Способ получения светочувствительных слоев

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетскиз

Социалистическил

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 19.XII.1966 (№ 1120367(23-4) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 12.1111968. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 8Х.1968

К,л. 57Ь, 12/05

57d, 2j0I

МПК G 03с

G 031

УДК 773.71:771.53 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

А1вто ры изобретения

В. Н. Верткина, М. С, Динабург, Б. А, Порай-Кошин, Jl. С. Эфрос и Т. А. Юрре

Заявитель

Ленинградский технологический институт им. Ленсовета

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СЛОЕВ

Изобретение относится,к способам получе:ния светочувствительных слоев, которые могут использоваться для получения рельефных изображений в полиграфической и радиоэлектронной промышленности.

Известно, что светочувствительные слои получают на оанове эфиров нафтохинондиазидсульфокислот с фенолформальдегидными смолами, Та к как в качестве травителей применяют концентрирован ную азотную, плавико1вую,и другие кислоты, важным свойством с веточувствительных слоев должна быть их высокая кислотостойкость. Однако обы|чные эфиры полифенолов, содержащие активные и незанятые заместителями о- и и-,ïîëîæåíèÿ к гидроксильным группам, в этих условиях подвергаются реакциям нитровапия и окисления, в результате чего слои на их основе быстро разрушаются.

Наидено, что стойкость светочувствителыных материалов в условиях травления может быть значительно IIIовышена, если для получения эфиров с нафтохинондиаз идами использовать фенолформальдегидные смолы, в,которых ои п-положения заняты заместителями, обладающими отрицательным индуктивным эффектом, например галогенами. Последние могут быть .введены iB молекулу как с помощью прямого галогенирования готового полифенола, так и путем оинтеза полифенолов из галогенсодержащих исходных продуктов. i?IpH этом слои на ocHo Bе эфиров нафтохинондиазидсульфокислот с бромирован ными поли фенолами

5 ооладают tHB только повышенной кислотостойкостью, но з начительHo cветочувствительностью по сравнению с негалогени рованиыми или х.торированными продуктами.

10 П р и,м е р 1. Получение эфиров 1,2 нафто хинондиазид(2)-5- и 4-сульфокислот и хлорированного новолака № 18.

В раствор 10,6 г хлорированной новолачной смолы № 18 (т. |пл. 91 — 92 С, содержание

15 хлора 18 — 21%) в 120 лтл диоксана вносят

12,6 г 1,2-нафтохи нондиазид (2) -5-сульфохло ° рида (т. пл. 118 — 122 С с разложением) и,прои

40 С в течение 6 — 9 час прибавляют 10%-ный раствор соды до неисчезающей щелочной ре20 акции. Нагревают,при 40 С 2 час, охлаждают до комнатной температуры, разбавляют 120мл ,воды и после пребывания маосы в течение

1 час в охладительной смеси отделяют продукт декантацией. Вязкий продукт затирают с во25 дой IB TQIHiKóþ суспен зию, отфильтровывают, промывают во дой и сушат прои 40 С. Вес 19,2г.

Вещество представляет собой тускло-желтый порошок, легко, растворяется на холоду в диметилформамиде, труднее в диоксане, этил50 целлозолвве, ацетоне, трудно растворяегся В

213576.3 этилацетате, .не растворяется в метиловом, этиловом,,бутиловом апиртах.

Найдено, >/0. .N 5,4; $5,9; Сl 10,4. Степень замещения 45 /О. В аналогичных условиях из 10,6 г хлорирова1н ной новолачной смолы М 18 в 25 мл диокнафтохинондиазид(2) -4-сульфохлорида (т. пл.

142 — 146 С с разложением) получают 19,4 г эфира. Вещество .розовато-желтого цвета, легко растворяется в диметилформамиде, этилацетате, ацетоне, диоысане и этилцеллозольве, не растворяется в метила вам, этиловом,и бутиловом спиртах.

Найдено, : N 5,37; S 6,65; С! 11,9. Степень замещения 45 /о.,П р и меlp 2. |Получение эфира 1,2- нафтохинондиазид (2)-5-сульфокислоты и смолы на основе и-хлорфенола и формальдегида. К раствору 4,7 г емолы из и-хлорфенола iH форма льдегида (мол, в. 1150, содержание хлора 24,3 /о) в 50 мл aiIIeTDIHB при 30 С приливают 31,8 мл

10О/о-ного раствора соды,,поднимают температуру до 40 С и добавляют раствор 7,04 г 1,2нафтохинондиазид (2) -5-сульфохлорида в 70 мл ацетона, выдерживают 50 мик при 40 — 45 С, охлаждают, раз бавляют 120 мл воды и выделившийся .продукт обрабатывают, как описано в |примере 1. Вес 8,5 г. Продукт желтого цвета, растворим в диметилформамиде, ацеToIHе, диоксане, IHB,растворим в clIIHpTBx, этилацетате и ароматических углеводородах.

Найдено, О . .N 5,83; Сl 12,63. Степень за,мещения 60 /о.

Пример 3. Получение эфира 1,2-нафтохинондиазид (2) -5-сульфокислоты и хлори рованното,новолака из бисфенсла А. 7 г хлориро.ван ного новолака из бисфенола А мол, в.

883, содержание хлора 22,0 /о ) растворяют при 40 С в 30 мл а цето на и этери фируют 9,6г

1,2- нафтохинондиазид (2) -5-сульфохлор ида в

100 мл ацетона в присутствии соды, ках описано в примере 2. Получают 13 г вещества желтого IIIBBTB, хорошо растворимого,B диметилформамиде. При растворении его,в диоксане и этилцеллозольве остается неоольшой осадок. Найде но, /о, N 5,4; Сl 11,45. Степень, замещения 50 /о. П р.и мер 4. Получение эфира 1,2-нафтохинондиазид (2) -5-аульфокислоты и бромироiIIBHHoro новолака № 18.

Ьромирование новолачной смолы № 18.

22,6 г новолачной смолы М 18 (т.,пл, 82 С) растворяют в 18,3 мл этилового спирта |и приливают 6,8 мл воды. Натревают до 60 С, затем охлаждают,до — 4 С и в течение 2 час по каплям (прибавляют 28 г брома. В течение

2 час выдерживают при — 5 С, затем отгоняют

iIIpm 80 — 85 С. Декан тациеи 1выделен ный из остатка, вязкий продукт затирают аначала с холодной, заTBM o I.opHHeH IIoIIIoH H cótøBT на воздухе. Получают 34,2 г розовато-белого но5

15

55 б0

4 рошка с т. пл. 87 С (начинает изменяться при

82 С). Он легко расгворяется в диметилформамиде, этилацетате, ацетоне, диоксане, этилцеллозольве, метиловом и этиловом спиртах, медленно растворяется в бутиловом апирте.

Найдено, : Вг 38,9.

Этерификация. К,раствору 6,3 г бромиро,ванной но волачной смолы ¹ .18 и 12,6 г 1,2сана,при 40 С добавляют 12,6 мл 10%-ного раствора соды и затем нагретый до 40 С распвор 6,2 г 1,2-нафтохи|нондиази д (2)-5-сульфохлорида,B 45 мл,диоксана. Выдерживают:при

40 С 2 час, охлаждают, вдвое разбавляют водой и дальше ведут обработку, как указано в примере 1. Получают 9,85 г ярко-желтого порошка. Он хорошо растворяется в ди метилформамиде и диоксане, плохо растворяется в этилацетате и ацетоне, в этилцеллозольве остается небольшой осадок, не растворяется в метиловом и этиловом спиртах. Найде но, /о. N 4,74; S 4,68; Br 24,07. Сте,пень замещения около 50 .

Пример 5. Получение эфира 1,2-нафтохинондиазид (2) -5-сульфокислоты и 3,5,3,5 -тетрахлор-4,4 -диоксидифенилпропана. Из 3,66 г хлорированного 4,4 диокоидифенилпропана (т. пл. 120 — 126 С; содержание хлора 38,6/o) и 5,4 г 1,2-нафтохинондиазид (2) -5-сульфохло-. рида по апособу, описанному в примере 1. Получа1от 8,1 г эфира в виде ярко-желтого по,рошка (т. пл. 128 С с разложением), который легко растворяется в этилцеллозольве и димеTH;Iôîðìàìèäå, тру д но растворяет ся в .диоксане, этилацетате и ацетоне, почти не ра створяется в метиловом, этиловом и бутиловоM апиртах.

Найдено, /о.. N 5,42; S 4,93; Сl 16,06. Степе нь замещения около 70 /о.

Пример 6. Получение эфира 1,2-нафтохинондиазид (2)-5-сульфокислоты и бромирова нного бисфенола А. Из 5,44 г тетрабромбисфенола А (т. пл. 174 С, содержание брома

59,0 /о ) и 5,4 г 1,2-нафтохинондиазид (2) -5-сульфохлорида;по способу, описанному.в примере 4, Получают 9,73 г эфира в виде порошка оранжево-желтого цвета. Он хоpQIIIIo растворяется на холоду в диметилформамиде и этилацетате, в диоксане и этилцеллозольве остается легкая муть, труд но растворяе1ся в ацегоне, почти не растворяется в этиловом и бутиловом спиртах. Найдено, /о. N 4,7. Степень за мещен ия 75О/о.

Предмет изобретения

Способ полу-ения светочувствительных слоев путем нанесения на подложку эфиров фенолфармальдегидных смол и нафтохинондиазидсульфокислот, отличающийся тем, что, с целью получения слоев, обладающих повышенной :кислотостойкостью и светочувствительностью, в качестве фенолформальдегидных смол иапользуют галогенсодержащие фенолформальдегидные смолы.

Способ получения светочувствительных слоев Способ получения светочувствительных слоев 

 

Похожие патенты:
Изобретение относится к способу получения термостойкого позитивного фоторезиста, который используется в качестве защитного покрытия и межслойной изоляции в многоуровневых электронных приборах и устройствах

Изобретение относится к фотолитографическим процессам по формированию на функциональной поверхности подложки с помощью фоторезистов рельефного покрытия заданной конфигурации для получения изображения рисунков при изготовлении интегральных схем в микроэлектронике, радиоэлектронике

 // 240571

 // 403207

Изобретение относится к взрывной фотолитографической технологии и может быть использовано, когда получение рабочего рисунка из активного материала (металла или полупроводника) методами избирательного химического или плазмохимического травления через фоторезистную маску затруднено или нецелесообразно в связи с повышенной химической стойкостью к травлению активного материала. Предложен способ взрывной литографии, включающий нанесение на подложку слоя полимерного фоторезиста и его сушку, избирательное облучение слоя фоторезиста, получение путем проявления и сушки резистной маски с изображением, обратным по отношению к рабочему рисунку, нанесение в высокотемпературных условиях на всю поверхность подложки и сформированной на ней резистной маски слоя активного материала с последующим удалением резистной маски с нанесенным на нее слоем активного материала, путем растворения полимерного фоторезиста, расположенного под слоем активного материала, причем растворение полимерного фоторезиста сопровождается его набуханием и образованием рабочего рисунка из оставшегося нанесенного на поверхность подложки слоя активного материала. Для обеспечения высокотемпературной формостойкости и термостойкости резистной маски в исходный полимерный фоторезист, изготовленный из фенолформальдегидной смолы и производного ортонафтохинондиазида, вводят добавку полигидроксилсодержащего соединения, выбранного из глицерина и полиэтиленгликоля с молекулярной массой от 380 до 650 единиц, в количестве 1-11% от массы производного ортонафтохинондиазида. Технический результат - повышение эффективности взрывной фотолитографии за счет повышения ее технологичности. 2 з.п. ф-лы, 10 табл., 2 пр.
Наверх