Электростатическая одиночная асимметричная

 

Союз Соеетскит

Сониалистикеснин

Ресотблин

1";,-1т г лжец З 1,"

П в ТЕ 7110- .1

ТтХ11И 1ЕС1 ЛЯ

Зависимое от авт. свидетельства Х.

БИБ. ЖОТЕКА

Кл. 21g, 19

Заявлено 11.1.1967 (№ 1125762/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 04.VII.1969. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 8.XII,1969

МПК б 01п

УДК 537.533.3(088.8) Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Ав горы изобретения

В. И. Береснев, Г. В. Дер-Яварц и И. С. Макарова

Заявитель

ЭЛ ЕКТРОСТАТИЧ ЕСКАЯ ОДИНОЧНАЯ АСИММЕТРИЧНАЯ

ФОРМИРУЮЩАЯ ЛИНЗА ДЛЯ РЕНТГЕНОВСКОГО

МИ КРОАНАЛ ИЗАТОРА

Предложенная электростатическая линза предназначена для формирования электронных или ионных пучков в рентгеновских микроанализаторах.

В существующих промышленных образцах рентгеновских микроанализаторов микропучки формируются, как правило, при помощи магнитных электронных линз, так как электростатические формирующие линзы, обладающие малой сферической аберрацией, не имеют достаточной пробивной прочности.

Предложенная электростатическая одиночная асимметричная формирующая линза не уступает по качеству магнитным формирующим линзам, сохраняя в то же время преимущества электростатических систем. Использование этой линзы обеспечивает регистрацию интенсивного характеристического рентгеновского излучения, исходящего под большим углом к поверхности образца (порядка 45 ), хорошую пробивную прочность и визуальное наблюдение поверхности исследуемого участка образца при помощи длиннофокусного светооптического микроскопа.

Описываемая электростатическая формирующая линза отличается тем, что она имеет асимметричный толстый средний электрод и выходной электрод с конической наружной поверхностью с острым или прямым углом у вершины.

С целью получения возможно меньшей сферической аберрации линзы и, следовательно, возможно большей плотности пучка фокусируемых частиц на поверхности образца, конструктивные размеры линзы выбраны следующими: рабочий отрезок, или отношение расстояния от линзы до образца lð к диаметру канала среднего электрода D, лежит в пределах от

1о 1до1,2; отношение величины зазора S между средним и выходным электродами к диаметру D канала среднего электрода равно 0,22 — 0,5; отношение величины зазора 5, между сред15 ним и входным электродами к диаметру D канала среднего электрода равно 1,5 — 2,2; отношение толщины T среднего электрода к диаметру D его канала равно 1,8 — 2,2; отношение диаметра D> камеры среднего

20 электрода к диаметру D канала этого электрода равно 2,7 — 3,7.

Вследствие того, что отношение толщины среднего электрода к диаметру канала этого электрода TiD значительно больше единицы, 25 а линза длиннофокусная, напряжение U, подаваемое на средний электрод и служащее для фокусировки линзы, может быть значительно меньшим, чем ускоряющее напряжение. Это обеспечивает высокую надежность

30 линзы в отношении пробоев по изолятору.

247421

Предмет изобретения

Редактор Т, 3. Орловская Техред Т, П. КУРилка Корректор С. М. Сигал

Заказ 187/10 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва К-35, ?аутпская наО., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

На чертеже изображена предложенная электростатическая формирующая линза в разрезе.

Линза состоит из металлического кожуха 1, в котором установлен средний электрод 2, закрепленный на изоляторе 3. Последний монтируется в защитных кольцах 4 и 5. Средний электрод 2 свинчен с загцнтным кольцом

4, электрод б — с кожухом, электрод 7 скреплен с кожухом 1 посредством винтов 8. Винты 9 позволяют точно устанавливать средний электрод 2 и соединенный с ним изолятор 8 и защитные кольца 4 и 5 относительно кожуха 1.

Рядом с линзой размещен исследуемый образец 10, который наблюдают при помощи оптического микроскопа 11.

1. Электростатическая одиночная асимметричная формирующая линза для рентгеновского микроанализатора, имеющая три электрода — входной, средний и выходной по отношению к фокусируемому ею электронному или ионному пучку, отличающаяся тем, что, с целью сочетания возможности регистрации интенсивного характеристического рентгеновского излучения, исходящего под большим углом к поверхности образца, с достаточной

5 прооивной прочностью и возможностью визуального наблюдения исследуемого участка образца посредством длиннофокусного светооптического микроскопа, она имеет асимметричный толстый средний электрод и выходной

10 электрод с конической наружной поверхностью с острым или прямым углом у вершины конуса.

2. Линза по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью получения возможно большей плот15 ности электронного или ионного пучка на поверхности ооразца, отношения ее линейных размеров к диаметру канала среднего электрода выдержаны в следующих пределах: расстояния от линзы до образца 1 — 1,2; зазора между средним и входным электродами 1,5 — 2,2; зазора между средним и выходным электродами 0,22 — 0,5; толщины среднего электрода 1,8 — 2,2;

25 диаметра камеры среднего электрода

2,7 — 3,7.