМ-структурах
Наверх