Способ образования отверстий в детали

 

О П И> С А-Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Саеетскиа

Сониалистических

Республик

Зависимое ст авт. свидетельства ¹

Кл. 7с, 10

За".âëåíî 29.VI.1967 (№ 1167356г 25-27) с присоединением заявки ¹

МПК В 21d

УДК 621.961.04(088.8) Приоритет

Опубликовано 03.11.1969. Ьголлетень ."А 7

Дата опубликования описания 11. 1 1.1969

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Миннстрое

СССР

Авторы изобретения

В. Д. Табелев и A. А. Россошинский

Институт электросварки имени Е. О. Патона

Заявитель

СПОСОБ ОБРАЗОВАНИЯ ОТВЕРСТИЙ

В ДЕТАЛИ вавшуюся жидкость выдавливают наружу, образуя углубление.

Вещества для нанесения слоя подбирают в соответствии с диаграммой состояний, например, получение сквозного отверстия в монокристаллак кремния обеспечивается наложением золотой фольги и нагрева в течение несколькик секунд до 400 С. Тот же результат может быть достигнут в контакте кремния с

10 алюминием при нагреве до 577=С.

Способ образования отверстий в детали пу15 тем нагрева ее до пластического состояния и прило>кения давления в зоне обработки, от.ш ггггогаийся тем, что, с целью возможности обработки монскристаллов полупроводниковык элементов и труднодеформируемык ме20 таллов типа молибдена, вольфрама и ниобпя, нагрев детали производят с предварительно наложенным на нее слоем вещества, обеспечивающего при совместном нагреве с деталью до эвтсктического состояния образование

25 жидкой фазы.

Изобретение относится к области обработ«и давлегнием труднодеформируемык материалов и может быть использовано для получения отверстий или углублений в монокристалла.; полупроводниковык элементов и металлак типа молибдена, вольфрама, Hèîбия.

Известен способ образования отверстий, при котором деталь нагрева«>т до пластичссксго состояния, а затем под давлением выру бают отверстие.

Предло>«снный способ отличается от известного тем, что. с целью возможности обработки монокристаллов полупроводниковык элементов и тру д>годеформируемг»к металлов типа молибдена, вольфрама и нисбия, на месте получения отверстия или углубления в обрабатываемой детали накладывают стой в виде таблетки или прокладки вещества, которое в контакте с обрабатываемы,I материалом при нагреве до заданной температуры образует >кидкоплавкую фазу эвтектического состава. К детали со стороны таблетки или прокладки прикладывают усилия, воздсйстBvH иа нее, например, пуансоном, и образоПредмет изобретения