Чувствительный элемент преобразователя инерциальной информации

 

1. Чувствительный элемент преобразователя инерциальной информации, выполненный в виде пластины с поперечной и продольной осями симметрии, содержащей подвижную рамку, неподвижную рамку, упругие перемычки, образующие первую ось вращения и перпендикулярную ей вторую ось вращения подвижной рамки, отличающийся тем, что неподвижная рамка расположена в центральной части пластины, на ее внешней образующей выполнены четыре расположенных под углом 90^o относительно друг друга уступа, прямые образующие которых направлены в сторону внешней части пластины и распространены от точки на радиусе r₁ от центра пластины до точки на радиусе r₂ > r₁ от центра пластины, причем две противоположно расположенные прямые образующие уступов параллельны продольной оси симметрии пластины и расположены относительно друг друга по разные стороны от продольной оси симметрии пластины, две другие противоположно расположенные образующие уступов параллельны поперечной оси симметрии пластины и расположены относительно друг друга по разные стороны от поперечной оси симметрии пластины, подвижная рамка выполнена как внешняя часть пластины с внешней образующей рамки в виде окружности, на внутренней образующей подвижной рамки в местах расположения уступов на неподвижной рамке образованы уступы, прямые образующие которых направлены в сторону центральной части пластины, распространены от точки на радиусе r₃ > r₂ от центра пластины до точки на радиусе r₄ > r₃ от центра пластины и расположены по разные стороны от соответствующей продольной или поперечной оси симметрии пластины по сравнению с прямыми образующими уступов на неподвижной рамке в зависимости от их положения относительно осей симметрии пластины, между каждым уступом на подвижной рамке и отстоящим от него на 90^o уступом на неподвижной рамке между подвижной и неподвижной рамками расположен сегмент с первой прямой образующей, второй прямой образующей, внутренней дугообразной образующей, внешней дугообразной образующей, причем первая прямая образующая сегмента расположена напротив прямой образующей уступа на подвижной рамке параллельно образующей уступа по другую сторону от оси симметрии пластины, параллельно которой расположена прямая образующая уступа на подвижной рамке, вторая прямая образующая сегмента расположена напротив прямой образующей уступа на неподвижной рамке параллельно образующей уступа по другую сторону от оси симметрии пластины, параллельно которой расположена прямая образующая уступа на неподвижной рамке, первая прямая образующая сегмента распространена от точки на радиусе r₅ (r₃ < r₅ < r₄) от центра пластины до точки на радиусе r₆ (r₃ ≅ r₆ < r₅), вторая прямая образующая сегмента распространена от точки на радиусе r₇ (r₁ < r₇ ≅ r₂) от центра пластины до точки на радиусе r₈ (r₁ < r₈ < r₇), внешней дугообразной образующей сегмента соединены точка на сегменте на радиусе r₅ с точкой на сегменте на радиусе r₇, внутренней дугообразной образующей сегмента соединены точка на сегменте на радиусе r₆ с точкой на сегменте на радиусе r₈, внутренняя образующая подвижной рамки выполнена из четырех дугообразных отрезков, каждый из которых распространен от точки на уступе r₄ от центра пластины до точки на следующем уступе на радиусе r₃, внешняя образующая неподвижной рамки выполнена из четырех дугообразных отрезков, каждый из которых распространен от точки на уступе на радиусе r₂ от центра пластины до точки на ближайшем следующем уступе на радиусе r₁, каждая прямая образующая уступа на неподвижной рамке в пределах от точки на радиусе r₅ от центра пластины до точки на радиусе r₆ соединена упругой перемычкой с расположенной напротив нее первой прямой образующей сегмента, каждая прямая образующая уступа на неподвижной рамке в пределах от точки на радиусе r₇ до точки на радиусе r₈ соединена упругой перемычкой с расположенной напротив нее второй прямой образующей сегмента, одна из осей вращения образована осями изгиба упругих перемычек, соединяющих параллельные продольные оси симметрии пластины прямые образующие уступов на подвижной рамке с первыми прямыми образующими сегментов, параллельные продольной оси симметрии пластины прямые образующие уступов на неподвижной рамке с вторыми прямыми образующими сегментов, вторая из осей вращения образована осями изгиба упругих перемычек, соединяющих параллельные поперечной оси симметрии пластины вторые прямые образующие сегментов с прямыми образующими уступов на неподвижной рамке, параллельные поперечной оси симметрии пластины прямые образующие уступов на подвижной рамке с первыми прямыми образующими сегментов, а подвижная рамка, неподвижная рамка, сегменты и соединяющие их упругие перемычки выполнены вместе единым элементом из монокристаллического кремния.

2. Элемент по п.1, отличающийся тем, что на части подвижной рамки, расположенной по одну из сторон одной из осей симметрии пластины, образован груз, центр масс которого расположен на другой оси симметрии пластины.