Установка для вакуумного напыления деталей

 

242636

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетскиз

Социалистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 04.Х,1966 (¹ 1105433122-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 25.1Ъ .1969. Бюллетень № 15

Кл. 48Ь, 13/08

МПК С 23с

УД К 621.793.14.002.52 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Сосете Министров

СССР

Дата опубликования описания 18.1Х.1969

Авторы изобретения

В. А. Злотин, Г. В, Лагуткин и И. Ш. Фишель

Заявитель

О8КА ДЛЯ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области вакуумного напыления.

Известна установка для вакуумного напыления деталей, содержащая рабочую и отделенную от нее вакуумной заслонкой шлюзовую камеры и устройство для перемещения подложек.

Предложенная установ.<а отличается от известной тем, что устройство для перемещения подложек выполнено в виде ползуна с гнездом и фиксатором, расположенного в шлюзовой камере, и кронштейна с .направляющими выступами и отводным упором, расположенного в рабочей камере. Это повышает качество покрытий.

На фиг. 1 представлена описываемая установка, общий вид; на фиг. 2 — гнездо ползуна; на фиг. 3 — кронштейн.

Установка содержит рабочую камеру 1, отделенную от нее вакуумной заслонкой 2, шлюзовую камеру 8, устройство для перемещения подложек, выполненное в виде иолзуна 4 с гнездом 5 и фиксатором б, расположенного в шлюзовой камере, и кронштейн 7 с направляющими выступами 8 и отводным упором 9, расположенный в рабочей камере 1.

Подложку 10, подлежащую напылению, помещают в гнездо 5 ползуна 4 и закрепляют фиксатором б. После этого открывают вакуумную заслонку 2 и с помощью ползуна 4 перемещают подложку в рабочую камеру 1; при этом отводной упор 9 приподнят так, что подложка садится на направляющие выступы 8 кронштейна 7. Затем опускается отводной упор 9 и при обратном коде ползуна 4 подложка вынимается из гнезда 5, Далее в рабочей камере на подложку наносится покрытие. По окончании нанесения по10 крытия ползун 4 вторично вводится в рабочую камеру, где с помощью фиксатора б подложка 10 закрепляется в гнезде 5, после чего отводной упор 9 поднимается и ползун 4 возвращает подложку в шлюзовую камеру.

Установка для вакуумного напыления дета20 лей, содержащая рабочую и отделенную от нее вакуумной заслонкой шлюзовую камеры и устройство Itëÿ перемещения подложек, отлича ощаяся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, устройство для перемещения

25 подложек выполнено в виде ползуна с гнездом и фиксатором, расположенного в шлюзовой камере и кронштейна с направляющими выступами и отводным упором, расположенного в рабочей камере.

242636

Фиг. 1

1а

Фиг. 2

Составитель И. Резник

Редактор Г. Поздняк Техред А. Л, Камышиикова Корректор В. В. Трутнев

Заказ 2160/13 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр, Серова, д, 4

Типография, пр, Сапунова, 2