Установка для обработки ленточного материала

Изобретение относится к непрерывной обработке гибких подложек (17S) путем нанесения на них покрытия. Установка содержит две мотальные станции (10) для разматывания и намотки подложки по меньшей мере одну станцию обработки (В), расположенную в проходе для подложки между этими двумя мотальными станциями, и запорные клапаны (18), каждый из которых расположен между мотальной станцией (10) и по меньшей мере одной станцией обработки, для обеспечения различных уровней давления в мотальных станциях и по меньшей мере в одной станции обработки. Мотальная станция установлена на основании (11) и может выкатываться из установки, например, для замены подложки. Мотальные станции (10) и станция обработки (В) расположены на различных или в различных перемещаемых друг относительно друга основаниях. Основание станции обработки выполнено как неотделяемая часть кожуха (1), содержащего станцию обработки (В), а в рабочем состоянии также и мотальные станции и клапаны (18). Мотальные станции расположены в каркасе (12), заключающем в себе их общее основание (11) и имеющем отверстия, запираемые клапанами (18). Каркас в процессе работы расположен внутри кожуха (1) станции обработки. При открытых клапанах (18) вакуумирование станции обработки (В) и мотальных станций производится одновременно, а при закрытых клапанах (18) разгерметизация мотальных станций производит независимо от станции обработки. Изобретение позволяет заменять катушки на размоточном и намоточных участках без разгерметизации всей установки. 13 з.п. ф-лы, 6 ил.

 

Область техники, к которой относится изобретение

Изобретение относится к установке для обработки лент, характеризуемой признаками ограничительной части пункта 1 формулы.

Уровень техники

Установки для обработки лент рассматриваемого здесь типа предназначены для обработки лент, в особенности для вакуумного нанесения покрытия на гибкие ленты, например полимерные пленки, магнитные ленты, кинопленки и т.д., например, посредством ионно-плазменного нанесения, то есть распыления мишеней, поддерживаемого в соответствующих случаях магнитными полями, газообразного напыления, конденсации из паровой фазы (PVD) или химического осаждения из паровой фазы (CVD), но также и для других видов обработки, таких как предварительная обработка, чистка, сушка, поверхностная активизация, полимеризация и т.п. При этом ленту или пленку, смотанную в рулон или намотанную на барабан, необходимо вставить в установку и расположить ее на опорной оси так, чтобы во время обработки ленту можно было сматывать с этого рулона.

По другую сторону, на выходе камеры (камер) обработки предусматривается другая ось с намоточным барабаном, на который лента должна наматываться после обработки.

Такая обрабатывающая установка в принципе может быть построена по модульному принципу: модуль размотки, модуль обработки и модуль намотки.

В известных установках расположенные по обеим сторонам установки оси или катышки для сматывания и наматывания ленты устанавливаются на общей раме, благодаря чему их взаимное положение сохраняется постоянным и жестким. Однако, если обе оси или обе катушки расположены по обе стороны модуля обработки, то при смене катушки практически неизбежно приходится разгерметизировать работающие в вакууме камеры обработки.

Желательно, чтобы при замене рулона с лентой или при снятии готового, намотанного после обработки рулона не нужно было каждый раз разгерметизировать работающую в вакууме камеру нанесения покрытия.

Поэтому существует известный способ, при котором между отдельными модулями устанавливаются шлюзовые клапаны. Это позволяет значительно уменьшить разгерметизируемый объем, так как разгерметизируются только станции подачи и съема, а сама камера нанесения покрытия может постоянно оставаться под вакуумом. Конечно, при необходимости можно разгерметизировать и всю установку.

В патентном документе DE 19735603 С1 описана установка для непрерывного вакуумного напыления с несколькими расположенными друг за другом камерами напыления, в которой внутри каждой камеры расположена вальцовая рама с направляющими роликами, валиками для измерения натяжения ленты и охлаждающими валиками. При этом положение вальцовых рам в каждой камере можно изменять, что позволяет согласовывать работу роликов и валиков следующих друг за другом камер. Источники магнетронного напыления (мишени) этих камер расположены независимо от вальцовых рам, так что их можно регулировать и заменять, не изменяя положения валиков.

Обрабатываемая лента из размоточной камеры вводится в камеры напыления и из последней камеры попадает в намоточную камеру, причем между размоточной и намоточной камерами и камерами напыления расположены вакуумные клапаны, которые не будут рассматриваться подробнее.

В патентном документе DE 10157186 С1 описана другая установка для непрерывного вакуумного напыления, разделенная на камеры размотки, напыления и намотки, между которыми расположены шлюзовые или ленточные клапаны. Оси катушек в откачиваемых камерах размотки и намотки установлены на вальцовых рамах, которые закрепляются независимо друг от друга и могут независимо друг от друга выкатываться из установки. Валики в модуле обработки, напротив, расположены на общей вальцовой раме. Для всех вальцовых рам предусмотрены общие точки крепления или точки опоры на перегородках между камерами размотки и намотки и модулем обработки. Взаимное смещение вальцовых рам во время работы исключается благодаря тому, что максимальная допустимая разность давлений во время работы между камерами размотки и намотки и модулем обработки составляет 50 Па. Модуль обработки закрывается отдельной крышкой, в которой предусмотрены двери для технического обслуживания.

В патентном документе WO 99/50472 описана установка для вакуумной обработки ленты, состоящая из станции загрузки и разгрузки с соответствующими моталками в общей камере и по меньшей мере одной, отделенной от них реакционной камеры (модуля обработки). Лента проходит через валковые шлюзы, служащие ступенями давления между станцией загрузки и разгрузки и реакционной камерой. При этом она в одном варианте проходит между двумя валками, вращающимися навстречу друг другу, а в другом варианте между валком и неподвижным уплотнительным блоком. Эти валковые шлюзы можно открывать, например, для заправки новой ленты. Для этого либо один из валков выполнен откидным, для чего его ось вращения может откидываться относительно некоторой оси поворота, либо уплотнительный блок отводится от валка.

В одном варианте этой известной установки все валки и клапаны вместе с приводами установлены на общей раме, которую можно вкатить в кожух. С помощью круговых уплотнений обеспечивается вакуумная плотная герметизация зазоров между рамой и кожухом. Правда, эти уплотнения из-за их пространственного расположения, особенно в области упомянутых шлюзовых клапанов, не могут быть полностью приложены к гладким уплотнительным поверхностям. Эта установка также благодаря шлюзовым клапанам позволяет заменять катушки с лентой без разгерметизации камеры обработки.

Раскрытие изобретения

Задача изобретения заключается в создании обрабатывающей установки, позволяющей заменять катушки на размоточном и намоточном участках без разгерметизации всей установки или ее откачиваемого участка обработки.

Эта задача решается признаками пункта 1 формулы. Варианты изобретения охарактеризованы в зависимых пунктах формулы.

Согласно изобретению мотальные станции и станция обработки установлены на различных или в различных, перемещаемых друг относительно друга основаниях. Основание станции обработки выполнено в виде неотделяемой части кожуха установки, который в рабочем состоянии заключает в себе и мотальные станции.

Мотальные станции расположены в содержащем их общее основание каркасе, подвижном относительно кожуха установки и открытом по направлению к станции обработки, и герметизируются с помощью клапанов относительно станции обработки (модуля обработки).

Общее основание предпочтительно представляет собой сплошную пластину, служащую стенкой каркаса. В предпочтительном варианте эта пластина основания в рабочем состоянии служит одновременно стенкой кожуха всей установки. Она образует также стенку по существу замкнутой камеры, образованной в самом каркасе.

Доступ к мотальным станциям осуществляется через отдельные отверстия в кожухе установки, которые во время работы герметически закрываются. Эти отверстия соответствуют отверстиям в стенке каркаса, несущего мотальные станции. Это позволяет после закрытия упомянутых клапанов и разгерметизации мотальных станций быстро заменять катушки, без разгерметизации всей установки и без выкатывания мотальной станции из кожуха установки.

Особенным достоинством является то, что в каркасе или также в кожухе установки предусмотрено уплотнение, окружающее загрузочное и/или разгрузочное отверстие. Это уплотнение можно регулировать, изменяя давление текучей среды, так что оно может устанавливаться в положение герметизации и в неактивное положение. В последнем случае можно легко вкатывать и выкатывать мотальные станции, не нагружая упомянутое уплотнение. В положении герметизации упомянутыми отверстиями можно воспользоваться для замены катушек без разгерметизации всей установки. Преимуществом является то, что уплотнение можно прижимать к гладкой внутренней стенке кожуха или устанавливать его на самой этой стенке, чтобы затем при необходимости прижать к фланцу каркаса.

Шлюзовые клапаны предпочтительно имеют отверстие для прохода подложки в виде ленты и стержень для запирания этого отверстия, причем в запертом положении этот стержень может использоваться также для фиксации ленты при замене катушек или держателей с лентой.

Краткое описание чертежей

Прочие подробности и преимущества изобретения вытекают из чертежей примера реализации и нижеследующего подробного описания.

На чертежах в упрощенном виде представлены:

фиг.1: схематическое принципиальное изображение в разрезе всей установки для непрерывной обработки согласно изобретению;

фиг.2: изображение этой же установки, повернутое на 90° относительно изображения на фиг.1, с выдвинутым из кожуха каркасом для мотальных станций;

фиг.3: изображение установки, аналогичное фиг.2 с каркасом для мотальных станций, вдвинутым в кожух в рабочее положение;

фиг.4: вид сбоку мотальной станции, каркаса и кожуха вместе с шлюзовым клапаном;

фиг.5: вариант фиг.3, в котором мотальные станции для намотки и размотки объединены в сдвоенную конструкцию, а два шлюзовых клапана объединены в общий узел;

фиг.6: предпочтительный вариант шлюзового клапана.

Осуществление изобретения

На фиг.1 изображен кожух 1 установки для непрерывной обработки (поточной установки), в котором с помощью не рассматриваемых подробно устройств может создаваться разрежение. С одной стороны кожуха расположено большое отверстие, окруженное фланцем 3 (на фиг.1 представлен вид через указанное отверстие). Назначение главного отверстия 5 становится ясным из фиг.2 и 3 - оно позволяет вкатывать и выкатывать каркас 12 мотальных станций 10, т.е. весь запас ленты, который должен быть обработан в установке за один цикл. На фланце 3 расположено круговое уплотнение 4.

На дне кожуха 1 условно показано устройство обработки В, которое может состоять, например, по меньшей мере из одного катода напыления. Все направляющие и охлаждающие валики относятся к мотальной системе и расположены в каркасе 12. В то время как на фиг.1 показано расположение некоторых направляющих валиков малого диаметра, на фиг.2 и 3 они убраны с целью сохранения наглядности. Там показаны только два валика: сверху намоточный или размоточный носитель подложки в виде катушки 17, а под ним - охлаждающий валик или валик напыления.

Каркас 12 на фиг.2 изображен в выкаченном состоянии, когда разгерметизирована вся установка, т.е. весь кожух 1.

На фиг.3, напротив, показано рабочее положение каркаса 12, когда он вкачен в кожух 1. Ниже будет описана только одна мотальная станция; вторая мотальная станция функционально идентична описываемой здесь. На фиг.2 и 3 она расположена за мотальной станцией, то есть катушкой 17, и ее не видно, а на фиг.1 и 5 они видны обе.

Плоскость разреза фиг.2 и 3 обозначена на фиг.1 ломаной штрихпунктирной линией. Перегородка между обеими мотальными станциями на фиг.1 не является функционально необходимой, и от нее можно отказаться, если не предполагается раздельная разгерметизация обеих станций, независимо друг от друга. Разрез на фиг.1 проходит как через кожух 1, так и через находящийся в нем каркас 12 вместе с расположенными в нем катушками.

Лента, на которую должно быть произведено напыление, переходит с размоточной катушки 17 на расположенный под ним валик напыления и пропускается через станцию обработки В. Последняя, разумеется, может иметь несколько катодов напыления. После этого лента снова поднимается наверх и наматывается на намоточную катушку (как показано на фиг.1).

В верхней внутренней стенке 6 (над намоточной станцией 10) кожуха 1 предусмотрено по меньшей мере одно отверстие 7, которое в нормальном положении закрыто крышкой 8. Эта крышка лежит на окружающей отверстие 7 кромке внутренней стенки 6 и надежно герметизирована с помощью кругового уплотнения 9. Как видно из фиг.1, для каждой мотальной станции предусмотрено отдельное отверстие 7 с крышкой 8 и уплотнением 9.

В этой же гладкой внутренней стенке 6 предусмотрено внутреннее (на стороне камеры) отверстие для не показанного здесь штуцера насоса.

Крышку 8 можно открывать и при введенных мотальных станциях.

На каркасе 12 расположена относящаяся к мотальной станции 10 сплошное основание 11. В нем имеется далее верхнее отверстие 13 с окружающим его и предпочтительно надуваемым текучей средой круговым "активным" уплотнением 14, сплошная (контр-) опорная плита 15, два крепления 16 для катушек или рулонов с лентой, закрепленные на основании 11 и опорной плите 15 соответственно, и, наконец, лежащая на креплениях 16 и вращающаяся в них катушка 17 с лентой. Ниже расположенный валик напыления опирается на отдельные крепления независимо от катушки размотки.

Уплотнение 14 расположено на фланце, окружающем отверстие 13; требующиеся для его работы патрубки для текучей среды здесь в целях упрощения не показаны. Уплотнение целесообразно расположить в круговом пазу фланца, чтобы оно в неактивном состоянии было надежно защищено от механических повреждений.

Основание 11 и опорная плита 15 образуют сплошные боковые стенки каркаса 12. Верхнюю часть каркаса 12 образует окружающая катушку 17 по существу замкнутая камера, доступ к которой возможен только через отверстие 13.

Фиг.3 поясняет действие уплотнения 14, которое здесь после вкатывания каркаса 12 в кожух 1 надувается и располагается вокруг отверстия 13 на внутренней стенке 6 кожуха. На фигуре видно также, что кромка основания 11 в конечном, или рабочем, положении мотальной станции 10 примыкает к фланцу 3 отверстия 5 в кожухе 1 и запирает его, причем ее внутренняя поверхность прижимается к уплотнению 4. Вследствие этого отверстие 5 герметично закрывается, а основание 11 образует в этом положении стенку кожуха 1.

Под контропорой или опорной плитой 15 на фиг.3 отмечена консоль 1К, на которую при необходимости опирается каркас 12, точнее его камера, внутри кожуха 1. В отличие от этого сильно упрощенного изображения, такую опору можно выполнить также в виде направляющей планки или подобной детали в кожухе 1 с соответствующими ответными элементами на каркасе 12, на которую опорная плита 15, а следовательно, вся совокупность валиков будет опираться не только во введенном состоянии, но и при каждом выкатывании и вкатывании.

Отверстие 13 в каркасе 12 мотальной станции 10 достаточно велико и расположено так, что оно перекрывает отверстие 7 во внутренней стенке 6 с крышкой 8. Поэтому надувное уплотнение 14 окружает также и отверстие 7.

В отличие от изображенной конструкции уплотнение 14 в принципе можно расположить также на внутренней стенке 6 кожуха 1 на таком же месте, так чтобы оно в надутом состоянии прилегало к фланцу, окружающему отверстие 13 каркаса 12.

Перед вводом в эксплуатацию, после надлежащего закрепления каркаса 12 в кожухе 1, в кожухе 1 создается разрежение посредством откачки воздуха с помощью не изображенного насосного агрегата. При этом уплотнение 14 может прижаться к гладкой внутренней стенке 6 кожуха 1 (положение герметизации), когда на уплотнение через упомянутые, не изображенные штуцеры будет подано давление.

Впрочем, во время нормальной работы установки совершенно необязательно, чтобы уплотнение было или оставалось постоянно в "активном" состоянии, так как кожух 1 охватывает не только мотальные станции, но и станцию обработки, так что воздух откачивается одновременно и из нее. Необходимость в уплотнении 14 действительно возникает лишь тогда, когда нужно разгерметизировать мотальную станцию 10 независимо от остального кожуха 1, т.е. когда нужно открыть крышку (крышки) 8 камеры.

Во время передвижения мотальной станции 10 относительно кожуха 1, т.е. когда установка не работает, например во время работ по техническому обслуживанию или чистке, которые трудно выполнить, просто сняв крышку 8, или при полной разгерметизации кожуха 1 (включая мотальную камеру 10), с уплотнения 14 нужно снять давление или создать в нем небольшое разрежение. При этом оно в значительной части осядет в свой паз (положение возврата), где оно будет защищено от трения и повреждения.

Как видно из сравнения фиг.2 и 3, движения каркаса 12 относительно кожуха 1 происходят параллельно оси мотальной станции 10, т.е. параллельно катушке 17 с лентой.

Под катушкой 17 лента 17S из мотальной станции 10 в каркасе 12 направляется вниз в станцию обработки В. Соответствующее отверстие мотальной камеры или станции 10 изолируется от кожуха 1 и станции обработки В шлюзовым клапаном 18. Последний находится в подвижном каркасе 12; поэтому при открытии и выкатывании каркаса 12 из кожуха 1 он остается на каркасе.

Шлюзовой клапан 18 позволяет заменять находящиеся в мотальных станциях носители подложки или катушки 17, не разгерметизируя весь кожух 1 целиком. Как будет подробнее описано ниже, шлюзовой клапан 18 в запертом положении изолирует станцию обработки В от мотальной станции 10 без зазоров. Он выполнен как статический клапан, который при работе установки имеет довольно большой размер в свету, через который может свободно проходить подложка в виде ленты.

На фиг.4 мотальная станция 10 изображена отдельно в закрытом состоянии. Видно, что закрытое крышкой 8 отверстие 7 в кожухе 1 достаточно велико, чтобы после открытия крышки 8 можно было поменять катушку 17 подложкой, т.е. вытащить его и установить новый, не перемещая мотальную станцию 10 относительно кожуха 1.

На этой фигуре также хорошо видно, как сматываемая с катушки 17 гибкая подложка 17S переходит из каркаса 12 в расположенный под мотальной станцией модуль обработки В через по меньшей мере один направляющий ролик и через шлюзовой клапан 18, который и здесь изображен только схематически. Он жестко встроен в каркас 12.

Таким образом, каркас 12 мотальных станций 10 образует, как уже говорилось, камеру, ограниченную общим основанием 11 и опорной плитой 15 (фиг.4 и 5), днищем с отверстием, в котором установлен шлюзовой клапан 18, и показанными здесь справа и слева от катушки 17 с подложкой боковыми стенками.

Тем не менее, в эту камеру возможен доступ извне, через закрытое крышкой 8 и герметизированное по периметру уплотнением 14 отверстие 7 даже и тогда, когда камера находится в рабочем состоянии в кожухе 1 установки.

Напротив мотальной станции 10, изображенной на фиг.4, по ту сторону от модуля обработки В (на выходе) находится другая, не изображенная здесь мотальная станция такого же типа, которую можно представить как зеркально симметричную относительно мотальной станции 10, включая возможность извлечения и замены находящейся в ней катушки с подложкой через отверстие в кожухе 1.

Можно предусмотреть, чтобы мотальные станции 10 можно было открывать и разгерметизировать независимо друг от друга, т.е. чтобы в то время как одна станция разгерметизирована, другая продолжала бы оставаться под вакуумом (в этом случае изображенная на фиг.1 перегородка становится, разумеется, функционально необходимой), или чтобы разгерметизация обеих мотальных станций производилась совместно. В этом случае не требуется изолировать их между собой.

Вторая мотальная станция 10 в соответствии с изображенным на фиг.1 принципом установлена в том же каркасе 12 и, следовательно, взаимное положение обеих станций фиксировано. Таким образом, после открытия уплотнения 14 их можно вместе выкатить из кожуха 1.

Упомянутый шлюзовой клапан 18 в запертом состоянии может обеспечивать надежную изоляцию при значительном перепаде давлений, например между атмосферным давлением и вакуумом. Но его можно и открыть, с одной стороны, чтобы обеспечить беспрепятственный проход подложки, а с другой стороны, чтобы обеспечить возможность протаскивания и заправки новых подложек после полного удаления из установки обработанной перед этим гибкой подложки. Разумеется, ширина отверстия клапана должна соответствовать размерам (главным образом, ширине) обрабатываемой подложки.

Наконец, с помощью шлюзового клапана 18 можно удерживать конец готовой обработанной ленты, чтобы способом, который сам по себе известен, прикреплять к нему новую ленту и затем вместо трудоемкой ручной заправки заправлять новую ленту с помощью остатка "старой".

В принципе можно было бы выполнять эти шлюзовые клапаны так, как предложено в патентном документе WO-A1 99/50472. Однако существуют и другие варианты. Один такой пример будет рассмотрен ниже с помощью схематического чертежа на фиг.5.

Шлюзовые клапаны 18 очень важны для осуществления описанной выше возможности замены катушки с подложкой без полного выкатывания мотальной станции 10. Именно они позволяют в рабочем положении открыть крышку 8 без одновременной разгерметизации модуля обработки В.

На фиг.5 представлен еще один вариант предлагаемой в изобретении установки, в котором две мотальные станции объединены в компактном общем каркасе 12' в мотальный модуль 10' с последовательным расположением катушки. Преимущество такой конструкции состоит в том, что одна общая крышка 8' камеры обеспечивает доступ к обеим катушкам 17 c подложкой, так что в кожухе 1 требуется предусмотреть и уплотнять только одно отверстие. При такой конструкции для обеих мотальных станций требуется также только одно общее круговое уплотнение 14, конструкцию которого возможно удастся упростить.

Далее оба шлюзовых клапана 18 в данном варианте можно объединить в единый узел 18', хотя, конечно, для каждой входящей или выходящей ветви подложки необходимо предусмотреть отдельную независимую функцию клапана.

Наконец, на фиг.6 представлен конструктивный вариант шлюзового клапана 18, который наиболее пригоден для описываемой здесь поточной установки для обработки ленты. На фигуре показана подложка 17S, проходящая через шлюзовой клапан 18, а в более узком смысле через закрываемое этим клапаном щелевое отверстие 19. К клапану 18 относится установленный в его кожухе или каркасе шарнирно поворачивающийся на оси 20 между изображенным здесь закрытым положением и штрихпунктирно показанным открытым положением стержень 21 клапана (в данном случае ролик). Хотя этот роликовый стержень мог бы катиться по подложке 17S, однако предусмотрено, чтобы при непрерывном режиме работы установки стержень 21 клапана не касался подложки 17S. Для пояснения штрихпунктирной линией показан приблизительный ход подложки 17S при открытом клапане 18. Во всяком случае, следует по возможности избегать фрикционного контакта между сматываемой после обработки готовой ветвью подложки и деталями установки (в известных установках клапаны поэтому иногда выполняются с минимальными зазорами).

Обращенная к стержню 21 клапана плоскость внутри кожуха, в которую выходит отверстие 19, выполнена так, что подложка 17S при останове может быть зажата, не перегибаясь при этом чрезмерно, между кромкой упомянутого отверстия, которая одновременно служит или может использоваться в качестве уплотнительной поверхности 22, и установленным в запертое положение стержнем 21 клапана. Поверхность 22, направленная к уплотнительной кромке, расположена со скосом к поверхности подложки. Уплотнительная поверхность 22 в области отверстия 19, которая запирается стержнем 21 клапана, зажимая при этом подложку, если она проходит между ними, выполнена таким образом (при необходимости с применением мягких эластичных материалов в качестве кромочных или плоскостных уплотнений), что хорошее уплотнение обеспечивается независимо от того, прижимается ли стержень 21 клапана один или вместе с подложкой.

Предпочтительно шлюзовой клапан 18 в каркасе 12 или 12' выполняется как самостоятельный модуль. Это в особенности относится к изображенному на фиг.4 объединению двух переключаемых независимо друг от друга шлюзовых клапанов в общий блок клапанов.

Такая конструкция позволяет, как уже было сказано выше, с одной стороны, при наличии в установке остатка подложки разгерметизировать мотальные станции 10 или 10', оставляя модуль обработки В под вакуумом, а с другой стороны, после замены катушки с подложкой заправить новую подложку с помощью зажатого в клапанах остатка прежней подложки. Для этого необходимо склеить начало новой подложки с остатком прежней.

1. Установка для непрерывной обработки, в особенности для покрытия, движущихся гибких подложек (17S) в виде лент, пленок или аналогичных материалов, содержащая по одной мотальной станции (10, 10') для разматывания и намотки гибкой подложки, по меньшей мере одну станцию обработки (В), расположенную в проходе для подложки между указанными двумя мотальными станциями, и клапаны (18) для обеспечения различных уровней давления в мотальных станциях и по меньшей мере в одной станции обработки, каждый из которых расположен между мотальной станцией (10, 10') и по меньшей мере одной станцией обработки, причем мотальные станции установлены на подвижном основании (11) с возможностью выкатывания из установки, например, для замены подложки, отличающаяся тем, что мотальные станции (10, 10') и станция обработки (В) расположены на различных или в различных основаниях, перемещаемых друг относительно друга, причем основание станции обработки выполнено в виде неотделяемой части кожуха (1), заключающего в себе станцию обработки (В), а в рабочем состоянии также мотальные станции (10, 10'), причем указанный кожух содержит клапаны (18), при этом мотальные станции (10, 10') расположены в каркасе (12), содержащем их основание (11) и имеющем отверстия, запираемые клапанами (18), который в рабочем состоянии расположен внутри кожуха (1) станции обработки, причем при открытых клапанах (18) станция обработки (В) и мотальные станции (10, 10') вакуумируются одновременно, а при закрытых клапанах (18) мотальные станции разгерметизируются независимо от станции обработки.

2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что основание (11) мотальных станций образует стенку каркаса (12) и содержит по меньшей мере одну опору (16) для носителя (17) подложки.

3. Установка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что основание (11) мотальных станций в рабочем состоянии установки образует по меньшей мере участок стенки кожуха (1).

4. Установка по п.1, отличающаяся тем, что каркас (12) мотальных станций образует камеру, ограниченную общим основанием (11) и опорной плитой (15), а также стенкой с отверстием, обращенным к шлюзовому клапану (18), и боковыми стенками.

5. Установка по п.1 или 4, отличающаяся тем, что кожух (1) имеет по меньшей мере одно закрываемое крышкой (8) отверстие (7) для загрузки и/или разгрузки мотальной станции.

6. Установка по п.5, отличающаяся тем, что отверстие (13) каркаса (12) камеры, когда каркас (12) находится в кожухе (1), обращено к закрытому крышкой (8) отверстию (7) и совмещено с ним для обеспечения возможности замены носителя (17) подложки после открытия крышки (8).

7. Установка по п.6, отличающаяся тем, что отверстие (13) окружено уплотнением (14), которое в рабочем состоянии установки размещено между внутренней стенкой (6) кожуха (1) и кромкой отверстия (13), причем уплотнение (14) расположено внутри каркаса (12) или кожуха (1).

8. Установка по п.7, отличающаяся тем, что уплотнение (14) выполнено с возможностью прижатия к гладкой внутренней стенке (6) кожуха.

9. Установка по п.7 или 8, отличающаяся тем, что уплотнение (14) выполнено с возможностью перевода посредством давления текучей среды в положение уплотнения, при подаче давления, и в положение возврата, при снятии давления или при разрежении.

10. Установка по п.7 или 8, отличающаяся тем, что для откачки установки предусмотрен штуцер, который расположен в области, окруженной уплотнением (14).

11. Установка по п.1, отличающаяся тем, что внутри каркаса (12) мотальных станций (10) установлен по меньшей мере один шлюзовой клапан (18).

12. Установка по п.11, отличающаяся тем, что шлюзовой клапан (18) содержит уплотнительную поверхность (5), которая наподобие рамки окружает отверстие (19), предназначенное для пропускания подложки, и стержень (21) для запирания отверстия (19), который прижимается к уплотнительной поверхности и/или подложке, проходящей через отверстие (19), таким образом, что он посредством по меньшей мере опосредованного прижатия к краям уплотнительной поверхности запирает отверстие (19).

13. Установка по п.12, отличающаяся тем, что подложка в виде ленты плотно зажимается стержнем (21) в отверстии (19) для обеспечения возможности заправки новой подложки с помощью зажатого в шлюзовом клапане (18) остатка ленты.

14. Установка по одному из пп.1, 2, 4, 6-8 и 11-13, отличающаяся тем, что шлюзовые клапаны (18) установлены по отдельности или совместно в отдельном кожухе или каркасе и закреплены в каркасе (12).