Электростатический электронный микроскоп
«>)!а 79645
Класс 21», 35
СССР
Д. В. Фетисов
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП
Заявлено 12 февраля 194(! года в Ко)!Ятет !К> ивопретеииям и ot>(ðitT>>H)t ири Совете Чииистров CCC1);(¹ 3!11734
Нас) о!1Нгим 1!Зоорстснисхl предла гастся элсктростлтически!! электронный микроскоп, имеющий одно вакуумное соединение. Оптика микp0c1 uItH монтирует(.я на металлическом тубус« и точно центрируется при помощи Оптических методов.
Тубус смещен в колонне; это позвоIIipT подвес! и питани(Вн) т1)и колОHHЫ и 110«!х"lить пpcдсльный Вакуум во всем сс 00 ьсме.
1-!с.!0« атком существующих электронных микроскопов !Вг!Яется необходимость многих вводов высоко!.0 напряжения ll «1)явннтсльно низкий предельный вакуу)t системы. ПОслсднее 00 ь!1с)tя(T(я ttрсждс
ВСЕГО (ЮЛЬШИМ СОПРО)ИВЧЕПИЕМ KOлонпы с ес сложны)i внутренним профилем, что t:oäòâ(.ðæ Jåíî просчетом этих систем. Кроме того, имеет значспис большое количество вакуумных вводов.
Отличи гсльной (>«обеппостью предлагаемого микроскопа является эксцснтри !нос расположение тубуса с электронной оптикой в колонне, позволгпощее получить предельный вакуум во всем объеме колонны и
Осу щсстви гь o()HI HII НОДВОД JIHIIpHit((ппя внутри колонны.
OtiH«ывлсмый микроскоп изображен пл прилагаемом чертеже.
Злсктроны, выделяемые накалени ы )! 1(!1 то 10)! 1, форм и1)Уют«я в
t f ), ч О и I l у с к 01) я ю тс )1 п р и и О. 0 щи упрявляк)щег0 электрода 2 и аноднс>!г! 1!tяф1>лгмы . > . Перед ooьектом
10 установлена осветительная диафрл!.ма 4, вырезающля тонкий ny tol() >ек 1)Онов, t(oTQPbltI па дл(г чя объект, частично рас(с ива т(я Б пс)! и, фиксирч)1«ь л и11иами ), 6 и 7. дает изображение Hл эк1)л>!с 8 H«HI фотог!ластинкс . Все элсктpof! Но-,)учевые элементы установлен ы на металлическом тубус(9. При работе прибора необхоIt!i!(> р«гулv!ровaт!> только положение H»(H катода винтом 1) и rte))()!с!Ис1ть ОО ьект 10 и(.p(3, пок 10 д. IЯ
fJhIO0j) <1 t I) )KНОГО 4 1(1(ТКя рлССмо
1РСПИЯ.
Тубус устанавливается эксцентри IHo в металлический кожух 11, представляющий собой корпус. микро; YÎIIH. Зазор между тубусом и корпусом может быть легко доведен до «с чсния, у.говлетворяющсго
¹ 79645 выбранной скорости отка IKH насоса. Эксцснтри Гное располо>кение тубуса позволяет получить необхо;),ИМ ОС МССТО Д I H Рс(ЗЫСП(СН I>I Н РО
B0;t0B высокого напряжения к ОсВСTHT! 7hHE)II HC TE.".!(. П а (с К. РО-(а il
ЛШ(З ) 2. Так!!3! ОбрсКIÑ)Ì, ВСС II)>0вод(1 B I>I(!)KO! l! (!i! )) 5!ЖС11И я р а(ПОЛЯ ГBIOT E H BHET)>H !с((Т(1 ° If) BEE)!<01 E)
КОРИ\ С сl и BB0 (I Hт(,1 В ОДНО(! М ССТС, 1ик))оскОП, !1м(и ОДиl(1)во,t ;ысокО
ГО П i! П Р и Ж С 1(И)1, ) I 0>КСТ ()! IТЬ Сл10Н I !I))0B I3hI(E>K()! 0 н Предмет изобретения Электро(т>!тичс(кий 3:!сктс)онный микроскоп, о Tл и l а 10 и(и и с я тем, ЧТО, (. НСЛ1>10 ПО, 1! с!С!!liH Ii))OÄÑ,7fçi)OÃO 13 (к> уMII Во 130 M обbB)(0 н осуп(сств,:!ения подвода напряжения внутри колонны, тубус с элекT)) 0HHGH «ПТИКОЙ С:с!Е!НЕII O I )IOE. Hтельно Оси 1 Олонны, Ол(!ГОдаря !(.— му откачка колонны может произВОД(!ТЬСЯ НРH ОДНОМ B!IK ) УМНос1(ВВО» сс Е
