Устройство для ионной очистки и нанесения
О П И С" А Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
24ll96
Сова Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 17.Vill.1967 (№ 1180926/22-1) с,присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 01.IV.1969. Бюллетень ¹ 13
Дата опубликования описания 14ХП1.1969
Кл. 48Ь, 13/08
МПК С 23с
УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
Д. А. Носков
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННОЙ ОЧИСТКИ И НАНЕСЕНИЯ
ПОКРЪ|ТИЙ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ
ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ
На стоя щее изобретение относится к области нанесония .покрытий в вакууме.
Известны устройства для ион ной очистки и нанесения покрытий на детали, содержащие газоразря дную полость, образуемую катодом и а иодом.
Предложенное устройство отличается от извостных тем, что газоразряд|ная камера:выполнена в виде кольцевой полости, образуемой цилиндрическим а иодом и двумя кольцевыми плоскими электродами, электрически соединенными с обрабатываемой деталью.
Такое конструктивное вьсполнение устройства повышает интенcHBIHocTb ионной бомбардировки.
iHa чертеже,предоставлен общий вид устройства.
Газоразряд ная |камера выполнена .в виде кольцевой IIIQJIoсти, образуемой цилиндрическим анодом 1 и двумя кольцевыми плоскими электродами 2, электрически соединенными с обрабатьвваемой деталью ? и вьсполнятощими одновременно роль полого катода.
Газоразрядная камера помещена в поле мапнито в 4. При давлении 10 ."— 10 4 мм рт. ст., на пряженности, мапни пного поля
0,03 — 0,04 мл и напряжении 0,5 — 10 кв в тазоразрядной,камере зажигается тлеющий разряд. Ионы, образовавшиеся в тлеющем разряде, устремляются IK катоду, бомбардируют внутреннюю поверхность детали, очищая ее от загрязнений. Для нанесения металлических покрытий повышают потенциал а иода, выполненного из материала покрытия.
При этом температура анода достигает таких з наченпй, при которых металл покрытия испаряется, разряд .горит в парах металла и ионы, осаждаясь на по верхности детали, 10 образуют металлическую пленку.
Для нанесения полимерных покрытий газоразрядную камеру наполняют мономер ным газом, молекулы которого полимеризуются на,поверхности детали под действием HQIHIHQH
15 бомбардировки при соответствующем режиме раз.ряда.
Предмет изобретения
Устройство для ионной очистки и нанесения
20 покрытий на внутрсннюю поверхность цилиндрических деталей, содержащее газоразряд,ную камеру, образуемую катодом и анодом, отличающееся тем, что, с целью IIIolBbIIIIeHHH интенсивности ионной, бомбардировки, газо25 разрядная камера iBbIполнена в виде кольцевой полости, образуемой цилиндрическим анодом и двумя кольцевыми II;IoIQKHMH электродами, электрически соединенными Ic обрабатываемой деталью.
241196
Составитель А. Кутибашвили
Техред Л. К. Малова Корректор С. М. Сигал
Редактор Горшкова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 1863/18 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
