Зеркало для лазеров
Авторы патента:
Использование: в технической физике, в частности в устройствах зеркал для лазера. Сущность изобретения: зеркало для лазера содержит подложку и нанесенное на нее многослойное диэлектрическое покрытие с защитным слоем из двуокиси кремния, оптическая толщина которого равна полуволне излучения. На защитный слой нанесен буферный слой тугоплавкого прозрачного материала с оптической толщиной в 2 - 3 длины волны излучения. 2 ил.
Изобретение относится к технической физике, а именно к зеркалам, используемым в лазерной технике.
Известно диэлектрическое зеркало, состоящее из перемежающихся слоев двуокисей кремния и титана, нанесенных на подложку, и нанесенного на зеркало защитного слоя из двуокиси кремния с оптической толщиной /2, где длина волны излучения [1] Недостатком данного зеркала является малая лучевая прочность. Наиболее близким к изобретению является лазерное зеркало из многослойного покрытия из перемежающихся слоев с низким и высоким коэффициентами преломления, нанесенного на подложку и на многослойное покрытие слоя из двуокиси кремния с оптической толщиной /2 [2] Недостатком этого зеркала является малая лучевая прочность, связанная с нагревом внешних слоев покрытия и защитного слоя из двуокиси кремния при поглощении в них части проходящего лазерного излучения, их дальнейшего расплава и выхода зеркала из строя. Также при попадании пылевой частицы на зеркало, во время воздействия лазерного излучения, частица нагревается и создается локальная зона расплава защитного слоя покрытия и внешнего слоя покрытия, которая при дальнейшем воздействии излучения расширяется и приводит к выходу из строя зеркала. Это воздействие имеет интегральный эффект и резко влияет на долговечность зеркала. Техническая задача изобретения повышение лучевой прочности зеркала для лазеров. Техническая задача достигается тем, что в зеркале для лазера, состоящего из многослойного диэлектрического покрытия, нанесенного на подложку и защищенного защитным слоем из двуокиси кремния, на защитный слой наносится буферный слой из тугоплавкого прозрачного материала с оптической толщиной 2-3 . На фиг. 1 показано зеркало для лазеров; на фиг. 2 экспериментальная зависимость улучшения лучевой прочности от толщины слоя, где Ео лучевая прочность зеркала без буферного слоя; Е лучевая прочность зеркала с буферным слоем толщиной ,; оптическая толщина буферного слоя. На фиг. 1 показана подложка 1, например из кварца, многослойное диэлектрическое покрытие 2, слои 3, например из двуокиси кремния с оптической толщиной /4; слои 4, например из двуокиси циркония с оптической толщиной /4; защитный слой 5 из двуокиси кремния с оптической толщиной /2; буферный слой 6, например из окиси алюминия или двуокиси кремния, с оптической толщиной 2-3 . При воздействии импульса лазерного излучения он частично поглощается во внешних слоях диэлектрического покрытия, остальная часть отражается. Тепло, выделившееся в результате поглощения излучения во внешних слоях, нагревает их и с помощью теплопроводности в малой части поглощается в защитном слое, при этом основная часть тепла поглощается в буферном слое, который разогревается, но задерживает расплав защитного слоя и внешних слоев диэлектрического покрытия и выход зеркала из строя. В случае попадания пылевой частицы на поверхности зеркала при воздействии излучения частица нагревается и создается зона локального разогрева и расплава буферного слоя. Так как буферный слой выполнен из тугоплавкого материала, то локальный разогрев и расплав не достигает защитного слоя и отражающего диэлектрического покрытия за время импульса, покрытие не разрушается и зеркало сохраняет свою работоспособность. Толщина буферного слоя выбрана экспериментально из условий максимального количества тепла, которое может поглотиться в буферном слое, и снижения лучевой прочности из-за накопления дефектов нанесения буферного слоя на зеркало. Таким образом, нанесение буферного слоя из тугоплавкого прозрачного материала с оптической толщиной 2-3 на зеркало для лазера позволяет повысить в 4,5 раза лучевую прочность зеркала за счет улучшения теплового режима работы отражающего многослойного диэлектрического покрытия (см. фиг. 2). Предлагаемое зеркало для лазеров обладает большой лучевой прочностью, большой устойчивостью к атмосферным воздействиям, а также большой долговечностью в работе.Формула изобретения
ЗЕРКАЛО ДЛЯ ЛАЗЕРОВ, содержащее подложку и нанесенное на нее многослойное диэлектрическое покрытие с защитным слоем из двуокиси кремния, оптическая толщина которого равна полуволне излучения, отличающееся тем, что на защитный слой нанесен буферный слой из тугоплавкого прозрачного материала с оптической толщиной в 2 3 длины волны излучения.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2
Похожие патенты:
Изобретение относится к квантовой электронике
Изобретение относится к квантовой электронике
Изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано для оптической связи, в измерительной технике и лазерной медицине
Изобретение относится к лазерной технике
Изобретение относится к лазерной технике и может быть использовано в оптической связи, приборостроении и измерительной технике
Моноблочный кольцевой лазер // 2045116
Изобретение относится к лазерной технике и может быть использовано в технике оптической связи, спектроскопии и голографии
Усилитель с инжекционным захватом // 2045115
Изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано для создания источников мощного одночастотного излучения с широким диапазоном перестройки частоты генерации
Резонатор газового лазера // 2040089
Изобретение относится к лазерной технике, в частности к конструкции резонаторов лазеров
Многоканальный излучатель // 2035132
Изобретение относится к лазерной технике, а именно к многоканальным лазерным излучателям, включающим размещенные на раме одноканальные излучатели со своими выходными оптическими элементами и устройства сведения и преобразования их лучей
Способ формирования кольцеобразного лазерного излучения и лазерное устройство для его осуществления // 2035099
Изобретение относится к квантовой электронике и позволяет проектировать и изготовлять по электровакуумной технологии дешевые и компактные одно- и многоцветные лазеры, которые могут быть применены в хромометрии, при измерении характеристик оптических активных материалов, в зрелищной и рекламной области, в многоканальных (многоцветных) измерительных системах кольцевых лазерах, системах идентификации, а также производствах, использующих термическую обработку материалов
Мощный твердотельный лазер // 2100881
Изобретение относится к области физики, в частности к квантовой электронике, и может быть использовано в высокоэффективных мощных лазерах, в системах технологической обработки материалов
Излучатель лазера // 2101815
Изобретение относится к твердотельным оптическим квантовым генераторам и может быть использовано при изготовлении лазерной техники
Импульсно-периодический лазер // 2105398
Изобретение относится к области лазерной техники, а более конкретно к области импульсно-периодических лазеров
Газовый моноблочный лазер // 2119218
Изобретение относится к квантовой электронике, в частности к технике газовых лазеров, и может быть использовано при конструировании датчиков лазерных гироскопов
Резонаторная призменная пара // 2129326
Резонатор лазера // 2138108
Изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано в различных конструкциях лазеров
Лазерная система и двухимпульсный лазер // 2144722
Изобретение относится к области квантовой электроники и может быть использовано в качестве излучателя в лидарных системах, спектроскопии жидкостей, газов и твердых тел, двухимпульсной голографической интерферометрии
Изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано в газовых лазерах со складным резонатором