Способ индикации юстировки электронного луча в электроннолучевых установках

Авторы патента:

H01J29/54 - устройства для центровки луча или пучка

ОПИСАНИЕ 23666l

ИЗОБРЕТЕНИЯ Cole!I Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ я ! 1

;„„-ъу!,:, »

Зависимое от авт. свидсте II cT!IB ¹

1хл. 21т, 21j01

Заявлено 06.1Х.1967 (№ 1181796/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 03.11.1969. Бюллетень ¹ 7

ЧПК Н 011

: ДК 621.385.83(088.8) Комитет по делам изобретениИ и открытиИ при Совете Министров

СССР

Дата опуоликоваиия описания 10ЛтI.1969

Авторы изобретсии:!

В. И. Логунов и М. М. Беляков

ЙСВ1-„„, тон т,. иотетт„,, вЂ”.„

Заявитель

СПОСОБ ИНДИКАЦИИ 1ОСТИ РОВКИ ЭЛЕКТРОН НОГО

ЛУЧА В ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВЫХ УСТАНОВКАХ

Изобретение относится к способам индикации юстировки электронного луча в элекроннолучевых установках.

Известен способ контроля за положением электронного луча в электронных микроскопах, состоящий в том, что луч проходит через крестообрзную щель, образованную четырьмя изолированными сегментами, и B зависимости от попадания электронного луча на один из сегментов судят о полоткении электронного луча в пространстве по радиотехнической схеме, присоединенной к сегментам. 1-Iсдостаток известного способа состоит в том, что ои основан на непосредственном нахождении Iloложсния луча, требует точного совмещения центра крестоообразной щели с оптической осью системы, т. е. этот способ нуждается в дополнительной юстировке.

Предложенный способ отличается от известного Teil, что электронный луч развсртыва1оТ, например, по кругу относитель1!о щели со взаимно перпендикулярными участками и наблюдают за временным смещением импульсов. Достоинство предложенного способа заключается в том, что îí HP. требует точной привязки щели к оптической оси, тяк как способ основан иа косвенном определении положения луча. Кроме того, предложенный способ позголяст съюстировать систему при рабочих токах.

I la чертеже схематично изображено устройство, реализу ющее предложенный способ.

Устройство содержит отклоняющую систему I, иа котору!о подают два сш!усоидальных сигнала, сдвш!утых по фазе на 90, от генератора 2 с помощью фазовращателя 8, развертывающую электро!;ный луч 110 окружности относительно щелсвого датчика 4. Под щель!О дят Н1ка, сняожLHH011 Взаимно перпенди

1л.ля рным!! l чяс 1 нами, расположен коллектор

5, с подсоединенным к нему сопротивлением б, сигнал с которого просматривают на экране осциллографа 7.

Предмет изобретения

С и О с О О 1 i и д1 i к Я и и и Io с т l i Р О В 1 1! э л е кT P 0 н н О ГО луча в электроннолучевых установках, основанный иа наблюдении смещения электронного луча по 0TH0IHCHHI0 к оптичсскo» оси линзы

Il PH ИЗХI1. .НЕН1!1! СС фОК CHOГО PIIÑÑÒOßÍHß, OT.1И.вЂ” ч!1!Ои1ийс.! тем, что, с целью проведения юстировки при рабо шх токах, а также с целью упрощс!1Ня оборудова!шя, электрогп1ый луч развертывают. Например, по кругу относительно !цели со взаимно перпсндикулярньвш участк",ìè и наблюдают за временным смещением импульсов.

236663

2 з ()

Сосгавитсль И. Н. Еремина

Редактор Л. К. Ушакова Техрсд Л. К. Малова Корректор О. Б. Тюрина

Заказ I J52!20 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета ио делам t:çîáðñòñï JJ . открытий при Совете Министров СССР

Моски,и Центр, пр. Серова, д. 4

Типотрафия, ир, Сапунова, 2